NUEVA bomba de vacío primaria en seco de alto vacío Edwards EPX 500LE 400 VAC 3PH. Conector de agua de 3/8 pulg. Entrada ISO 160 - Número de pieza A41953714 - Con MCM TIM

La nueva bomba seca de alto vacío compacta EPX500LE CON módulo de interfaz de herramientas (TIM) ofrece un rendimiento mejorado con un costo de propiedad reducido. Usando un mecanismo único protegido por patente, el EPX500LE es capaz de bombear desde la atmósfera hasta presiones máximas de menos de 7 x 10-7 Torr. Estas son bombas verdaderamente asombrosas; la bomba EPX de Edwards puede bombear desde la atmósfera hasta el rango de presión turbomolecular y puede operar continuamente en todas las presiones de entrada. Basado en la exitosa gama IPX galardonada, el EPX500 modular ofrece un rendimiento sobresaliente en un paquete que es un 20 % más liviano, un 30 % más pequeño y requiere un 40 % menos de energía que el IPX. La serie de bombas EPX LE tiene un controlador de usuario final (EUC). El controlador de usuario final permite el control local para uso independiente, así como la capacidad de conectarse a una red de toda la fábrica para control y monitoreo remotos. El sistema de bomba EPX opera a presiones entre la atmosférica y el vacío final, sin fluido lubricante o sellador en la cámara de bombeo. Esto asegura un sistema de bombeo limpio sin retorno de aceite o fluido al sistema que se está evacuando.

El estator de la bomba y el motor adjunto se enfrían mediante un circuito integrado de refrigeración por agua. Por lo tanto, la bomba EPX es adecuada para aplicaciones en entornos de salas limpias donde la refrigeración por ventilador es inaceptable. Las tuberías de suministro y retorno de agua de refrigeración están conectadas a la bomba mediante conectores de agua (especificados por el cliente). El agua de refrigeración debe ser acorde con las condiciones ambientales (humedad y temperatura) de modo que no se alcance el punto de rocío. La bomba incorpora un filtro de suministro EMC y un convertidor de frecuencia, que proporciona y controla el suministro eléctrico al motor de la bomba. Los LED en la cubierta frontal identifican el estado de la bomba EPX. La velocidad del motor depende de la presión en la entrada de la bomba. Cuando la bomba arranca con la presión de entrada igual o cercana a la presión atmosférica, el motor acelera a una velocidad que está limitada por la corriente que puede suministrar el inversor. A medida que se reduce la presión en la entrada, la velocidad del motor aumenta hasta que finalmente alcanza su velocidad máxima preestablecida. Si la presión en la entrada aumenta, el motor se ralentizará de nuevo.

La serie de bombas EPX LE se puede operar manualmente usando la pantalla y el teclado local del control de usuario final (EUC), o de forma remota usando una terminal de pantalla de bomba (PDT), si está instalada; también se puede controlar y monitorear a través de la red, que se conecta a la bomba EPX a través del conector de red. Cuando la serie de bombas EPX LE se controla a través del módulo de interfaz de herramientas (TIM), el EUC simplemente monitorea el estado de la bomba. La bomba EPX es compatible con Fabworks 32. La EPX tiene cuatro aisladores de vibración. Los sensores de protección de la bomba apagan automáticamente la bomba si surge una condición de falla. La serie EPX cubre una amplia gama de aplicaciones, desde el manejo de obleas hasta procesos de servicio mediano. La serie EPX 'LE' ha sido diseñada para su uso en aplicaciones de servicio limpio que bombean mezclas de gases inertes, como Loadlock, donde el control lo proporciona la interfaz de la herramienta de proceso. Descarga un Manual de Instrucciones al costado.