Objetivos de pulverización catódica con magnetrón circular de vacío ideal, objetivo de pulverización catódica de niobio-Nb, 3'' de diámetro x 0,25'' de espesor, 99,95 por ciento de pureza

Este producto es un magnetrón circular de NIOBIO - Nb para pulverización catódica, con un diámetro de 3'' x 0,25'' de espesor. Tiene una pureza del 99,95%.

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NIOBIO - Nb

Los blancos de pulverización catódica de niobio (Nb) se utilizan ampliamente en la deposición de películas delgadas debido a las propiedades eléctricas, mecánicas y superconductoras únicas del niobio. A continuación, se incluye un resumen conciso de los blancos de pulverización catódica de niobio en películas delgadas:

1. Propiedades del material:
Punto de fusión alto: el niobio tiene un punto de fusión alto (~2477 °C), lo que lo hace adecuado para aplicaciones de alta temperatura.
Resistencia a la corrosión: El niobio es resistente a la oxidación y la corrosión, especialmente en ambientes ácidos.
Superconductividad: El niobio es un material clave en aplicaciones superconductoras, particularmente por su alta temperatura crítica (Tc) y su capacidad para transportar grandes corrientes superconductoras.
Conductividad eléctrica: El niobio es un material conductor, lo que lo hace útil en aplicaciones electrónicas y eléctricas de película delgada.

2. Métodos de deposición:
Pulverización catódica con CC: dado que el niobio es conductor, se utiliza comúnmente la pulverización catódica con magnetrón de CC, que ofrece velocidades de deposición eficientes.
Pulverización catódica por RF: la pulverización catódica por RF se puede utilizar para aplicaciones especializadas o junto con la pulverización catódica reactiva para formar compuestos de niobio.
Pulverización catódica reactiva: el niobio se puede pulverizar en una atmósfera reactiva (por ejemplo, con oxígeno o nitrógeno) para formar óxido de niobio (Nb2O5) o nitruro de niobio (NbN) para aplicaciones específicas.

3. Aplicaciones:
Películas superconductoras: el niobio es un material clave en las películas superconductoras, que se utilizan en dispositivos superconductores de interferencia cuántica (SQUID), circuitos superconductores y aceleradores de partículas.
Microelectrónica: Las películas delgadas de niobio se utilizan en condensadores, interconexiones y como barreras de difusión en microelectrónica debido a su excelente conductividad y estabilidad.
Recubrimientos ópticos: el niobio se utiliza en recubrimientos reflectantes y filtros ópticos. La pulverización reactiva forma pentóxido de niobio (Nb2O5), que se utiliza en recubrimientos ópticos de alto índice.
Recubrimientos protectores: La resistencia del niobio a la corrosión y la oxidación lo hacen útil para recubrimientos protectores en procesos químicos y aplicaciones de alto rendimiento.
Nitruro de niobio (NbN): formado mediante pulverización catódica reactiva, el NbN se utiliza en películas superconductoras, recubrimientos duros y capas resistentes al desgaste.

4. Propiedades de la película:
Superconductividad: Las películas delgadas de niobio exhiben superconductividad a bajas temperaturas, lo que las hace esenciales en la computación cuántica y en los circuitos superconductores de alto rendimiento.
Resistencia a la corrosión: Las películas de niobio brindan una excelente protección contra la corrosión, particularmente en entornos agresivos, lo que las hace útiles para capas protectoras y de barrera.
Propiedades ópticas: Las películas de óxido de niobio (Nb2O5) tienen un índice de refracción alto (~2,2) y se utilizan en recubrimientos ópticos.
Resistencia mecánica: Las películas de niobio son fuertes y duraderas, lo que las hace adecuadas para aplicaciones donde se necesita resistencia al desgaste.

5. Deposición reactiva:
Pentóxido de niobio (Nb2O5): Formado a través de pulverización reactiva con oxígeno, el Nb2O5 se utiliza en recubrimientos ópticos, dieléctricos y condensadores debido a su alta constante dieléctrica y transparencia óptica.
Nitruro de niobio (NbN): las películas de NbN se utilizan en aplicaciones superconductoras, así como en recubrimientos duros para herramientas de corte y superficies resistentes al desgaste.

6. Desafíos:
Envenenamiento del objetivo: en la pulverización reactiva, puede producirse un envenenamiento del objetivo, donde se forman compuestos no metálicos (por ejemplo, óxidos o nitruros) en el objetivo, lo que reduce la eficiencia de la pulverización.
Estrés interno: Las películas de niobio pueden desarrollar estrés interno durante la deposición, lo que puede afectar las propiedades mecánicas y la adhesión de la película.

Resumen:
Los blancos de pulverización catódica de niobio (Nb) se utilizan ampliamente en películas delgadas para aplicaciones en superconductividad, microelectrónica, recubrimientos ópticos y capas protectoras. La pulverización catódica de CC se utiliza comúnmente para depositar películas delgadas de niobio, mientras que la pulverización catódica reactiva se utiliza para formar compuestos de niobio como Nb2O5 (recubrimientos ópticos, dieléctricos) y NbN (películas superconductoras, recubrimientos duros). Las películas delgadas de niobio son valoradas por sus propiedades superconductoras, resistencia a la corrosión y durabilidad mecánica en varias industrias.

Notas:
Se recomienda la unión de placas de soporte de metal o elastómero para todos los materiales de objetivo dieléctricos, ya que estos materiales tienen características que no son susceptibles a la pulverización catódica, como la fragilidad y la baja conductividad térmica. Estos objetivos son más susceptibles al choque térmico debido a su baja conductividad térmica y, por lo tanto, pueden requerir procedimientos específicos de aumento y disminución de la potencia durante los pasos de encendido y apagado.