Bomba de iones Agilent Varian Miniatura VacIon Plus, velocidad de bombeo de 0,4 l/s, tubo de acero inoxidable de 3/8 pulgadas de diámetro exterior y 90 grados. PN: 9130041 Agilent ofrece una amplia variedad de bombas de iones de pequeño tamaño diseñadas especialmente para aplicaciones de dispositivos y detectores de electrones. La bomba Vaclon en miniatura tiene una configuración de diodo y proporciona aproximadamente 0,4 l/s de velocidad de bombeo de nitrógeno. El Small VacIon Miniature tiene un tubo de acero inoxidable de 90 grados de 3/8 pulgadas de diámetro exterior. Las bombas que se procesan se hornean a 400 °C y se pellizcan al vacío, lo que permite que el usuario verifique la integridad del vacío justo antes de su uso. Las bombas no procesadas se prueban para detectar fugas de vacío y corriente de fuga mínima. A continuación, se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba Agilent Varian Miniatura VacIon en formato PDF. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 V CC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de operación. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas de iones de la familia VacIon Plus se usan comúnmente para crear vacío ultraalto (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diode VacIon Plus La versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon Plus El elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon Plus Velocidad de bombeo El parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen dado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material catódico por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo. • Entierro de gas en los ánodos y paredes de la bomba. • La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y erosión del cátodo. Vida útil Cuando una bomba de iones es nueva o se ha regenerado, por ejemplo, al hornearla, la capa superficial del cátodo está limpia y la reemisión de gas es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. Hidrógeno El hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. Metano Aunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar info Agilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora, y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Bomba de iones Agilent Varian Miniatura VacIon Plus, velocidad de bombeo de 0,4 l/s, 3/8 pulgadas de DE 180 grados, tubo de acero inoxidable. Número de pieza Agilent Varian 9130038 Agilent ofrece una amplia variedad de bombas iónicas de pequeño tamaño diseñadas especialmente para aplicaciones de dispositivos y detectores de electrones. La bomba Vaclon en miniatura tiene una configuración de diodo y proporciona aproximadamente 0,4 l/s de velocidad de bombeo de nitrógeno. El Small VacIon Miniature tiene un tubo de acero inoxidable de 180 grados de 3/8 pulgadas de diámetro exterior. Las bombas que se procesan se hornean a 400 °C y se pellizcan al vacío, lo que permite que el usuario verifique la integridad del vacío justo antes de su uso. Las bombas no procesadas se prueban para detectar fugas de vacío y corriente de fuga mínima. A continuación, se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba Agilent Varian Miniatura VacIon en formato PDF. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 VCC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de funcionamiento. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas de iones de la familia VacIon Plus se usan comúnmente para crear vacío ultraalto (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diode VacIon Plus La versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon Plus El elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon Plus Velocidad de bombeo El parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen determinado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material catódico por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo. • Entierro de gas en los ánodos y paredes de la bomba. • La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y erosión del cátodo. Vida útil Cuando una bomba de iones es nueva o se ha regenerado, por ejemplo, al hornearla, la capa superficial del cátodo está limpia y la reemisión de gas es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. Hidrógeno El hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. Metano Aunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar info Agilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Bomba de iones Agilent Varian Miniatura VacIon Plus, velocidad de bombeo de 0,4 l/s, 3/8 pulg. DE, tubo de cobre. PN: 9130049 La serie de bombas de iones Agilent Varian VacIon Plus es la mejor de su línea debido a su alto rendimiento en la creación de ultra alto vacío (UHV), su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, larga vida útil, capacidad para leer la presión de vacío , y funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. Aquí ofrecemos la bomba de iones Agilent Varian Miniatura VacIon Plus, velocidad de bombeo de 0,4 l/s, 3/8 pulg. DE, tubo de cobre. El modelo de bomba de iones miniatura VacIon Plus es una configuración de diodo modificada para mejorar el arranque a baja presión. Esta bomba de iones VacIon en miniatura Agilent Varian tiene el número de pieza de Agilent Varian 9130049. Se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones VacIon en miniatura Agilent Varian en formato PDF al costado. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 VCC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de operación. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas de iones de la familia VacIon Plus se usan comúnmente para crear vacío ultraalto (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diode VacIon Plus La versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon Plus El elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon Plus Velocidad de bombeo El parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen determinado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material catódico por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo. • Entierro de gas en los ánodos y paredes de la bomba. • La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y erosión del cátodo. Vida útil Cuando una bomba de iones es nueva o se ha regenerado, por ejemplo, al hornearla, la capa superficial del cátodo está limpia y la reemisión de gas es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. Hidrógeno El hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. Metano Aunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar info Agilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora, y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Bomba de iones Agilent Varian Miniatura VacIon Plus, velocidad de bombeo de 0,4 l/s, 3/8 pulg. DE 90 grados, tubo de cobre. Número de pieza de Agilent Varian 9130050 La serie de bombas de iones Agilent Varian VacIon Plus es la mejor de su línea debido a su alto rendimiento en la creación de vacío ultraalto (UHV), su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, larga vida útil, capacidad de leer presión de vacío y funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. Aquí ofrecemos la bomba de iones Agilent Varian Miniatura VacIon Plus, velocidad de bombeo de 0,4 l/s, 3/8 pulg. DE, tubo de cobre. El modelo de bomba de iones miniatura VacIon Plus es una configuración de diodo modificada para mejorar el arranque a baja presión. Esta bomba de iones VacIon en miniatura Varian de Agilent tiene el número de pieza 9130050 de Agilent Varian. Se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones VacIon en miniatura Agilent Varian en formato PDF al costado. