Controlador de flujo másico MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, rango de 20 a 1000 sccm, conector D-subminiatura de 15 pines, 4 VCR macho.
Número de pieza MKS: GM50A013103RMM020. El controlador de flujo másico MKS GM50A se puede configurar para controlar una amplia gama de gases de fuente de suministro seguro (SDS). Los accesorios de entrada y salida son Swagelok® 4 VCR® macho. Tiene un rango de flujo de escala completa de 1000 sccm y un rango de control de 20 a 1000 sccm, un conector subminiatura D de 15 pines con conexiones a tierra y una señal de entrada/salida de flujo de 0-5 VCC. Los tiempos de respuesta típicos son del orden de 500 milisegundos. La calibración digital produce un 1 % de la precisión del punto de referencia en el gas de calibración.
Las capacidades de rango múltiple se pueden configurar a través de una aplicación basada en un navegador web a la que se accede conectando el MFC a un enrutador o una computadora a través de un cable Ethernet. La aplicación E-diagnostics permite al usuario monitorear el desempeño de la MFC en tiempo real, así como trazar datos y seleccionar variables.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company