BRUKER DektakXT-Advanced Stylus Profilometer, DXT-A Oberflächenprofil-Messsystem, 3D-automatische Oberflächenprofilierung

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Bruker DektakXT-A Stylus-Profilometer, DXT-Oberflächenprofil-Messsystem. Dieses Bruker DektakXT® Stylus-Profilometer ist ein Advanced Stylus-Profilometer (DXT-A) mit einer 3D-automatischen Oberflächenkartierungs- und Analysefunktion, die Stitching für bis zu 200 mm große Scans umfasst. Es verfügt über ein revolutionäres Tischdesign, das eine unübertroffene Wiederholgenauigkeit von 4 Å und eine bis zu 40 % höhere Scangeschwindigkeit ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über alle Funktionen, die zum Erfassen genauer Messungen von Stufenhöhe und Oberflächenrauheit erforderlich sind. Dieses DektakXT-A-System umfasst: Dell OptiPlex PC mit dem Betriebssystem Win10 Pro und der Software Bruker Vision64 Vier luftisolierte Füße Motorisierter X/Y-Tisch mit 6 Zoll Verfahrweg, motorisierte 360-Grad-Drehung umfasst 2-3, 4-6 oder 8" Vakuumspannfutter als Standard mit dem System LIS 3, Sensor mit geringer Trägheit und 1 bis 15 mg Kraft 3,1-Megapixel-Farbkamera mit wählbarer Vergrößerung Starterstift (wählen Sie 2 µm oder 12,5 µm) Optisch flacher Scanblock mit 55 mm Scanlänge 4 Å Schritthöhenwiederholgenauigkeit, 1 Sigma bei 1-µm-Schritt Stitching für bis zu 200 mm Scans 3D-Kartenerfassung und umfangreiche Datenanalyse Automatische Erfassungsfunktionen mit unbegrenzter Anzahl von Standorten 1 Jahr eingeschränkte Werksgarantie Dektak XT-Anlagenanforderungen, Abmessungen, Gewicht und WärmebelastungTabelle 1 listet die Anlagenanforderungen des DektakXT-Systems auf. Tabelle 2 listet seine Abmessungen, sein Gewicht und seine Wärmebelastung auf Belastung.STROM DXT-110V – 100/115 VAC-BETRIEBKonfigurieren Sie den Strom für 100/115 VAC-Betrieb. Bereit für den Betrieb in den Vereinigten Staaten und Ländern, die mit 100/115 Volt mit standardmäßigen 3-poligen US-Steckdosen arbeiten. UMWELTSCHUTZGEHÄUSE DXT-ENC – DXT-Umweltschutzgehäuse ist im Lieferumfang enthalten. COMPUTEREin 64-Bit-Desktop-Computer von Bruker ist im Lieferumfang enthalten. Dell OptiPlex, Win10 Pro-Betriebssystem, 3,2-GHz-Prozessor, Intel Core i5, 4 GB (1 x 4 G) 1600 MHz DDR3L-Speicher, 500 GB Festplatte mit Vision64# Betriebs- und Analysesoftware. COMPUTERMONITOR Ein VGA-kompatibler Monitor ist erforderlich. Der Monitor MUSS eine Auflösung von 1920 x 1080 bei 60 Hz unterstützen, einen DVI-D-Anschluss haben und DisplayPort-kompatibel sein. Das System wird nicht mit dem Monitor geliefert und ist nicht im Grundpreis enthalten. Auf Anfrage kann jedoch ein brandneuer kompatibler Monitor in Rechnung gestellt und geliefert werden.XY-BÜHNE DXT-AUTO - MOTORISIERTE XY-BÜHNE 150 X 150 MM, R-BÜHNE DXT-R-AUTO - MOTORISIERTE R-THETA DXT-S/A PROBENPLATTENOPTIONEN DXT-SET-WVC - WAFER-VAKUUM-CHUCK-PAKET 1.620,00 1.620,00 Wafer-Vakuum-Chuck-PaketDieses Wafer-Vakuum-Chuck-Paket besteht aus: 2-3" (838-203), 4-6" (838-189) und 8" (838-195) Wafer-Vakuum-Chucks. Der Preis ist zusätzlich zum Basissystempreis zu verstehen. STARTER-STYLUS DXT-STYL-2UM-B - STYLUS, LIS 3, 2UM RAD-TYP B Dieser Starter-Stylus mit 2um-Radius-Stylus-Spitze wird kostenlos mit diesem System geliefert und ermöglicht den sofortigen Einsatz nach der Installation. Es enthält kein SEM-Bild der Spitze. ANWENDUNGSPAKETE DXT-STITCH – STITCHING-FÄHIGKEIT Die Stitching-Funktion von Vision64 ermöglicht es DXT-A-Systemen, mehrere Scans zusammenzufügen und einen nahtlosen Scan zu erzeugen, der 6 Zoll (150 mm) motorisierten Weg abdeckt. Sie ist besonders nützlich bei der 2D-Filmspannungsmessung auf Silizium-Wafern und Proben ähnlicher Ebenheit. Die Stitching-Funktion ist in diesem DektakXT Advanced System (DXT-A) enthalten. DXT-3D MAP – 3D-MAPPING- UND ANALYSE-FÄHIGKEIT Die 3D-Mapping-Funktion von Vision64 umfasst die Live-Visualisierung von 3D-Karten, während diese auf DXT-A Advanced Systems erfasst werden. 3D-Mapping bietet die Möglichkeit, 3D-Datensätze aller Größen zu erzeugen, einschließlich großer Karten durch Stitching. Die vollständige Suite der 3D-Analysen von Vision64 ist mit dieser Funktion für erweitertes Filtern und Bearbeiten der Datensätze verfügbar. DXT-2D STRESS – 2D-SPANNUNGSMESSFUNKTION Die 2D-Spannungsmessungsfunktion von Vision64 berechnet Zug- und Druckspannung gleichzeitig. Mithilfe einer polynomischen Anpassung 5. Ordnung und einer vom Benutzer wählbaren Elastizitätskonstante erzielt die 2D-Spannungsfunktion genaue Ergebnisse. Sie kann in Kombination mit der Stitching-Funktion verwendet werden, um größere Bereiche auf flachen Wafern auf den DXT-Advanced-Systemen zu messen. Systeme, die mit einem Wafer-Vakuum-Chuck bestellt werden, umfassen verchromte Kugellager und einen Stiftmagneten. DXT-AUTOMATION – AUTOMATISIERTE MESSWERTERFASSUNG Die Vision64-Automatisierungsfunktion bietet die automatische Erfassung von Zeilenscans und 3D-Karten an mehreren Standorten. Bediener können mithilfe von Automatisierungsrezepten eine Reihe von Analysen mit einem einfachen Mausklick durchführen. Diese Standardfunktion von DXT-A ist in Produktions-QA/QC-Umgebungen von Vorteil, in denen wiederholte Messungen an mehreren Standorten einer Probe erforderlich sind. KUNDENINSTALLATIONSKIT Der DektakXT ist so konzipiert, dass er mit diesem Kit selbst installiert werden kann. Ein Schulungsvideo führt unsere Kunden durch das Auspacken, Einrichten und die erste Überprüfung der Systemfunktionalität. Ein zusätzlicher Satz Videos führt die Bediener durch die Datenerfassung und -analyse. Mit diesem umfassenden Satz kurzer Videos lernen die Bediener schnell den DXT-Betrieb kennen und können während der gesamten Betriebsdauer des Systems als Referenz verwendet werden.