Edwards iXL120N Trockenvakuumpumpe, 200–460 VAC, Stickstoffspülanschluss, kundenspezifisch, 3/8 QC-Schnellkupplungs-Wasseranschluss hinzugefügt. Edwards-Teilenummer: A54114010. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zum Schutz der Umwelt bei! Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten Edwards iXL120N Merkmale und Vorteile: Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Der Green Mode kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Erstklassig in der Klasse Die Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Eine Wasserversorgung mit bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen dazu bei, die Betriebskosten des Kunden zu minimieren. Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50 V ab /60 Hz Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Fertigungsraum gespart wird

Edwards iXL120 E 200–460 VAC Trockenvakuumpumpe, 3/8 QC-Wasseranschluss. Kompakt, klein und leicht. Edwards-Teilenummer A54113010. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zur Schonung der Umwelt bei. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten Merkmale und Vorteile des Edwards iXL120: Die Option ohne Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installations- und Betriebskosten. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Verlegung und Positionierung der Vorleitung Optionen Der grüne Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % reduzieren. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Bis zu 35 °C Wasserversorgung tragen dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen zur Kundenminimierung bei Betriebskosten Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50/60 Hz ab. Extrem klein und leicht, was dazu beiträgt, wertvollen Fertigungsraum zu sparen

Edwards Trockenvakuumpumpe iXL120 E 200–460 VAC Trocken 1/4 QC Wasseranschluss. Kompakt, klein und leicht. Edwards-Teilenummer A54113020. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zur Schonung der Umwelt bei. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten Merkmale und Vorteile des Edwards iXL120: Die Option ohne Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installations- und Betriebskosten. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Verlegung und Positionierung der Vorleitung Optionen Der grüne Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % reduzieren. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Bis zu 35 °C Wasserversorgung tragen dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen zur Kundenminimierung bei Betriebskosten Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50/60 Hz ab. Extrem klein und leicht, was dazu beiträgt, wertvollen Fertigungsraum zu sparen

Edwards Trockenvakuumpumpe iXL120 E 200–460 VAC HIT 3/8 QC Wasseranschlüsse. Kompakt, klein und leicht. Edwards-Teilenummer A54113610. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zur Schonung der Umwelt bei. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten Merkmale und Vorteile des Edwards iXL120: Die Option ohne Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installations- und Betriebskosten. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Verlegung und Positionierung der Vorleitung Optionen Der grüne Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % reduzieren. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Bis zu 35 °C Wasserversorgung tragen dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen zur Kundenminimierung bei Betriebskosten Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50/60 Hz ab. Extrem klein und leicht, was dazu beiträgt, wertvollen Fertigungsraum zu sparen

Edwards Trockenvakuumpumpe iXL120 E 200–460 VAC MCM 3/8 QC Wasseranschlüsse. Kompakt, klein und leicht. Edwards-Teilenummer A54113710. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zur Schonung der Umwelt bei. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fabrik gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Die Option zur Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installation und Betriebskosten Merkmale und Vorteile des Edwards iXL120: Die Option ohne Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installations- und Betriebskosten. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Verlegung und Positionierung der Vorleitung Optionen Der grüne Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % reduzieren. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Bis zu 35 °C Wasserversorgung tragen dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen zur Kundenminimierung bei Betriebskosten Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50/60 Hz ab. Extrem klein und leicht, was dazu beiträgt, wertvollen Platz in der Fabrik zu sparen

Edwards Trockenvakuumpumpe iXL120 E 200–460 VAC 3/8 QC Wasseranschlüsse mit Durchflussregelventil. Edwards-Teilenummer A54113011. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zur Schonung der Umwelt bei. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten Merkmale und Vorteile des Edwards iXL120: Die Option ohne Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installations- und Betriebskosten. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Verlegung und Positionierung der Vorleitung Optionen Der grüne Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % reduzieren. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Bis zu 35 °C Wasserversorgung tragen dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen zur Kundenminimierung bei Betriebskosten Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50/60 Hz ab. Extrem klein und leicht, was dazu beiträgt, wertvollen Fertigungsraum zu sparen