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 VCC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de funcionamiento. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas de iones de la familia VacIon Plus se usan comúnmente para crear vacío ultraalto (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diode VacIon Plus La versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon Plus El elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon Plus Velocidad de bombeo El parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen dado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material catódico por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo. • Entierro de gas en los ánodos y paredes de la bomba. • La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y erosión del cátodo. Vida útil Cuando una bomba de iones es nueva o se ha regenerado, por ejemplo, al hornearla, la capa superficial del cátodo está limpia y la reemisión de gas es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. Hidrógeno El hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. Metano Aunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar info Agilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Con el fin de garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultra limpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora, y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas iónicas, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Bomba de iones Agilent Varian Small VacIon Plus, velocidad de bombeo de 2 l/s, 3/4 pulgadas de DE 180 grados, tubo de acero inoxidable. Número de pieza de Agilent Varian 9190521 La serie de bombas de iones Agilent Varian VacIon Plus es la mejor de la línea debido a su alto rendimiento en la creación de ultra alto vacío (UHV). Son limpios, tienen la capacidad de bombear diferentes gases, tienen una larga vida útil, pueden leer la presión de vacío, no requieren mantenimiento y funcionan sin vibraciones. Aquí ofrecemos la bomba de iones Agilent Varian VacIon Plus, velocidad de bombeo de 2 l/s, 3/4 pulg. DE 180 grados, tubo de acero inoxidable. El modelo de bomba de iones VacIon Plus de 2 l/s es una configuración de diodo modificada para mejorar el arranque a baja presión. Esta bomba de iones Agilent Varian VacIon tiene el número de pieza de Agilent Varian 9130521. Se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian de 2 l/s en formato PDF al costado. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 V CC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de funcionamiento. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas de iones de la familia VacIon Plus se usan comúnmente para crear vacío ultraalto (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diode VacIon Plus La versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon Plus El elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon Plus Velocidad de bombeo El parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen determinado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material catódico por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo. • Entierro de gas en los ánodos y paredes de la bomba. • La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y erosión del cátodo. Vida útil Cuando una bomba de iones es nueva o se ha regenerado, por ejemplo, al hornearla, la capa superficial del cátodo está limpia y la reemisión de gas es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. Hidrógeno El hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. Metano Aunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar info Agilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Bomba de iones Agilent Varian Small VacIon Plus, velocidad de bombeo de 2 l/s, 1-1/3 pulgadas CFF 180 grados. Número de pieza de Agilent Varian 9190520 La serie de bombas de iones Agilent Varian VacIon Plus es la mejor de la línea debido a su alto rendimiento en la creación de ultra alto vacío (UHV). Son limpios, tienen la capacidad de bombear diferentes gases, tienen una larga vida útil, pueden leer la presión de vacío, no requieren mantenimiento y funcionan sin vibraciones. Aquí ofrecemos la bomba de iones Agilent Varian VacIon Plus, velocidad de bombeo de 2 l/s, tubo de cobre Conflat CFF de 1,33 pulgadas. El modelo de bomba de iones VacIon Plus de 2 l/s es una configuración de diodo modificada para mejorar el arranque a baja presión. Esta bomba de iones Agilent Varian VacIon tiene el número de pieza de Agilent Varian 9190520. Se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian de 2 l/s en formato PDF al costado. Operación de bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 V CC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de operación. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas VacIon Plus FamilyIon se utilizan comúnmente para crear ultra alto vacío (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diodo VacIon PlusLa versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon PlusEl elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon PlusVelocidad de bombeoEl parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen determinado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material del cátodo por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo.• Gas enterrado en los ánodos y las paredes de la bomba.• La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y la erosión del cátodo. está limpio y la reemisión de gas del mismo es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. HidrógenoEl hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. MetanoAunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos "obtenidos" más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar infoAgilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora, y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen una vida nominal superior a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Bomba de iones Agilent Varian Small VacIon Plus, velocidad de bombeo de 2 l/s, tubo de acero inoxidable de 3/4 (0,75) pulgadas de diámetro exterior y 180 grados. PN: 9190523 La serie de bombas de iones Agilent Varian VacIon Plus es la mejor de su línea debido a su alto rendimiento en la creación de ultra alto vacío (UHV), su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, larga vida útil, capacidad para leer la presión de vacío , y funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. Aquí ofrecemos la bomba de iones Agilent Varian Small VacIon de 2 l/s. El Small VacIon tiene un tubo de acero inoxidable de 3/4 (0,75) pulgadas de diámetro exterior y 180 grados. El modelo de 2 l/s es una configuración de diodo modificada para mejorar el arranque a baja presión. A continuación, se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian Small VacIon en formato PDF. Esta bomba de iones Agilent Varian Small VacIon tiene el número de pieza Agilent Varian 9190523. