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Estos MKS Instruments MFC, AR, 1K SCCM, DEVICENET, NC VITON, LCEA13CS16V20 tiene numero de pieza GE50A004103S6V020, son nuevos y vienen completos MKS Instruments garantía. El controlador de flujo másico controlado digitalmente GE50A está disponible con E/S RS485, Profibus, EtherCAT o DeviceNet. La electrónica de control digital utilizó los últimos algoritmos de control MKS para una respuesta rápida y repetible al punto de ajuste en todo el rango de control del dispositivo. Los tiempos de respuesta típicos son del orden de 500 milisegundos. La calibración digital produce 1 de precisión del punto de ajuste en el gas de calibración. Los protocolos de E/S están diseñados para permitir que el GE50A reemplace fácilmente las versiones RS485 y DeviceNet del MFC 1179A de MKS con codificación menor. Una huella estándar de 3 pulgadas permite su uso sin modificar las configuraciones de las líneas de gas existentes. El GE50A incorpora solo un sello de elastómero externo y un tapón de válvula de elastómero. Todas las superficies mojadas son metálicas. El GE50A viene de serie con sellos de Viton o Buna, Neopreno o Kalrez opcionales para soportar diferentes requisitos de gas.
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