Edwards Trockenvakuumpumpe iXL120 E 200–460 VAC SPI 1/4 QC Wasseranschlüsse mit Durchflussregelventil. Edwards-Teilenummer A54113221. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zur Schonung der Umwelt bei. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten Merkmale und Vorteile des Edwards iXL120: Die Option ohne Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installations- und Betriebskosten. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Verlegung und Positionierung der Vorleitung Optionen Der grüne Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % reduzieren. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Bis zu 35 °C Wasserversorgung tragen dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen zur Kundenminimierung bei Betriebskosten Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50/60 Hz ab. Extrem klein und leicht, was dazu beiträgt, wertvollen Fertigungsraum zu sparen

Edwards Trockenvakuumpumpe iXL120 E 200–460 VAC HIT 3/8 QC Wasseranschlüsse mit Durchflussregelventil. Edwards-Teilenummer A54113611. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zur Schonung der Umwelt bei. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten Merkmale und Vorteile des Edwards iXL120: Die Option ohne Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installations- und Betriebskosten. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Verlegung und Positionierung der Vorleitung Optionen Der grüne Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % reduzieren. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Bis zu 35 °C Wasserversorgung tragen dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen zur Kundenminimierung bei Betriebskosten Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50/60 Hz ab. Extrem klein und leicht, was dazu beiträgt, wertvollen Fertigungsraum zu sparen

Edwards Trockenvakuumpumpe iXL120 E 200–460 VAC MCM 3/8 QC Wasseranschlüsse mit Durchflussregelventil. Edwards-Teilenummer A54113711. Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zur Schonung der Umwelt bei. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten Merkmale und Vorteile des Edwards iXL120: Die Option ohne Stickstoffspülung macht eine Stickstoffversorgung überflüssig und spart Installations- und Betriebskosten. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Verlegung und Positionierung der Vorleitung Optionen Der grüne Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % reduzieren. Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Bis zu 35 °C Wasserversorgung tragen dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu reduzieren. Nur 0,55 kW1 Stromverbrauch tragen zur Kundenminimierung bei Betriebskosten Eine einzige Variante deckt den Versorgungsspannungsbereich von 200–460 V, 50/60 Hz ab. Extrem klein und leicht, was dazu beiträgt, wertvollen Fertigungsraum zu sparen

Edwards iXL600N Trockenvakuumpumpe. 200-460 V 50/60 Hz 3-Phasen-Versorgung. 600 m3h-1 Spitzensaugvermögen. Beinhaltet: 3/8 Schnellanschluss-Wasseranschlüsse. Edwards PN: A54134010 Der iXL600N ist eine Kombination aus Trockenpumpe und Druckerhöhungssystem. Die Systeme sind für den Einsatz in leichten Anwendungen vorgesehen und die N-Variante ist mit einem Gasmodul ausgestattet, das den Pumpenmechanismusbereichen Stickstoffspülgas zuführt. Der Stator, der Motor und die Wechselrichterantriebe sind wassergekühlt. Die Pumpsysteme können über das Frontpanel, ein PDT-Zubehör oder vom Werkzeug über MicroTIM gesteuert werden. Die Trockenpumpensysteme sind für den Einsatz in Lastschleusen und leichten Anwendungen vorgesehen. Zu den gängigen Anwendungen gehören Ladesperre, Transfer, Messtechnik, Lithographie, PVD-Prozess und PVD-Vorreinigung.

Edwards GX-, iGX-, iXH-, iXM- und iXL-Pumpenanzeigeterminal, 5-polig, XLR-Stecker, tragbares Tastatur-Anzeigemodul. Edwards-Teilenummer: D37280700 Edwards GX-, iGX-, iXH-, IXM- und iXL-Pumpenanzeigeterminal, 5-Wege-XLR-Stecker. Handdisplay für Edwards GX-, iGX- und iXL120-Trockenpumpensysteme mit 5-Wege-XLR-Anschluss. Edwards Vacuum Teilenummer D37280700.

