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Der Absolutdruckregler 640B ist ein eigenständiges, kompaktes elektronisches Regelsystem mit geschlossenem Regelkreis, das zur vor- oder nachgeschalteten Druckregelung verwendet wird. Es enthält ein Baratron®-Kapazitätsmanometer, ein normalerweise geschlossenes Proportionalsteuerventil und eine Regelelektronik. Der 640B ähnelt elektrisch einem Standard-MFC und wird mit ±15 VDC bei nur 200 mA betrieben, was den Einsatz mit Standard-Stromversorgungs-/Anzeigeelektronik ermöglicht. Die Druckausgangs- und Eingangssteuersignale sind linear 0-5 oder 0-10 VDC und vom Benutzer wählbar. Im 640B sind zwei Auslösepunkte mit LED-Statusanzeigen enthalten, die als einfache Ein-/Aus-Prozessgrenzen dienen. Zu den typischen 640B-Anwendungen gehören die Steuerung des Bubbler-Rückdrucks, die Steuerung des Gasverteilerdrucks und die Steuerung des Wafer-Rückseitendrucks. 2820.132
MKS Instruments DRUCKREGLER, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron,  PN  640A12TS1V42V
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Beschreibung

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MKS Instruments DRUCKREGLER, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron,  PN  640A12TS1V42V

Diese MKS Instruments DRUCKREGLER  Teilenummer haben 640A12TS1V42V, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Der Absolutdruckregler 640B ist ein eigenständiges, kompaktes elektronisches Regelsystem mit geschlossenem Regelkreis, das zur vor- oder nachgeschalteten Druckregelung verwendet wird. Es enthält ein Baratron®-Kapazitätsmanometer, ein normalerweise geschlossenes Proportionalsteuerventil und eine Regelelektronik. Der 640B ähnelt elektrisch einem Standard-MFC und wird mit ±15 VDC bei nur 200 mA betrieben, was den Einsatz mit Standard-Stromversorgungs-/Anzeigeelektronik ermöglicht. Die Druckausgangs- und Eingangssteuersignale sind linear 0-5 oder 0-10 VDC und vom Benutzer wählbar. Im 640B sind zwei Auslösepunkte mit LED-Statusanzeigen enthalten, die als einfache Ein-/Aus-Prozessgrenzen dienen. Zu den typischen 640B-Anwendungen gehören die Steuerung des Bubbler-Rückdrucks, die Steuerung des Gasverteilerdrucks und die Steuerung des Wafer-Rückseitendrucks.MKS Instruments DRUCKREGLER  finden Sie, indem Sie den PDF-Katalog und die Dokumente unten herunterladen. Öffnen Sie einfach das PDF Katalog unten, führen Sie die PDF-Suche aus (Strg F) und suchen Sie nach 640A12TS1V42V.

Preis

Produkt: MKS Instruments DRUCKREGLER, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron,  PN  640A12TS1V42V

Zustand: New
Garantie: MKS Instruments Garantie
Artikelnummer: 640A12TS1V42V
Verkaufspreis: €2,820.13

Währung Euro (Euro)

QTY:   

Anleitungen



VERFÜGBARE DOWNLOADS:
  Datenblatt zum elektronischen Druckregler MKS 640B, 641B.pdf (0.2 MB)
  MKS 640B, 641B Druckregler Bedienungsanleitung.pdf (0.58 MB)
  MKS 647B Mehrkanal-Durchflussverhältnis-/Druckregler Bedienungsanleitung.pdf (0.49 MB)
  MKS 649B Druckregler mit integriertem Massendurchflussmesser Bedienungsanleitung.pdf (0.49 MB)
  MKS 649B Elektronischer Druckregler mit Massenflussmesser – Datenblatt.pdf (0.2 MB)
  MKS DPC Zweizonen-Druckregler Datenblatt.pdf (0.44 MB)
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