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan manteniendo una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 VCC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de funcionamiento. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas de iones de la familia VacIon Plus se usan comúnmente para crear vacío ultraalto (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diode VacIon Plus La versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon Plus El elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon Plus Velocidad de bombeo El parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen determinado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material catódico por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo. • Entierro de gas en los ánodos y paredes de la bomba. • La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y erosión del cátodo. Vida útil Cuando una bomba de iones es nueva o se ha regenerado, por ejemplo, al hornearla, la capa superficial del cátodo está limpia y la reemisión de gas es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. Hidrógeno El hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. Metano Aunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar info Agilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora, y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Bomba de iones Agilent Varian Small VacIon Plus, velocidad de bombeo de 2 l/s, 3/4 pulgadas de DE 180 grados, tubo de cobre. Número de pieza de Agilent Varian 9190522 La serie de bombas de iones Agilent Varian VacIon Plus es la mejor de la línea debido a su alto rendimiento en la creación de ultra alto vacío (UHV). Son limpios, tienen la capacidad de bombear diferentes gases, tienen una larga vida útil, pueden leer la presión de vacío, no requieren mantenimiento y funcionan sin vibraciones. Aquí ofrecemos la bomba de iones Agilent Varian VacIon Plus, velocidad de bombeo de 2 l/s, 3/4 pulg. DE 180 grados, tubo de cobre. El modelo de bomba de iones VacIon Plus de 2 l/s es una configuración de diodo modificada para mejorar el arranque a baja presión. Esta bomba de iones Agilent Varian VacIon tiene el número de pieza de Agilent Varian 9130522. Se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian de 2 l/s en formato PDF al costado. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 V CC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de funcionamiento. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas de iones de la familia VacIon Plus se usan comúnmente para crear vacío ultraalto (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diode VacIon Plus La versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon Plus El elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon Plus Velocidad de bombeo El parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen determinado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material catódico por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo. • Entierro de gas en los ánodos y paredes de la bomba. • La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y erosión del cátodo. Vida útil Cuando una bomba de iones es nueva o se ha regenerado, por ejemplo, al hornearla, la capa superficial del cátodo está limpia y la reemisión de gas es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. Hidrógeno El hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. Metano Aunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar info Agilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora, y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Bomba de iones Agilent Varian Small VacIon, estilo TEE, velocidad de bombeo de 2 l/s, 3/4 pulgadas de DE 90 grados, tubo de acero inoxidable. Número de pieza Agilent Varian 9190524 La serie de bombas de iones Agilent Varian VacIon Plus es la mejor de la línea debido a su alto rendimiento en la creación de ultra alto vacío (UHV). Son limpios, tienen la capacidad de bombear diferentes gases, tienen una larga vida útil, pueden leer la presión de vacío, no requieren mantenimiento y funcionan sin vibraciones. Aquí ofrecemos la bomba de iones Agilent Varian VacIon Plus, velocidad de bombeo de 2 l/s, estilo TEE de 3/4 pulg. DE 180 grados, tubo de acero inoxidable. El modelo de bomba de iones VacIon Plus de 2 l/s es una configuración de diodo modificada para mejorar el arranque a baja presión. Esta bomba de iones Agilent Varian VacIon tiene el número de pieza de Agilent Varian 9190524. Se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian de 2 l/s en formato PDF al costado. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 VCC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de operación. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas de iones de la familia VacIon Plus se usan comúnmente para crear vacío ultraalto (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diode VacIon Plus La versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon Plus El elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon Plus Velocidad de bombeo El parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen dado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material catódico por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo. • Entierro de gas en los ánodos y paredes de la bomba. • La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y erosión del cátodo. Vida útil Cuando una bomba de iones es nueva o se ha regenerado, por ejemplo, al hornearla, la capa superficial del cátodo está limpia y la reemisión de gas es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. Hidrógeno El hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. Metano Aunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar info Agilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora, y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Conjunto de pieza polar Agilent Varian MAGNET para bomba de iones de vacío pequeña de 2 l/s. PN: 9190038 La serie de bombas de iones Agilent Varian VacIon Plus es la mejor de la línea debido a su alto rendimiento en la creación de ultra alto vacío (UHV), su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, larga vida útil, capacidad para leer la presión de vacío , y funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. Aquí ofrecemos el conjunto de pieza polar Agilent Varian MAGNET para bomba de iones de vacío pequeña de 2 l/s. A continuación, se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian Small VacIon en formato PDF. Este conjunto de pieza polar MAGNET de Agilent Varian tiene el número de pieza de Agilent Varian 9190038.

