Válvula de compuerta de operación neumática UHV de 3 posiciones Ideal Vacuum, estrangulada en la tercera posición, con sensores de solenoide y de lengüeta, 24 V CC, brida CF de 10,0 pulgadas (DN CF200), sello estándar de junta tórica de Viton, 1 x 10-10 mbar, cuerpo SUS304, 50 000 ciclos Brida atornillada CF de 10,0 pulgadas con roscas 5/16-24 UNF Esta válvula de compuerta de estrangulación de 3 posiciones Ideal Vacuum se opera neumáticamente con una brida Conflat CF de 10,0 pulgadas (DN CF200). Tiene una tercera posición que se puede configurar para que esté parcialmente abierta. Está clasificada para ultra alto vacío (UHV) y viene con un sello de junta tórica de Viton estándar para la compuerta y una junta tórica de Viton o una junta de cobre OFHC para el bonete con una válvula solenoide controlada neumáticamente. Las válvulas tienen una vida útil típica de 50 000 ciclos antes de necesitar servicio. Están hechas con compuertas y cuerpos de válvula de acero inoxidable 304 resistentes a la corrosión. Este control de 3 posiciones proporciona flexibilidad y precisión para mantener las condiciones óptimas para varios procesos de deposición al vacío, particularmente en sistemas de cámaras de proceso de deposición de películas delgadas. Aplicación en cámaras de recubrimiento de deposición física de vapor Esta válvula de compuerta de 3 posiciones está diseñada para aplicaciones confiables de alto y ultra alto vacío (UHV) y a menudo se usa en combinación con bombas de alto vacío criogénico, turbo e iónico. Ha encontrado un uso creciente en procesos de vacío estrangulado como la deposición por pulverización catódica magnetrónica de PVD. En una cámara de recubrimiento de PVD, como en los sistemas de pulverización catódica, a menudo se usa una válvula de compuerta de 3 posiciones para controlar la conexión entre la bomba turbomolecular y la cámara de proceso principal. Estas válvulas de compuerta permiten un control preciso del sistema de vacío y pueden aislar la bomba, proteger la cámara y ajustar la velocidad de bombeo. Las tres posiciones de una válvula de compuerta típica de 3 posiciones son: 1. Posición completamente abierta: conductancia máxima, velocidad de bombeo turbo completa, utilizada para la evacuación inicial o cuando se mantiene un alto vacío durante la deposición. 2. Parcialmente abierta (posición de estrangulamiento): Propósito: en la posición parcialmente abierta, la válvula de compuerta solo está parcialmente abierta, lo que estrangula la conductancia entre la cámara y la bomba turbo. El estrangulamiento es importante cuando se trabaja con gases reactivos (por ejemplo, oxígeno o nitrógeno en pulverización reactiva) o cuando se necesita ajustar la presión para un crecimiento óptimo de la película. Esta posición parcialmente abierta se configura y ajusta manualmente una vez durante la instalación y se puede cambiar en cualquier momento para ejecutar una condición de proceso diferente. 3. Posición completamente cerrada: Propósito: en la posición completamente cerrada, la válvula de compuerta aísla completamente la bomba turbo de la cámara principal. Caso de uso: esta posición se utiliza para proteger la bomba turbo durante procesos como la ventilación de la cámara, la carga de muestras de la cámara de bloqueo de carga o cuando la cámara está expuesta a la presión atmosférica. Evita que los contaminantes o el aire atmosférico ingresen a la bomba turbo, lo que podría dañarla. Especificaciones: Especificaciones y características: Material Cuerpo SUS304 Tipo de articulación del carro - SUS304 Tipo de bola Tamaño inferior a 10” - SUS304 Tipo de bola Tamaño superior a 10” (incluido) - SUS304, A6061-T6 Tipo de articulación de compuerta - SUS304 Tipo de bola Tamaño inferior a 10” - SUS304 Tipo de bola Tamaño superior a 10” (incluido) - A6061-T6 Fuelle AM350 Ciclo de vida HV: DN200 - 300 000 ciclos UHV: DN200 - 50 000 ciclos Tasas de fuga de helio a 1 atm diferencial <2×10-9 mbar·l /seg para junta tórica <5×10-10 mbar·l /seg para junta de sellado Temperatura de horneado Abierto - 200 °C Junta de capó de Viton Cerrado - 150 °C Junta de capó de Viton Rango de presión (mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 Delta P máximo (mbar) < 30 antes de abrir Sello estándar Compuerta - Junta tórica de Viton Bonete - Junta tórica de Viton o junta de cobre OFHC Actuador - Neumático Suministro de aire comprimido Conexión de tubo - 6 mm Rango de presión - 4-6 kg/cm2(sobrepresión) Tratamiento de superficie - Scotch pulido Opciones Indicador de posición Válvula solenoide de control neumático Puerto de desbaste Otro material Sello de junta tórica de compuerta Consulte las descargas para obtener más información sobre esta válvula de compuerta y otras configuraciones de válvulas relacionadas.

