MKS Instruments FALTENBALG,4,5ODX3,5L, Vorgeschaltete Ventile und Druckregler, Vorgeschaltete Ventile und Druckregler,  PN  SP99C0492X

Diese MKS Instruments FALTENBALG,4,5ODX3,5L  Teilenummer haben SP99C0492X, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Das Ventil 245 ist eine modifizierte Version des ausheizbaren Ganzmetall-Steuerventils der Serie 216 von Grainville-Philips. Das Ventil 245 ist in der Lage, Drücke von 10-11 bis 6000 Torr zu regeln, mit einem maximalen Durchsatz von bis zu 2500 Torr-Liter/Sek. (200 slm): Das Ventil kann mit vielen korrosiven Gasen verwendet werden, die den Einsatz anderer Ventile ausschließen. Wenn die Ventiltreiberbaugruppe entfernt ist, kann das Ventil für UHV-Anwendungen auf 450 °C erhitzt werden. Der zum Antrieb des Typs 245 verwendete Schrittmotor ermöglicht eine Reaktion auf Druck- oder Sollwertänderungen in Sekundenbruchteilen und treibt das Ventil in nur 15 Sekunden von einer vollständig geschlossenen in eine vollständig geöffnete Position. Der Controller Typ 244 vervollständigt das System. Das Druck-/Durchflussregelsystem 244/245 ist ein Rückkopplungsregelsystem mit geschlossenem Regelkreis für den Einsatz in Vakuumprozessen, die ein ausheizbares Ganzmetallregelventil zur Druck- oder Durchflussregelung über einen weiten Bereich erfordern. Das 244/345-System, bestehend aus einem Steuermodul und einem servogesteuerten Leckventil, eignet sich ideal für Einzelgasprozesse wie Sputtern, Sputterätzen, Ionenquellensteuerung, Ionenimplantation, Vakuummeterkalibrierung usw.

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