Válvula de purga Agilent Varian Turbo, 20 SCCM KF-16 x M12, compatible con la mayoría de las bombas de vacío turbomoleculares Agilent de tamaño mediano, PN 969-9241

Estas válvulas de purga turbo Agilent Varian tienen un caudal fijo de 20 SCCM, un accesorio de suministro de gas KF-16 y están diseñadas para funcionar con la mayoría de las bombas de vacío turbomoleculares de tamaño mediano que tienen una rosca de puerto de ventilación M12. Consulte la segunda y tercera fotos del puerto de ventilación y la caricatura que muestra la instalación; las instrucciones también se muestran en el manual de TwisTorr 305 FS en la página 247. La válvula de purga de gas es un dispositivo de protección para proteger los cojinetes de la bomba contra partículas y gases corrosivos que podrían pasar a la bomba. Cada válvula está hecha con un orificio de zafiro calibrado delgado montado en un cartucho para proporcionar una pequeña tasa de fuga precisa, con dos membranas especiales de PTFE en cada lado del tubo. Esto es para evitar que entren partículas, polvo y cualquier líquido que ocluya el orificio delgado. Cada versión de la válvula es adecuada para una aplicación particular: - la Fuga pequeña (~ 10 sccm a 1000 mbar) para operación corrosiva leve cuando la presión parcial del gas corrosivo es de un máximo de 10-5 mbar (instrumentos analíticos, implantadores de iones); - la Gran fuga (~ 20 sccm a 1000 mbar) para operaciones corrosivas fuertes (ataque, CVD), cuando la presión parcial del gas corrosivo es >10-5 mbar. Si desea utilizar un caudal diferente, puede cambiar la presión de suministro. Para una presión de suministro determinada, la válvula de purga de gas puede proporcionarle un valor de caudal fijo. Tenga en cuenta que la cantidad de flujo no depende de la presión del lado de vacío de la válvula. Estas válvulas de purga turbo tienen el número de pieza PN 969-9241 de Agilent Varian.

Funciona con las siguientes turbobombas Agilent Varian:

• TwistTorr 74 FS
• TwistTorr 84 FS
• TwistTorr 305 FS
• TwistTorr 305-IC
• TwistTorr 404 FS
• TwistTorr 704 FS
• TwistTorr 804 FS
• Turbo-V 1001