Blancos de pulverización catódica de magnetrón circular de vacío ideal, de titanio (Ti), 3'' de diámetro x 0,25'' de espesor, 99,995 % de pureza.

Este producto es un magnetrón circular de TITANIO - Ti para pulverización catódica, con un diámetro de 3'' x 0,25'' de espesor. Tiene una pureza del 99,995%.

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TITANIO - Ti

Los blancos de titanio (Ti) para pulverización catódica se utilizan ampliamente en la deposición de películas delgadas debido a sus excelentes propiedades mecánicas, químicas y físicas. A continuación, se presenta un resumen de los blancos de titanio para pulverización catódica en películas delgadas:

1. Propiedades del material:
Alta relación resistencia-peso: el titanio es conocido por su peso ligero y alta resistencia mecánica, lo que lo hace ideal para películas delgadas que requieren durabilidad sin agregar masa significativa.
Resistencia a la corrosión: El titanio es altamente resistente a la corrosión, especialmente en entornos hostiles como el agua de mar y las condiciones ácidas.
Biocompatibilidad: El titanio es biocompatible, lo que lo hace adecuado para su uso en dispositivos médicos y recubrimientos biomédicos.

2. Métodos de deposición:
Pulverización catódica de CC: el titanio es un material conductor, por lo que la pulverización catódica con magnetrón de CC se utiliza comúnmente para una deposición eficiente de películas delgadas.
Pulverización catódica de RF: la pulverización catódica de RF se puede utilizar en casos en los que se requieren pulverización reactiva o estructuras de película delgada más complejas.
Pulverización catódica reactiva: el titanio se pulveriza frecuentemente en presencia de gases reactivos (como oxígeno o nitrógeno) para formar compuestos de titanio como el dióxido de titanio (TiO2) y el nitruro de titanio (TiN).

3. Aplicaciones:
Microelectrónica: El titanio se utiliza en barreras de difusión, capas de adhesión y contactos eléctricos en dispositivos semiconductores. Forma películas delgadas que ayudan a prevenir la difusión del metal en circuitos integrados.
Recubrimientos ópticos: El titanio se utiliza en recubrimientos ópticos, especialmente en recubrimientos antirreflectantes, como capa protectora duradera. El dióxido de titanio (TiO₂) es un material de alto índice de refracción que se utiliza a menudo en recubrimientos ópticos multicapa.
Recubrimientos protectores: Las películas delgadas de titanio se utilizan comúnmente para recubrimientos resistentes a la corrosión y al desgaste en las industrias aeroespacial, automotriz y química.
Aplicaciones médicas: Debido a su biocompatibilidad, el titanio se utiliza en películas delgadas para implantes, prótesis y dispositivos médicos para mejorar su durabilidad e interacción con los tejidos biológicos.
Catálisis: Las películas delgadas a base de titanio (como TiO2) se utilizan en fotocatálisis, particularmente en aplicaciones ambientales como la purificación del aire y del agua.

4. Propiedades de la película:
Resistencia mecánica: Las películas de titanio son conocidas por su durabilidad y resistencia, proporcionando resistencia al desgaste y protección mecánica.
Resistencia a la corrosión: Las películas delgadas de titanio son altamente resistentes a la corrosión, lo que las hace ideales para su uso en entornos marinos y otras condiciones químicas agresivas.
Adhesión: Las películas delgadas de titanio a menudo sirven como capas de adhesión para mejorar la unión de otros recubrimientos, especialmente en materiales que naturalmente no se adhieren bien.
Propiedades ópticas: Las películas de dióxido de titanio (TiO2), formadas mediante pulverización catódica reactiva, son altamente transparentes en el rango visible y tienen un alto índice de refracción (~2,5), lo que las hace adecuadas para recubrimientos ópticos.

5. Deposición reactiva:
Dióxido de titanio (TiO2): Formado mediante pulverización reactiva en un entorno de oxígeno, el TiO2 se utiliza en recubrimientos ópticos, células solares y fotocatalizadores debido a su transparencia y alto índice de refracción.
Nitruro de titanio (TiN): Formado mediante la pulverización catódica de titanio en una atmósfera de nitrógeno, el TiN se utiliza en recubrimientos duros, superficies resistentes al desgaste y películas conductoras en microelectrónica.

6. Desafíos:
Oxidación: El titanio es reactivo y se debe tener cuidado para controlar el estado de oxidación, especialmente durante la deposición en entornos reactivos (por ejemplo, formando TiO2 sin sobreoxidar la película).
Estrés en películas: Las películas delgadas de titanio pueden desarrollar estrés interno durante la deposición, lo que puede afectar la adhesión de la película y las propiedades mecánicas.

Resumen:
Los blancos de titanio (Ti) para pulverización catódica se utilizan ampliamente en microelectrónica, recubrimientos ópticos, capas protectoras y dispositivos médicos debido a su alta resistencia, resistencia a la corrosión y biocompatibilidad. La pulverización catódica de corriente continua (DC) se utiliza comúnmente para la deposición de titanio, mientras que la pulverización catódica reactiva permite la formación de compuestos de titanio como TiO₂ y TiN, con aplicaciones en óptica, fotocatálisis y recubrimientos duros. Las películas delgadas de titanio ofrecen una excelente resistencia mecánica, resistencia a la corrosión y propiedades de adhesión en una amplia gama de industrias.

Notas:
Se recomienda la unión de placas de soporte metálicas o elastoméricas para todos los materiales dieléctricos de objetivo, ya que estos materiales presentan características que no son susceptibles a la pulverización catódica, como la fragilidad y la baja conductividad térmica. Estos objetivos son más susceptibles al choque térmico debido a su baja conductividad térmica y, por lo tanto, pueden requerir procedimientos específicos de aumento y disminución de la potencia durante las etapas de arranque y apagado.