MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC), digital gesteuert, Bereich von 0,4 bis 20 sccm, 15-poliger D-Subminiatur, 4 VCR-Stecker.
MKS-Teilenummer: GM50A013201RMM020. Der MKS GM50A-Massendurchflussregler kann für die Steuerung von N2 oder einem Äquivalent konfiguriert werden und verfügt über einen vollen Durchflussbereich von 20 sccm und einen Steuerbereich von 0,4 bis 20 sccm. Es verfügt über einen 15-poligen D-Subminiatur-Analogstecker mit verbundener Masse, ein 0-5-V-DC-Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal und einen Swagelok® 4 VCR®-Stecker für Eingangs- und Ausgangsanschlüsse. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Genauigkeit von 1 % des Sollwerts für das Kalibriergas.
Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die Sie zugreifen können, indem Sie den MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder einen Computer anschließen. Mit der E-Diagnostics-Anwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten grafisch darstellen und Variablen auswählen.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company