Edwards SPI Micro TIM-ModulD37360310SPI Micro TIM-Modul bietet Edwards SPI-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem Micro TIM-Steckplatz. Ein SPI Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das SPI Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Das Edwards MCM Micro TIM-ModulD37360320Das MCM MicroTIM-Modul bietet eine Edwards MCM-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein MCM Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool über eine parallele digitale Schnittstelle verwendet werden. Das MCM Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie GXS-Serie (nur MCM-Version) CXS-Serie (nur MCM-Version) Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesswerkzeug oder andere Steuergeräte verwendet werden. Beispielsweise kann eine Pumpe von einer iH auf eine iHs aufgerüstet werden, ohne dass das Schnittstellenmodul geändert werden muss. Das MCM Micro TIM ist AUC-kompatibel mit Pumpen der Serien GXS und CXS. Entspricht iH iTIM D37422000 - MCM. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards TEL Micro TIM-ModulD37360330Das TEL Micro TIM-Modul bietet eine Edwards TEL-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem Micro TIM-Steckplatz. Ein TEL Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das TEL Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Das Semi-E73-Micro-TIM-Modul von EdwardsD37360340Das Semi-E73-Micro-TIM-Modul bietet eine Semi-E73-kompatible Werkzeugschnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Semi-E73-Micro-TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Der Semi E73 Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards LAM Alliance Micro TIM ModuleD37360350LAM Alliance MicroTIM bietet eine Tool-Schnittstelle zu LAM Alliance-Plattformen für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein LAM Alliance Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das LAM Alliance Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards Novellus C3 Micro TIM-ModulD37360360Novellus C3 Micro TIM bietet eine Tool-Schnittstelle zu Novellus C3-Plattformen für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Novellus C3 Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das Novellus C3 Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards Hitachi Micro TIM ModuleD37360370Hitachi MicroTIM bietet eine Hitachi-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Hitachi Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Der Hitachi Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards iXL-Trockenhalbleiterpumpenstecker zur Herstellung von Stromkabeln für Vakuumpumpen der iXL-Serie. Dies ist ein Edwards iXL-Trocken-Halbleiterpumpen-Steckersatz zur Herstellung eines Eingangsnetzkabels für Halbleiter-Vakuumpumpen der Edwards iXL-Serie. Funktioniert mit iXL120 und anderen Modellen.

Edwards EMO-Kabel für die Installation einer Trockenhalbleiterpumpe der iXL- oder iXH-Serie neuer Bauart an einem Werkzeug mit vorhandenen Pumpen der iH-Serie alter Bauart. Ideal Vacuum liefert unser eigenes Schnittstellenkabel, das den Austausch einer älteren Pumpe der iH-Serie durch die Modelle IXL120N, iXH100 oder iXH610 ermöglicht. Diese EMO-Verkabelung ist nützlich für Anwendungen, bei denen an einem Halbleiterwerkzeug mehrere iH-Pumpen alter Bauart in der Unterfertigung angeschlossen sind. Dieses Schnittstellenmodulkabel setzt die EMO-Schaltung über die verbleibenden iH-Pumpen des alten Stils und durch die iXL120N-Ersatzpumpe des neuen Stils fort. Im Folgenden werden die Anschlüsse und die verschiedenen Schnittstellenmodule ausführlich beschrieben. Dieses Kabel wird normalerweise von P2 (Ausgang) des iTIM auf der linken Seite des iH mit dem Notaus-Anschluss (EMS) des iXL120N und J1 (Eingang) des iTIM auf der rechten Seite der iH-Pumpe verbunden (Details finden Sie in unserem Anwendungshinweis im PDF-Format). . Das Problem besteht darin, dass die Pumpen der Edwards iH-Serie inzwischen eingestellt wurden und nicht mehr erhältlich sind. Ideal Vacuum hat die Ersatzpumpen iXL120N für die Ladeschleuse, iXH100 (ersetzt iH80), iXH610 (ersetzt iH600) usw. auf Lager. Die neue iXL120N-Pumpe verfügt nicht über eine EMO-Taste an der Vorderseite wie die alten IH-Pumpen (siehe Details in unserem Anwendungshinweis). Das Edwards iTIM wurde häufig mit trockenen Halbleitervakuumpumpen der Edwards iH-Serie älterer Bauart konfiguriert, bei denen mehrere Pumpen an ein einziges Halbleiterwerkzeug in der Unterfabrik angeschlossen sind. Die EMO-Verkabelung ist so eingerichtet, dass das Werkzeug abgeschaltet wird, wenn eine EMO an einer der Pumpen der iH-Serie gedrückt wird. Sie sind normalerweise in Reihe in einer Daisy-Chain-Konfiguration verkabelt.