Válvula de compuerta MKS serie R ISO-F 100, DN100, neumática, solenoide de 24 VCC, interruptores indicadores de posición doble (N/O), DI de 4 pulgadas, sellos de Viton,
Brida atornillada (M8 x 1,25), cuerpo de acero inoxidable. Estas válvulas de compuerta de la serie R de MKS están optimizadas para el aislamiento de bombas preliminares y líneas preliminares en aplicaciones de vacío general y de semiconductores. Estas válvulas de compuerta de la serie R son ideales para aplicaciones de alto vacío (HV) de hasta 1x10
-7 Torr y tienen opciones, que incluyen indicadores neumáticos y de posición. La serie R emplea un sello de eje de elastómero para el sello del actuador, lo que permite un alto rendimiento en un paquete rentable y de alto valor para aplicaciones de vacío de desbaste. Esta lista es para la versión de brida de vacío atornillada ISO-100 con actuador de aire neumático que incluye una válvula solenoide de 24 V CC e interruptores indicadores de posición doble (normalmente abiertos).
Características del producto:
- La excelente uniformidad de la temperatura garantiza que no haya puntos fríos en las superficies internas
- DN80 y DN100 > 200.000 ciclos
- DN160 > 100.000 ciclos
- Tamaños DN80, DN100 y DN160 mm disponibles
Configuración del producto:
- Diámetro de válvula/Tamaño de brida: DN100
- Materiales: Acero inoxidable
- Acutación: Neumática
- Materiales del sello: Vitón/FKM
- Interruptores de límite: ambos interruptores normalmente abiertos (N/O)
- Interruptor de lengüeta magnética: Corriente nominal < 80mA
- Solenoides: 24 VDC
- Opciones de calentamiento: calentable a 105°C
- Rango de presión (alto vacío HV): 1x10-7 a 1200 Torr (1,3* 10-10 - 1,6 bar)
- Presión neumática: 5,4 ±1,3 atm (80 ±20 psig)
- Sello del actuador: Sello del eje de elastómero - Viton
- Tasa de fuga de lado a lado: 1x10-9 atm*cc/seg
- Tasa de fuga externa: 1x10-9 atm*cc/seg
- Delta de presión máx. - En funcionamiento: 22,5 Torr (30 mbar) lado de la cámara alto
- Delta de presión máx. - Cerrado: 1,6 atm, en cualquier dirección