MKS Instruments 640B DRUCKREGLER, 60 PSI, VITON, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, PN 640B61PW1V32V
Diese MKS Instruments 640B DRUCKREGLER, 60 PSI, VITON Teilenummer haben 640B61PW1V32V, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Der Absolutdruckregler 640B ist ein eigenständiges, kompaktes elektronisches Regelsystem mit geschlossenem Regelkreis, das zur vor- oder nachgeschalteten Druckregelung verwendet wird. Es enthält ein Baratron®-Kapazitätsmanometer, ein normalerweise geschlossenes Proportionalsteuerventil und eine Regelelektronik. Der 640B ähnelt elektrisch einem Standard-MFC und wird mit ±15 VDC bei nur 200 mA betrieben, was den Einsatz mit Standard-Stromversorgungs-/Anzeigeelektronik ermöglicht. Die Druckausgangs- und Eingangssteuersignale sind linear 0-5 oder 0-10 VDC und vom Benutzer wählbar. Im 640B sind zwei Auslösepunkte mit LED-Statusanzeigen enthalten, die als einfache Ein-/Aus-Prozessgrenzen dienen. Zu den typischen 640B-Anwendungen gehören die Steuerung des Bubbler-Rückdrucks, die Steuerung des Gasverteilerdrucks und die Steuerung des Wafer-Rückseitendrucks.MKS Instruments 640B DRUCKREGLER, 60 PSI, VITON finden Sie, indem Sie den PDF-Katalog und die Dokumente unten herunterladen. Öffnen Sie einfach das PDF Katalog unten, führen Sie die PDF-Suche aus (Strg F) und suchen Sie nach 640B61PW1V32V.
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