Cable para hornear Agilent Varian HV para bomba de iones de 2 l/s, resistente a la radiación, con conector King HV, 13 pies de largo, con enclavamiento. Número de pieza Agilent Varian 9290706. Estos cables HV de alto voltaje para bomba de iones Agilent Varian son para bombas de iones VacIon 2 l/s pequeñas. Estos cables tienen el conector King HV que está diseñado para funcionar con algunos modelos seleccionados de los controladores de bomba de iones MiniVac. (Controladores MiniVac con conector King HV, consulte los accesorios opcionales a continuación). Estos cables de bomba de iones de alto voltaje son resistentes a la radiación, tienen un interbloqueo de alto voltaje de seguridad incorporado, tienen el número de pieza Agilent Varian 929-0706, 9290706 y miden 13 pies de largo.

Bomba de iones Agilent Varian 10 l/s VacIon, 2 3/4 pulg. 2,75 CFF Diodo de gas noble. Agilent Varian Número de pieza 9195005 Agilent ofrece una amplia variedad de bombas de iones de pequeño tamaño diseñadas especialmente para aplicaciones de dispositivos y detectores de electrones. La bomba procesada Small Vaclon proporciona aproximadamente 10 l/s de velocidad de bombeo de nitrógeno, con una bomba Conflat de 2-3/4 in CFF y 2,75 in. El modelo de 10 l/s es una configuración de diodos optimizados para gases nobles con alta eficiencia para gases residuales como el hidrógeno. La velocidad de bombeo de los gases nobles es aproximadamente el 20 por ciento de la velocidad nominal. Esta bomba se procesa y se hornea a 400 °C y se pellizca al vacío, lo que permite que el usuario verifique la integridad del vacío justo antes de su uso. A continuación, se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian Small VacIon en formato PDF. Esta bomba de iones Agilent Varian Small VacIon tiene el número de pieza Agilent Varian 9195005. Funcionamiento de las bombas de iones Las bombas de vacío en general funcionan sobre la base de mantener una densidad de gas más baja dentro de sí mismas que la que existe en el entorno que están bombeando. Esto da como resultado una migración neta de gas hacia la bomba debido al movimiento aleatorio de las moléculas en condiciones de flujo molecular. Una vez en las bombas, pocas escapan y son desplazadas o capturadas, según el tipo de bomba. En lugar de ser una bomba de desplazamiento que realmente mueve moléculas de gas a través de ella hacia la atmósfera, la bomba de iones las captura y almacena. Como resultado, en algún momento la bomba debe reacondicionarse o reemplazarse. Esto generalmente se requiere solo después de muchos años de uso. más información El nombre genérico Sputter Ion Pump (o Ion Getter Pump) proviene del hecho de que algunas de las moléculas de gas experimentan ionización y provocan la pulverización del agente de pulverización. Este material reacciona químicamente con los gases activos para formar compuestos estables que se depositan en las paredes internas de la bomba. El absorbente, generalmente titanio, lo proporciona una placa o electrodo de ese material, que a su vez es pulverizado y erosionado por iones de gas formados bajo la influencia del alto voltaje. Estos potenciales eléctricos suelen estar en el rango de 3000 a 7000 V CC. Un circuito magnético permanente externo genera un campo magnético, normalmente entre 800 y 2000 G, paralelo al eje de la celda del ánodo. La función de la estructura de la celda del ánodo es contener una "nube" de electrones de alta energía que están restringidos por el campo magnético. La mayoría de los dispositivos de ionización funcionan de la misma manera. Las moléculas de gas son bombardeadas por electrones de alta energía cuando ocurre una colisión. Una molécula puede perder uno o más de sus propios electrones y, por lo tanto, queda como un ion con carga positiva. Bajo la influencia de un fuerte campo eléctrico, el ion se acelera hacia el cátodo de titanio. La fuerza de esta colisión es suficiente para hacer que los átomos sean expulsados del cátodo y "pulverizados" sobre las paredes adyacentes de la bomba. El titanio recién pulverizado es extremadamente reactivo y reaccionará químicamente con los gases activos. Los compuestos resultantes se acumulan en las superficies de los elementos de la bomba y en las paredes de la bomba. Los gases activos son aquellos como el oxígeno, el nitrógeno, el CO, el CO2 y el agua, a diferencia de los gases nobles como el helio, el neón, el argón, el criptón y el xenón, que no son reactivos. Estos