Controlador de flujo másico MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, rango de 0,4 a 20 sccm, subminiatura D de 15 pines, 4 VCR macho.
Número de pieza MKS: GM50A013201RMM020. El controlador de flujo másico MKS GM50A puede configurarse para controlar N2 o equivalente, con un rango de flujo de escala completa de 20 sccm y un rango de control de 0,4 a 20 sccm. Tiene un conector analógico subminiatura D de 15 pines con conexiones a tierra, una señal de entrada/salida de flujo de 0-5 VCC y accesorios de entrada y salida macho Swagelok® 4 VCR®. Los tiempos de respuesta típicos son del orden de 500 milisegundos. La calibración digital produce un 1 % de la precisión del punto de referencia en el gas de calibración.
Las capacidades de rango múltiple se pueden configurar a través de una aplicación basada en un navegador web a la que se accede conectando el MFC a un enrutador o una computadora a través de un cable Ethernet. La aplicación E-diagnostics permite al usuario monitorear el desempeño de la MFC en tiempo real, así como trazar datos y seleccionar variables.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company