MKS Granville Phillips 390 Micro-Ion Gauge ATM-Modul für GP 830, 835 VQM. 2 SOLLWERTE, MIT DISPLAY, CF 2,75 Zoll, 390802-2-YG-T

Dieses Gesamtdruck-Mikroionenmodul 390802 funktioniert mit dem MKS Granville Phillips Vacuum Quality Monitor System (VQM) 830 oder 835 Power Mass Spectrometer Gauge. VQM.

Das MKS Granville-Phillips Micro-Ion ATM-Modul kombiniert die bewährte Micro-Ion-Ionisationsmesstechnologie mit einem Miniatur-Conductron-Wärmeverlustsensor und zwei piezoresistiven Sensoren, um eine genaue, kontinuierliche Druckmessung vom Hochvakuum bis zur Atmosphäre zu ermöglichen. Mithilfe seiner Membransensoren ist dieses Produkt in der Lage, einen genauen Absolutdruck bis zur Atmosphäre sowie eine präzise Anzeige des Differenzdrucks der Vakuumkammer gegenüber der Umgebung zu liefern. Das einzigartige Sensordesign eliminiert thermische Effekte, die die Leistung des Wärmeverlustsensors bei höheren Drücken beeinflussen können. Dieses kleine Modul vereint alle vier Sensoren und Steuerelektronik in einem kompakten modularen Design, wodurch die Anzahl der in einer Kammer erforderlichen Messgeräte reduziert und der benötigte Platz minimiert wird. Die Druckmessung im gesamten Bereich wird als einzelnes Analogsignal ausgegeben oder ist über optionale serielle RS-485- oder DeviceNet-Digitalschnittstellen verfügbar. Die RS-485- und DeviceNet-Versionen verfügen über bis zu drei optionale Sollwertrelais, die für die Prozesssteuerung konfiguriert werden können, mit der Möglichkeit, die Relais jedem Druck im gesamten Vakuumdruckbereich oder einem bestimmten Differenzdruckwert zuzuweisen.

Zu den Vorteilen gehören:
•Kontinuierliche Druckmessung von 1 x 10-9 Hochvakuum bis Atmosphäre.
• Präzise Differenzdruckmessung bei Atmosphäre.
• Macht diskrete atmosphärische Schalter überflüssig.
• Macht drei separate Sensoren überflüssig.
• Duale Ionisationsmessfäden erhöhen die Betriebszeit der Geräte.
• Automatisierung der Aktivierung und Deaktivierung des Ionisationsmessgeräts.
• Optionale Sollwertrelais zur Prozesssteuerung.
• Vor Ort austauschbare Messgerätebaugruppe.
• Analog-, RS-485- oder DeviceNet-Ausgang verfügbar.
• Optionales grafisches LCD-Display.

Modulare Vakuummessgeräte sind eine ideale Lösung für Anwendungen, die keine Anzeigen und Bedienelemente auf der Vorderseite erfordern. Bei diesen kompakten, praktischen, zuverlässigen und kostensparenden Modulen ist die Steuerelektronik direkt am Messgerät montiert. Das Ganzmetallgehäuse bietet ein robustes Gehäuse und ein hohes Maß an Immunität gegen elektrische Störungen. Mini-Konvektron-Module nutzen die neueste Elektroniktechnologie, um das MKS Granville-Phillips®Convectron®Gauge zu betreiben. Das Konvektron-Messgerät ist zu einem Industriestandard geworden. Es handelt sich um eine einzigartige Variante von Wärmeleitfähigkeitsmessgeräten, bei denen die Druckmessung auf der Wärmeverlustrate eines Sensordrahts basiert. Im Gegensatz zu herkömmlichen Thermoelement- und Pirani-Messgeräten, die nur den Wärmeverlust durch Leitung nutzen, nutzen Konvektron-Messgeräte den Wärmeverlust aufgrund der Konvektion bei höheren Drücken. Dies erweitert den Bereich genauer, wiederholbarer Messungen auf die Atmosphäre.