últimos son bombeados por "entierro de iones" (el entierro de iones es el "enyesado" de átomos de gas inerte por los átomos captadores pulverizados). La capacidad de leer presiones con una bomba de iones se debe a la proporcionalidad directa entre la corriente de la bomba y la presión de funcionamiento. La fiabilidad de las lecturas de presión a muy baja presión está limitada por la corriente de fuga, y la corriente de fuga de la emisión de campo depende en gran medida del voltaje aplicado a la bomba. El controlador dual, diseñado para usarse con cualquier bomba VacIon Plus, brinda la capacidad única de ajustar el voltaje de acuerdo con la presión de funcionamiento. Al hacer esto, la corriente de fuga se minimiza a baja presión, proporcionando una lectura de presión confiable en el rango de 10-10 mbar. Las bombas VacIon Plus FamilyIon se utilizan comúnmente para crear ultra alto vacío (UHV), debido a su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, junto con un funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. La larga vida útil y la capacidad de leer la presión son otras características importantes de las bombas de iones. La familia VacIon Plus ha sido diseñada para mejorar todas estas características y, por lo tanto, ofrece la solución más avanzada y valiosa para cualquier requisito de bombeo de iones. En general, todas las bombas iónicas pueden bombear todos los gases hasta cierto punto. Para obtener el mejor rendimiento y presión base, se han desarrollado diferentes tipos de bombas de iones con un rendimiento optimizado en diferentes rangos de presión y con diferentes gases. VacIon Plus de Agilent Varian es una familia de productos completa que ofrece la posibilidad de elegir entre tres elementos diferentes: diodo, diodo noble y StarCell. Sea cual sea la aplicación, hay una bomba VacIon Plus diseñada para ello. Diodo VacIon PlusLa versión de diodo de la bomba VacIon Plus tiene la velocidad de bombeo más alta entre todas las bombas de iones para oxígeno (O2), nitrógeno (N2), dióxido de carbono (CO2), monóxido de carbono (CO) y cualquier otro gas recolectable. También proporciona la mayor velocidad de bombeo y capacidad para hidrógeno (H2). Su estructura mecánica simple permite una lectura fiable de corriente/presión hasta presiones muy bajas, así como un funcionamiento absolutamente libre de vibraciones. Su configuración geométrica y eléctrica permite su uso en la proximidad de detectores de electrones o dispositivos similares. Por lo tanto, las bombas Diode VacIon Plus se utilizan ampliamente y con éxito en sistemas UHV de uso general, para evacuar dispositivos electrónicos y en los microscopios electrónicos más sensibles. Sin embargo, los diodos no se recomiendan para aplicaciones en las que se bombeen gases nobles como argón (Ar), helio (He) y metano (CH4). Noble Diode VacIon Plus El elemento Noble Diode VacIon Plus es una versión del elemento diodo, en el que se sustituye un cátodo de tantalio en lugar de un cátodo de titanio. Esta sustitución permite una mayor velocidad de bombeo y estabilidad para el bombeo de gases nobles (principalmente argón y helio). Por lo demás, el elemento es equivalente al Diode VacIon Plus. Las bombas Noble Diode VacIon Plus se utilizan en cualquier aplicación donde el bombeo de gases nobles es una característica importante. Al igual que con la configuración de diodo, Noble Diode mantiene una velocidad de bombeo constante para todos los gases a presiones muy bajas. Sin embargo, la velocidad de bombeo para H2 y gases recolectables es menor que para las bombas de diodo correspondientes. El Noble Diode VacIon Plus se usa típicamente en aplicaciones UHV donde se bombea una mezcla de gas y donde la presión es bastante constante (es decir, sin explosión repentina de gas o ciclos sistemáticos de alta presión). Sus características de velocidad constante para casi cualquier gas, incluso a presiones muy bajas, lo hacen ideal siempre que se utilice la bomba de iones sola para obtener presiones UHV. Esta suele ser la situación en los aceleradores de partículas o los anillos de sincrotrón, así como en las aplicaciones de análisis de superficies. Se sugieren otras versiones de VacIon Plus cuando la aplicación requiere ciclos a presiones más altas, bombeo de grandes cantidades de H2 o cuando la bomba de iones se combina con otras bombas UHV, como bombas de sublimación de titanio o captadores no evaporables. StarCell VacIon PlusEl