MKS Instruments MFC, N2, 5K SCCM, RS-485, NC BUNA, LCEA53CR15B10, Mit Metall und Elastomer abgedichtete Massendurchflussregler, Mit Metall und Elastomer abgedichtete Massendurchflussregler,  PN  GE50A013503R5B010

Diese MKS Instruments MFC, N2, 5K SCCM, RS-485, NC BUNA, LCEA53CR15B10  Teilenummer haben GE50A013503R5B010, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Der digital gesteuerte Massendurchflussregler GE50A ist entweder mit RS485, Profibus, EtherCAT oder DeviceNet I/O erhältlich. Die digitale Steuerelektronik nutzt die neuesten MKS-Steueralgorithmen für eine schnelle und wiederholbare Reaktion auf den Sollwert im gesamten Gerätesteuerbereich. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Sollwertgenauigkeit von 1 für das Kalibriergas. Die E/A-Protokolle sind so konzipiert, dass der GE50A problemlos die RS485- und DeviceNet-Versionen des 1179A MFC von MKS mit geringfügiger Codierung ersetzen kann. Eine standardmäßige Grundfläche von 3 Zoll ermöglicht den Einsatz ohne Änderung bestehender Gasleitungskonfigurationen. Der GE50A verfügt nur über eine externe Elastomerdichtung und einen Elastomer-Ventilstopfen. Alle benetzten Oberflächen sind aus Metall. Der GE50A wird standardmäßig mit Viton-Dichtungen oder optional mit Buna-, Neopren- oder Kalrez-Dichtungen geliefert, um unterschiedliche Gasanforderungen zu erfüllen.

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