Elektrische Thermoelement-Durchführung, Typ K, UHV-zertifiziert, 5 Paare, mit Miniaturstecker. Thermoelemente vom Typ K (Nickel-Chrom / Nickel-Alumel) werden aufgrund ihrer Genauigkeit, Zuverlässigkeit und niedrigen Kosten häufig verwendet. Diese robusten 5-Paar-Durchführungen sind UHV-zertifiziert, bis 450 °C ausheizbar und verfügen über einen Miniaturstecker.
Thermoelement ist die Bezeichnung für elektrische Durchführungen, die häufig für Temperaturmesssysteme verwendet werden. Eine Thermoelementdurchführung misst keine Temperatur, sondern dient dazu, das Spannungssignal des Thermoelements aus dem Inneren des Vakuumsystems an ein externes Instrument zu leiten. Diese Durchführungen verwenden eine Keramik-Metall-Versiegelungstechnologie, um verschiedene in Thermoelementbaugruppen verwendete Metalle an hochreine Aluminiumoxidkeramikisolatoren zu löten. Thermoelementdurchführungen sind für Anwendungen im Ultrahochvakuum geeignet. Es stehen mehrere Montageoptionen zur Verfügung, darunter Anschweiß-, KF-, CF-, Grundplatten- und NPT-Adapter.
Durchführungen (oder Vakuumdurchführungen) gibt es in vielen Formen, um elektrische Ströme, Signale, Flüssigkeiten, Gase oder mechanische Bewegungen von außerhalb des Vakuums (Luftseite) ins Innere (Vakuumseite) einer Vakuumkammer zu Geräten innerhalb der Kammer zu übertragen. Der Eintrittspunkt für die Durchführung muss über ein geeignetes Durchgangsloch vakuumdicht verschlossen sein. Die Durchführung kann schweißbar (aufschweißbar) sein oder mit einem CF-, KF- oder ISO-Vakuumflansch an die Vakuumkammer angeschlossen werden.
CF-Conflat-Flansche werden normalerweise für Prozesse verwendet, die ultrahohe Vakuumdrücke bis zu 10-12 Torr erfordern, und werden über Muttern und Schrauben mit Kupferdichtungen vakuumversiegelt. Sie sind in den Größen 1,33 Zoll (Mini-Conflat), 2,75, 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25, 14 und 16,5 Zoll Außendurchmesser erhältlich.
KF oder Quick Flange sind für hohe Vakuumdrücke bis zu 10-9 Torr geeignet und werden über Klemmen und Elastomer-O-Ringe vakuumversiegelt. Sie sind in den Größen KF10, KF16, KF25, KF40 und KF50 erhältlich.
ISO- oder Großflansche sind für hohe Vakuumdrücke bis zu 10-6 Torr geeignet und werden mit Muttern und Schrauben (für Flansche mit Schraubenlöchern) oder mit Klauenklemmen (für Flansche mit glatten Flächen und ohne Schraubenlöcher) vakuumversiegelt. Sie verwenden Elastomer-O-Ringe für die Vakuumabdichtung. Sie sind in den Größen 63 mm, 80, 100, 160, 200, 250, 320, 400, 500 und 630 mm erhältlich. Alle Flansche bestehen aus korrosionsbeständigem Edelstahl.
Es gibt Tausende von Durchführungen und die Auswahl für Ihren spezifischen Vakuumprozess kann sehr schwierig sein. Wenn Sie Zweifel bezüglich Ihrer Anforderungen haben, wenden Sie sich bitte an unsere Ingenieure, die Ihnen helfen, die richtigen Durchführungen für Ihren Vakuumprozess zu finden. Wir sind spezialisiert auf außergewöhnliche, kundenspezifische Durchführungen, Vakuumkammern und Zubehör. Bitte rufen Sie uns unter 505-872-0037 an.
Arten von Durchführungen LEISTUNG: Stromdurchführungen sind eine Art elektrischer Durchführungen, die Elektrizität von der Atmosphäre (außen) ins Vakuum (innen) übertragen. Stromdurchführungen haben einen oder mehrere Leiter, die in die Kammerwände des Vakuumgeräts führen. Die Leiter sind an einem elektrischen Isolator versiegelt, der entweder an einen Vakuumflansch oder eine Grundplatte geschweißt oder über diesen verbunden ist. Leitermetall gibt es in Form von Drähten, Stäben oder Rohren. Das Leitermaterial basiert auf Strom, Korrosionsbeständigkeit und Magnetismus. Bei der Auswahl sind Betriebsspannung, maximaler Strom, Basisdruck und Arbeitsumgebung zu berücksichtigen. Unterschätzen Sie niemals die Spannung oder den Strom, da dies zu Lichtbogenbildung, Schmelzen oder einem Zusammenbruch des Isolators führen kann. Wenn Sie sich bei der Auswahl nicht sicher sind, rufen Sie uns bitte an.
THERMOELEMENT: Eine Thermoelementdurchführung ist ein robuster und kostengünstiger Temperatursensor, der in einer Vielzahl von Temperaturmessverfahren verwendet wird. Wenn zwei Drähte aus unterschiedlichen Metallen an beiden Enden verbunden werden und eines der Enden erhitzt wird, fließt ein kontinuierlicher Strom im thermoelektrischen Schaltkreis. Wenn dieser Schaltkreis in der Mitte unterbrochen wird, ist die Netto-Leerlaufspannung (die Seebeck-Spannung) eine Funktion der Verbindungstemperatur und der Zusammensetzung der beiden Metalle. Das bedeutet, dass beim Erhitzen oder Abkühlen der Verbindung der beiden Metalle eine Spannung erzeugt wird, die mit der Temperatur korreliert werden kann. Bei richtiger Konfiguration können Thermoelemente Messungen über einen weiten Temperaturbereich liefern.