elemento StarCell VacIon Plus es la última variación de la configuración Triode. Su diseño patentado hace que esta bomba de iones sea la única que puede manejar una gran cantidad de gases nobles (mejor que el Diodo Noble) e hidrógeno (comparable al Diodo). Además, esta bomba proporciona la mayor velocidad y capacidad para metano, argón y helio. Su alta capacidad total para todos los diferentes gases, junto con su muy buen rendimiento de velocidad a presiones relativamente más altas, hace que StarCell VacIon Plus sea ideal para aplicaciones que requieren un funcionamiento constante a 10-8 mbar o más. Esto normalmente incluye microscopios electrónicos y espectrómetros de masas. Su alta velocidad de bombeo para argón, helio y metano (la más alta de cualquier bomba de iones a cualquier presión) ha convertido a StarCell en el estándar para cualquier aplicación en la que la bomba de iones se use en combinación con bombas de sublimación de titanio (TSP) o captadores no evaporables. (NEG), donde se mejora su rendimiento de bombeo. La presión más baja alcanzable se ha obtenido con combinaciones de bombas StarCell VacIon Plus y TSP/NEG, gracias a las características optimizadas de estas combinaciones. La mayoría de los aceleradores de partículas y fuentes de sincrotrón existentes, líneas de haz, líneas de transferencia y dispositivos similares han usado y están usando con éxito estas combinaciones para obtener la velocidad máxima para todas las especies de gases. minimizar información Descripción general de VacIon PlusVelocidad de bombeoEl parámetro más común utilizado para expresar la capacidad de una bomba para eliminar moléculas de un volumen determinado es la velocidad de bombeo. Suele medirse en litros por segundo y expresa el volumen de gas (a una determinada presión) eliminado por unidad de tiempo. En una bomba de iones, el efecto de bombeo neto resulta de la suma de diferentes fenómenos: más información • La acción de bombeo de la película absorbente producida por la pulverización catódica del material del cátodo por bombardeo de iones. • La acción de bombeo debido a la implantación y difusión de iones en el cátodo.• Gas enterrado en los ánodos y las paredes de la bomba.• La reemisión de gas del cátodo debido al calentamiento y la erosión del cátodo. está limpio y la reemisión de gas del mismo es insignificante. En esta condición, la bomba de iones se denomina "no saturada" y el efecto de bombeo se debe tanto al efecto de acumulación como a la implantación y difusión de iones. A medida que aumenta el número de moléculas de gas implantadas en el cátodo, aumenta la reemisión de las mismas debida al bombardeo de iones. Como consecuencia, la velocidad neta de bombeo disminuye hasta que se alcanza una condición de equilibrio entre la implantación de iones y la reemisión de gases. En esta condición, la bomba de iones está "saturada" y la velocidad de bombeo neta, debido únicamente a la acción de captación del material pulverizado desde el cátodo, es aproximadamente la mitad de la velocidad de bombeo de la bomba no saturada. Dado que el efecto de saturación depende de la cantidad de moléculas de gas implantadas en el cátodo, el tiempo necesario para saturar una bomba de iones es inversamente proporcional a la presión a la que funciona la bomba. Por lo tanto, cuanto menor sea la presión, mayor será el tiempo antes de que se produzca la saturación de la bomba. En un sistema UHV de bombeo iónico con un procedimiento de horneado adecuado (y la consiguiente regeneración de la bomba), es posible una presión en el rango de 10-11 mbar. A esta presión, la bomba de iones funcionará a los valores de velocidad de bombeo más altos (no saturados) durante algunos años antes de saturarse. Gases Activos (N2, O2, CO, CO2...) Una característica de estos gases es su capacidad de reaccionar fácilmente con la mayoría de los metales formando compuestos estables. En una bomba de iones, estas moléculas de gas activo reaccionan con la película de titanio fresca producida por la pulverización catódica del material del cátodo. Estas moléculas de gas activo no se difunden profundamente en el cátodo. El efecto de saturación, debido a la reemisión de estas moléculas atrapadas en la superficie del cátodo, es muy fuerte. Los elementos Diode y Noble Diode muestran una mayor velocidad de bombeo a baja presión, mientras que los elementos StarCell funcionan mejor a mayor presión. HidrógenoEl hidrógeno es un gas activo