Agilent Varian TwisTorr 84-FS Turbo-Vakuumpumpe mit Conflat CF 2,75-Einlassflansch, 56 l/s Pumpgeschwindigkeit, für UHV-Anwendungen.
Kühlset erforderlich, Agilent Varian Teilenummer X3502-64003. Diese Agilent Varian TwisTorr 84 FS Turbomolekular-Vakuumpumpen verfügen über einen Conflat CF 2.75-Einlassflansch mit einer Pumpgeschwindigkeit von 56 L/S. Die Turbopumpen 84 FS sind eine aufgeladene Version der 74 FS. Ihre übertaktete Antriebsfrequenz von 1350 Hz ermöglicht eine Steigerung des Saugvermögens um 10 % und macht sie zu einer Spezialpumpe für das Ultrahochvakuum (UHV). Für die meisten allgemeinen Hochvakuumanwendungen (HV) empfiehlt Ideal Vacuum die wirtschaftlicheren und zuverlässigeren Turbopumpenmodelle 74 FS. Diese verstärkten Agilent 84 FS-Turbopumpen erzeugen ein höheres Kompressionsverhältnis für leichte Gase wie Wasserstoff und Helium, um einen höheren Durchsatz zu liefern und den niedrigsten Enddruck zu erreichen. Die Agilent Varian TwisTorr 84 FS Turbopumpen mit Conflat-Einlass sind echte Ultrahochvakuumpumpen (UHV) mit einem Enddruck von nur 3,75 x 10-10 Torr, wenn sie richtig verwendet werden. Die Conflat-Versionen dieser Pumpen ermöglichen beispielsweise die Ansaugflansch bis 120 Grad Celsius ausheizen. Für diese TwisTorr 84-FS-Turbopumpen ist ein Kühlsatz erforderlich, entweder mit Zwangsluftgebläse oder mit Wasserkühlung, sowie ein externer, ferngesteuerter Rackmount-Controller oder ein an der Pumpenseite montierter Onboard-Controller. Alle sind separat von Ideal Vacuum erhältlich.
Diese Agilent Varian TwistTorr 84 FS-Turbopumpen verfügen über einen Conflat CF 2.75-Einlassflansch, eine Pumpgeschwindigkeit von 56 l/s Stickstoff, einen KF-16-Vorleitungsflansch und eine Umgebungsbetriebstemperatur von 5 °C bis +35 °C. Diese 84 FS-Turbopumpen haben eine Anlaufzeit von weniger als 2 Minuten, eine Drehzahl von 81.000 U/min und empfohlene Vorvakuumpumpen mit Trockenscroll (IDP-3 oder IDP7) oder ölgedichteten Drehschieberpumpen (DS-40M oder DS). -102). Die Kühlanforderungen für Zwangsluftkühlung liegen bei einer Umgebungslufttemperatur von 5 bis 35 °C oder bei Wasserkühlung bei einem Mindestdurchfluss von 0,30 gpm, zwischen 15 und 25 °C bei 45 bis 75 psi.
Der neue Agilent Twistorr 84 FS bietet eine Mischung aus Leistung und Funktionen, die für eine Vielzahl von UHV-Anwendungen geeignet ist. Es kann in verschiedenen Bereichen eingesetzt werden:
Zu den typischen Anwendungen von Turbopumpen gehören:- Massenspektrometer
- Gaschromatographie-Massenspektrometrie (GC/MS)
- Flüssigkeitschromatographie-Massenspektrometrie (LC/MS)
- Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS)
- Flugzeit-Massenspektrometrie (TOF)
Vakuum in Forschung und Entwicklung:- Hochenergiephysik
- Fusionstechnologie
- Allgemeine UHV-Forschung
- Synchrotron-Lichtquellen, Teilchenbeschleuniger
Nanotechnologische Instrumente:- Elektronenmikroskopie
- Rasterelektronenmikroskopie (REM)
- Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)
- Fokussierte Ionenstrahlsysteme (FIB)
- Oberflächenanalyse
- Halbleiterfertigung
Industrielle Vakuumverarbeitung: Dünnschichtabscheidung:- Glasbeschichtungsanlagen (Architektur- und Automobilglas, Flachbildschirme)
- Produktion von Dünnschicht-Solarzellen (Photovoltaik)
- Optische Datenträger (CD, DVD, Magneto Optical Discs)
- Magnetische Speichermedien
- Oberflächenbehandlungen
- Optische Beschichtung (Augenheilkunde, Präzisions-Optoelektronik)
- Rollen-/Bahnbeschichtung auf Filmen oder Folien
Geräteverarbeitung:- Herstellung von Bildröhren für Fernseher und Monitore
- Evakuierung von Lampen (Autobahnbeleuchtung, Beamer)
- Röntgenröhren und Elektronengeräte
Allgemeine Prozesse: