MKS Instruments VENTIL, 100SCCM 4 VCR M, Vorgeschaltete Ventile und Druckregler, Vorgeschaltete Ventile und Druckregler, PN 148JA12CR1M
Diese MKS Instruments VENTIL, 100SCCM 4 VCR M Teilenummer haben 148JA12CR1M, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Das fortschrittliche ultrareine Design des 148J-Ganzmetallregelventils von MKS Instrument minimiert die Partikelerzeugung und reduziert das Ausgasen von Restverunreinigungen, was beides zu Geräteausfällen und schlechten Erträgen führen kann. Zur Vermeidung von Kontamination und Korrosion werden Metalldichtungen mit einer garantierten externen Leckrate von weniger als 1 x 10-10 atm cc/sec (He) verwendet. Die 148 Hochtemperaturventile können bis zu einer Prozesstemperatur von 150 °C betrieben werden.
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