pero, debido a su masa muy pequeña, la tasa de pulverización catódica es muy baja. A pesar de este hecho, la velocidad de bombeo del H2 es muy alta porque se difunde rápidamente en el cátodo con una reemisión insignificante. Al bombear H2, la bomba de iones siempre funciona en condiciones no saturadas. Como resultado, la velocidad nominal del H2 es aproximadamente el doble del valor correspondiente del nitrógeno. Además, si hay algunos rastros de gases más pesados, la mayor tasa de pulverización produce una velocidad de bombeo de hidrógeno aún mayor. El elemento Diodo muestra una mayor velocidad de bombeo que el Diodo Noble ya que la solubilidad del H2 en el cátodo de tantalio es menor que en un cátodo de titanio. Los elementos StarCell combinan un buen rendimiento a presiones más altas con una mayor capacidad para H2. Gases nobles (He, Ne, Ar, Kr y Xe) Los gases nobles se bombean al ser enterrados por titanio. Los iones de gases nobles se pueden neutralizar y dispersar desde el cátodo sin perder su energía. Estos átomos neutros mantienen suficiente energía para implantarse o pegarse en el ánodo y en las paredes de la bomba donde serán enterrados por el titanio pulverizado y, por lo tanto, bombeados permanentemente. En la configuración de diodo, la probabilidad de neutralización y retrodispersión es muy pequeña, por lo que la velocidad de bombeo de gases nobles es solo un pequeño porcentaje de la velocidad de bombeo de N2. Además, cuando se opera a una presión parcial de argón relativamente alta (es decir, superior a 10-8 mbar), se observan ráfagas repentinas de presión debido a la reemisión de argón implantado temporalmente en el cátodo. Después de que esto ocurre, una bomba de diodo no puede bombear más argón hasta que se detiene su fuente. Este fenómeno se conoce como “inestabilidad del argón”. En el elemento Noble Diode, un cátodo de titanio se reemplaza con un cátodo de tantalio. La elevada masa nuclear del tantalio aumenta la probabilidad de retrodispersión y, en consecuencia, la velocidad de bombeo de los gases nobles. Los mejores resultados en términos de velocidad de bombeo de gases nobles se obtienen utilizando la estructura de cátodo abierto típica de los elementos StarCell. En estas configuraciones, la estructura de cátodo plano ha sido reemplazada por una estructura que permite colisiones oblicuas con iones. Estos se neutralizan y luego se dispersan hacia la pared de la bomba o el ánodo con una probabilidad mucho mayor que en el caso del cátodo plano. El resultado es una velocidad de bombeo para gases nobles de hasta un 60% de N2. Además, debido al diseño exclusivo que permite un uso óptimo de todo el titanio disponible, la vida útil de una bomba StarCell es aproximadamente un 50 % mayor que la de todas las demás bombas. MetanoAunque el metano no es un gas noble, no reacciona con ningún material absorbente. Siempre está presente en algún grado en los sistemas UHV como un producto de reacción del hidrógeno y el carbono presentes en las paredes del sistema de vacío. El metano es un problema particular en los aceleradores de electrones, donde es la causa principal de la descomposición del haz. Debido a la descarga de Penning en las bombas de iones, la molécula de metano (así como otras moléculas de hidrocarburo) se rompe y se transforma en compuestos "obtenidos" más pequeños (C, CH3, ... H). El resultado es que la velocidad de bombeo de metano e hidrocarburos ligeros siempre es mayor que la velocidad de N2. minimizar infoAgilent Varian Calidad Fabricación Limpieza Para alcanzar presiones muy bajas (es decir, 10-11 mbar) en cualquier sistema, se debe minimizar la desgasificación tanto de la cámara como de la bomba. Si no se limpia correctamente, la propia bomba de iones puede convertirse en una fuente de gas en UHV. Para garantizar la limpieza, las bombas VacIon Plus se procesan en fábrica a alta temperatura en vacío ultralimpio para una desgasificación completa del cuerpo y todos los componentes internos. La limpieza del elemento de la bomba de iones es aún más crítica debido al bombardeo continuo del cátodo. Cualquier gas atrapado en la superficie o en la mayor parte del cátodo eventualmente se liberará. más información Desgasificación de la bomba de iones El sistema de desgasificación de la bomba de iones es un proceso térmico del cuerpo de la bomba, completamente controlado por computadora y capaz de proporcionar una prueba final automática de las especificaciones logradas de la bomba. El horneado de la bomba se realiza en una atmósfera controlada por nitrógeno para proteger el cuerpo externo de la bomba de la oxidación. El sistema se basa en el principio de desgasificación térmica de las superficies internas de la bomba de iones mediante el control de su desgasificación intrínseca. Por lo tanto, la presión, no el tiempo, es el factor impulsor del proceso general. El tiempo de horneado depende de la limpieza interna de los componentes de la bomba y todas las bombas tendrán, de esta forma, la misma tasa final de desgasificación y presión base. Al final del proceso térmico, una vez alcanzada la temperatura ambiente, se realiza un RGA. El analizador de gases, colocado en el sistema de vacío, proporciona el espectro de los diferentes gases desgasificados por la bomba. Si el H2 y los demás picos normalmente presentes en un sistema de vacío bien horneado superan los niveles de aceptación, la bomba vuelve a hornearse. De lo contrario, se pellizca y se controla su presión base. La presión base se evalúa a través de la lectura de la corriente de iones. La disminución de corriente es monitoreada por computadora y la bomba está lista para ser enviada solo después de que se alcanza la corriente base. Larga vida útil Todas las bombas VacIon Plus tienen vidas nominales superiores a muchos miles de horas a una presión de 1x10-6 mbar (50 000 horas para la bomba de diodo y 80 000 horas para la StarCell). Con muchas bombas de iones, es posible que se requiera mantenimiento mucho antes de la vida nominal, debido a la metalización de los aisladores o la distorsión del elemento de bombeo. Todos los elementos VacIon Plus están diseñados para minimizar la distorsión del cátodo (incluso después de horneados repetitivos y arranques a alta presión), y los aisladores están protegidos contra el titanio pulverizado usando un diseño de doble entrada y un protector de tapa. minimizar información

Conjunto de piezas Agilent Varian MAGNET para bombas de iones VacIon de 8 y 10 l/s. Número de pieza Agilent Varian 9110030 La serie Agilent Varian VacIon Plus de bombas de iones es la mejor de su línea debido a su alto rendimiento en la creación de vacío ultraalto (UHV), su limpieza, capacidad para bombear diferentes gases, larga vida útil, capacidad de leer presión de vacío y funcionamiento sin mantenimiento y sin vibraciones. Aquí ofrecemos el conjunto de piezas Agilent Varian MAGNET para bomba de iones VacIon de 10 l/s. A continuación, se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian VacIon en formato PDF. Este conjunto de pieza MAGNET de Agilent Varian tiene el número de pieza de Agilent Varian 9110030.

Cable Agilent Varian HV para bombas de iones VacIon de 8 y 10 l/s, con conector King HV, 3 m (10 pies) de largo. Número de pieza de Agilent: 9240741 924-0741 Estos cables HV de alto voltaje de la bomba de iones Agilent Varian son para las bombas de iones VacIon de 8 y 10 l. Estos cables tienen el conector King HV que está diseñado para funcionar con algunos modelos seleccionados de MiniVac controladores de bomba de iones (controladores MiniVac con conector King HV, consulte los accesorios opcionales a continuación). Estos cables de bomba de iones de alto voltaje tienen el número de pieza Agilent Varian 9240741 924-0741 y miden 10 pies de largo.

Agilent Varian MAGNET para bomba de iones VacIon en miniatura. Número de pieza Agilent Varian 9130042 Aquí ofrecemos Agilent Varian MAGNET para las bombas de iones en miniatura de la serie VacIon de 0,4 l/s. A continuación, se puede descargar un folleto de aplicación y datos técnicos completos para la bomba de iones Agilent Varian Small VacIon en formato PDF. Este MAGNET de Agilent Varian tiene el número de pieza de Agilent Varian 9130042.

Cable de alta tensión Agilent Varian para bombas de iones miniatura VacIon de 0,4 l/s, conector King HV, 8 pies de largo Número de pieza de Agilent Varian 9240122 Estos cables de alta tensión de alta tensión para bombas de iones Agilent Varian son para las bombas de iones miniatura mini VacIon de 0,4 l/s. Estos cables tienen el conector King HV que está diseñado para funcionar con algunos modelos seleccionados de los controladores de bomba de iones MiniVac (controladores MiniVac con conector King HV, consulte los accesorios opcionales a continuación). Estos cables de bomba de iones de alto voltaje tienen el número de pieza Agilent Varian 9240122 924-0122 y miden 8 pies de largo.