Sie können ein oder mehrere Kabelpaare enthalten und über geformte Stecker, Aufsteckhülsen, geteilte Steckverbinder verfügen und können innen (Vakuum) oder außen (Atmosphäre) Ösen oder Schraubverbinder haben. Zu berücksichtigen sind Temperaturbereich, Anzahl der Temperaturstellen, Mantelmaterial, Drahtdurchmesser, Metallart und Stromleiter innerhalb derselben Durchführung. Es gibt viele Arten von Thermoelementdurchführungen aus vielen verschiedenen Metallen mit unterschiedlichen Temperaturbereichen. Wenn Sie sich bei der Auswahl nicht sicher sind, rufen Sie uns bitte an.
INSTRUMENTIERUNG: Instrumentierungsdurchführungen, auch als Mehrstiftdurchführungen bekannt, übertragen elektrische Signale und/oder Anwendungen mit niedrigem Stromverbrauch über die Vakuumwand. Sie werden in Instrumentierungsanwendungen wie Elektronenmikroskopie, Oberflächenanalyse und Halbleiterprozesssteuerungen verwendet. Sie können aus elektrischen Anschlüssen mit Stiften oder Koaxialkabeln auf beiden Seiten der Vakuumwand bestehen, innen (Vakuum) oder außen (Atmosphäre). Vor der Auswahl sind folgende Punkte zu berücksichtigen: Maximalspannung Kabel zur Abschirmung, Maximalspannung Abschirmung zur Erde, Signalspannung, Erdung, Impedanz, Temperaturbereich, Anzahl der Verbindungen, Art der Anschlüsse usw. Bei der Bestellung ist es sehr wichtig, sicherzustellen, dass Sie die richtigen Anschlüsse erhalten oder nicht. Viele Arten von Instrumentierungsanschlussdurchführungen, im Zweifelsfall rufen Sie uns bitte an.
FLÜSSIG oder GAS: Flüssigkeits- oder Gasdurchführungen leiten ein Gas oder eine Flüssigkeit an ein im Vakuum montiertes Gerät oder eine Kammer. Dieses Gas oder diese Flüssigkeit kann eine bestimmte Temperatur in der evakuierten Kammer aufrechterhalten. Sie können mit CF- oder KF-Flanschen oder Grundplattenanschlüssen bestellt werden, die ein oder mehrere Rohre aufweisen, die an Durchgangslöcher geschweißt sind, wobei das Rohr auf beiden Seiten des Flansches/Grundanschlusses herausragt. Die Rohre haben verschiedene Durchmesser und sind oft mit einem kleinen Flansch oder Gasanschluss versehen. Zu berücksichtigen sind Flansche, die zu ungenutzten Flanschen an den Wänden des Geräts passen, Anzahl der Durchführungen, Rohrdurchmesser, Größe der Durchführungseingangsanschlüsse und Anschlüsse, die zu beiden Seitenkomponenten passen. Im Zweifelsfall rufen Sie uns bitte an.
DREHBEWEGUNG: Drehdurchführungen sind luftseitige Wellen, die eine vakuumseitige Welle drehen. Es gibt mehrere Arten von Drehantrieben, die sich durch Antriebsmechanismus, Vakuumabdichtung, kompatiblen Druckbereich und Anwendung unterscheiden. Zwei Typen sind elastomergedichtet, die zur Abdichtung Rücken an Rücken doppelte O-Ringe verwenden, und ferrogedichtet, wobei Ferrofluid-O-Ring-Technologie für höhere Drehzahlen und hohe Drehmomentkapazität verwendet wird. Durchführungen können wiederholbare Bewegungen oder grobe Positionierung ermöglichen und Drehbewegungen, lineare Bewegungen oder eine Kombination aus beidem ermöglichen. Es sind verschiedene Antriebsausführungen verfügbar, von manueller Drehung über pneumatische bis hin zu elektrischen Antrieben. Im Zweifelsfall rufen Sie uns bitte an.
ZUBEHÖR: Durchführungen erfordern möglicherweise zusätzliche Hardware, um die erforderlichen Verbindungen herzustellen. Wir führen Kabel, elektrische/Koaxial-Anschlüsse und Stifte für den Innen- und Außenbereich Ihrer Vakuumkammer. Wenn Sie nicht sicher sind, welches Zubehör Sie kaufen sollen, rufen Sie uns bitte an.
KUNDENSPEZIFISCHE DURCHFÜHRUNGEN: Die Auswahl der richtigen Durchführung für Ihren Vakuumprozess kann eine sehr schwierige Aufgabe sein. Wir können Ihnen bei dieser Auswahl helfen. Wir sind auch auf die Entwicklung und Herstellung dieser einzigartigen Durchführung für Ihren speziellen Vakuumprozess spezialisiert. Ob Auswahlhilfe oder Herstellung einer neuen Durchführung – unsere Techniker/Ingenieure nutzen ihr Know-how, um Ihre Vakuumprozessziele zu beschleunigen. Rufen Sie uns noch heute unter 505-872-0037 an.