Válvula de compuerta de 3 posiciones con accionamiento neumático HV Ideal Vacuum, tercera posición estrangulada, con sensores de solenoide y de láminas, 24 V CC, brida ISO-F 200 (DN 200), sello estándar de junta tórica de Viton, 1 x 10-8 Torr, cuerpo SUS304, 300 000 ciclos Esta válvula de compuerta con estrangulamiento de 3 posiciones Ideal Vacuum se opera neumáticamente con una brida ISO-F 200 (DN CF200). Tiene una tercera posición que se puede configurar para que esté parcialmente abierta. Está clasificada para alto vacío (HV) y viene con un sello de junta tórica de Viton estándar para la compuerta y una junta tórica de Viton o una junta de cobre OFHC para el bonete con una válvula solenoide controlada neumáticamente. Esta válvula de compuerta con brida ISO-F utiliza juntas tóricas de Viton para los fuelles y los sellos de la placa del bonete y, por lo tanto, se limita a aplicaciones de alto vacío (HV) con presiones finales de hasta 1x10-8 Torr. Las válvulas tienen una vida útil típica de 300.000 ciclos antes de necesitar servicio. Están hechas con compuertas y cuerpos de válvula de acero inoxidable 304 resistentes a la corrosión. Este control de 3 posiciones proporciona flexibilidad y precisión para mantener las condiciones óptimas para varios procesos de deposición al vacío, particularmente en sistemas de cámaras de proceso de deposición de películas delgadas. Aplicación en cámaras de recubrimiento de deposición física de vapor Esta válvula de compuerta de 3 posiciones está diseñada para aplicaciones de alto vacío confiables y, a menudo, se usa en combinación con bombas de alto vacío criogénicas, turbo e iónicas. Se ha encontrado un uso creciente en procesos de vacío estrangulados como la deposición por pulverización catódica con magnetrón PVD. En una cámara de recubrimiento PVD, como en los sistemas de pulverización catódica, a menudo se usa una válvula de compuerta de 3 posiciones para controlar la conexión entre la bomba turbomolecular y la cámara de proceso principal. Estas válvulas de compuerta permiten un control preciso del sistema de vacío y pueden aislar la bomba, proteger la cámara y ajustar la velocidad de bombeo. Las tres posiciones de una válvula de compuerta típica de 3 posiciones son: 1. Posición completamente abierta: conductancia máxima, velocidad de bombeo turbo completa, utilizada para la evacuación inicial o cuando se mantiene un alto vacío durante la deposición. 2. Parcialmente abierta (posición de estrangulamiento): Propósito: en la posición parcialmente abierta, la válvula de compuerta solo está parcialmente abierta, lo que estrangula la conductancia entre la cámara y la bomba turbo. El estrangulamiento es importante cuando se trabaja con gases reactivos (por ejemplo, oxígeno o nitrógeno en pulverización reactiva) o cuando se necesita ajustar la presión para un crecimiento óptimo de la película. Esta posición parcialmente abierta se configura y ajusta manualmente una vez durante la instalación y se puede cambiar en cualquier momento para ejecutar una condición de proceso diferente. 3. Posición completamente cerrada: Propósito: en la posición completamente cerrada, la válvula de compuerta aísla completamente la bomba turbo de la cámara principal. Caso de uso: Esta posición se utiliza para proteger la bomba turbo durante procesos como la ventilación de la cámara, la carga de muestras en la cámara de bloqueo de carga o cuando la cámara está expuesta a la presión atmosférica. Evita que entren contaminantes o aire atmosférico en la bomba turbo, lo que podría dañarla. Especificaciones: Especificaciones y características: Material Cuerpo SUS304 Tipo de articulación del carro - SUS304 Tipo de bola Tamaño inferior a 10” - SUS304 Tipo de bola Tamaño superior a 10” (incluido) - SUS304, A6061-T6 Tipo de articulación de compuerta - SUS304 Tipo de bola Tamaño inferior a 10” - SUS304 Tipo de bola Tamaño superior a 10” (incluido) - A6061-T6 Fuelle AM350 Ciclo de vida HV: DN200 - 300 000 ciclos UHV: DN200 - 50 000 ciclos Tasas de fuga de helio a 1 atm diferencial <2×10-9 mbar·l /seg para junta tórica <5×10-10 mbar·l /seg para junta de sellado Temperatura de horneado Abierto - 200 °C Junta de capó de Viton Cerrado - 150 °C Junta de capó de Viton Rango de presión (mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 Delta P máximo (mbar) < 30 antes de abrir Sello estándar Compuerta - Junta tórica de Viton Bonete - Junta tórica de Viton o junta de cobre OFHC Actuador - Neumático Suministro de aire comprimido Conexión de tubo - 6 mm Rango de presión - 4-6 kg/cm2(sobrepresión) Tratamiento de superficie - Scotch pulido Opciones Indicador de posición Válvula solenoide de control neumático Puerto de desbaste Otro material Sello de junta tórica de compuerta Consulte las descargas para obtener más información sobre esta válvula de compuerta y otras configuraciones de válvulas relacionadas.