Capteur de remplacement Edwards APG100-XLC Jauge Pirani active NW25, KF25, résistant à la corrosion, 10-4 Torr

Les capteurs de tube de jauge de remplacement Edwards APG100-XLC (filaments platine/iridium résistants à la corrosion) ont une bride à vide NW25 (KF25) et sont conçus pour s'adapter au boîtier APG100-XM Active Pirani Electronics. Ils sont une solution de réparation rentable. Les nouvelles jauges Edwards sont compatibles avec tous les contrôleurs d'instruments Edwards TIC, ADC, TAG et autres contrôleurs et écrans de jauge actifs. L'APG100 est disponible en deux versions : la version « M » (contient des filaments standard de tungstène/rhénium) peut mesurer la pression jusqu'à 10-3 Tor et convient aux applications générales ; la version « LC » (contient des filaments de platine/iridium résistants à la corrosion) peut mesurer la pression jusqu'à 10-4 Torr et convient également à une utilisation dans des applications corrosives.

L'APG100 peut être monté dans n'importe quelle orientation, mais les tubes de jauge sont calibrés individuellement en usine dans l'azote lorsqu'ils sont verticaux. Pour une indication de pression correcte dans l'orientation de la jauge choisie, la jauge doit être recalibrée à la pression atmosphérique. Edwards recommande de monter le tube de jauge verticalement afin de minimiser l'accumulation de particules de procédé et de vapeurs condensables dans la jauge. L'APG100 est calibré pour une utilisation dans l'azote et lira correctement avec de l'air sec, de l'oxygène et du monoxyde de carbone. Pour tout autre type de gaz, une conversion est nécessaire afin d'obtenir la lecture correcte de la pression. Les figures 7 et 8 montrent la conversion pour 6 gaz courants : azote, argon, dioxyde de carbone, hélium, krypton et néon.

Ils sont également approuvés CSA, C/US ainsi que entièrement conformes RoHS en raison de leur construction sans plomb. Plage de pression jusqu'à 10 ^-3 Torr. Le câble de signal et le contrôleur de jauge à vide sont vendus séparément. Le manuel d'instructions pour ces jauges de la série Edwards APG100 est disponible au format PDF ci-dessous. Ces capteurs de rechange Edwards APG100-XM Active Pirani Vacuum Gauge ont une bride de vide NW25 (KF25) et le numéro de pièce Edwards D02604801.

Les fonctionnalités incluent:

• Accès facile au câble de signal avec boîtier compact
• Capteur pouvant être cuit à 150 °C (300 °F) et capteur remplaçable par l'utilisateur
• Point de consigne réglable pour un contrôle et un verrouillage simples du processus
• Étalonnage à distance possible
• Résistant à la corrosion
• Plage de pression 10 ^-4 Torr

Contexte des jauges Pirani et Pirani améliorées par convection
Les jauges à vide Pirani peuvent être classées comme une jauge de conductivité thermique étant très similaire à la jauge à thermocouple où la résistance du fil chauffé est mesurée pour déterminer la pression du vide. Une jauge Pirani est conçue pour mesurer le déséquilibre de résistance où le filament chauffé forme l'un des bras d'un circuit en pont de Wheatstone. Au fur et à mesure que la pression du vide augmente, les molécules de gaz évacuent la chaleur du filament et la résistance du capteur de pression se déplace vers une valeur inférieure qui déséquilibre le circuit. La pression du vide est donc calculée à partir du déséquilibre induit par la pression dans le circuit du pont de Wheatstone. Tout comme avec les jauges à thermocouple, la conductivité thermique par collisions moléculaires augmente linéairement avec la pression sur la plage de pression de 0,001 à 1 Torr. Cependant, l'évacuation de la chaleur devient non linéaire à mesure que la pression augmente davantage dans le régime d'écoulement visqueux, où la collision gaz-gaz peut réorienter les molécules vers le fil chauffé. Les molécules doivent entrer en collision plusieurs fois avant d'atteindre le corps extérieur du capteur (le dissipateur thermique). Les jauges Pirani à convection améliorée tirent parti du courant de convention à l'intérieur du capteur pour étendre sa plage de mesure de pression jusqu'à la pression atmosphérique.

Le manomètre Pirani est un capteur de mesure de pression indirecte où les lectures mesurées dépendent du type de gaz. Une certaine prudence s'impose du fait que les gaz plus lourds ont de faibles taux de transfert de chaleur et que les jauges Pirani standard améliorées par convention sont calibrées pour N2 (essentiellement le même calibrage que l'air). Cela pourrait conduire à des conditions de surpression dangereuses lors du remplissage d'un système de vide avec un gaz plus lourd comme l'argon. Le danger survient si l'opérateur du système de vide ne corrige pas la lecture de l'affichage de la jauge pour le bon type de gaz, par exemple, une jauge standard calibrée pour N2, affiche 24 Torr lorsque la chambre est à 760 Torr d'argon. L'opérateur serait trompé en pensant que la chambre était toujours sous vide et continuerait à augmenter le système jusqu'à un état critique de surpression. Une autre source d'erreur peut être produite si la jauge Pirani améliorée par convection n'est pas montée correctement, la plupart des capteurs commerciaux exigent qu'ils soient montés parallèlement au sol. Cela permet au courant conventionnel à l'intérieur du capteur de circuler dans la direction prévue (des erreurs de 20 % ou plus peuvent facilement être introduites si le capteur Pirani amélioré par convention n'est pas monté horizontalement).

L'évacuation rapide de ces capteurs Pirani à convection améliorée produira une erreur de mesure significative pendant une courte période de plusieurs secondes. Au fur et à mesure que les gaz pompés rapidement se dilatent, l'évacuation de la chaleur du filament du capteur de pression n'est pas un courant de convection normal mais est plutôt entraînée par une convection forcée. Alors que la pression du vide chute rapidement, les gaz se dilatent et se refroidissent, cela fournit une voie secondaire pour éliminer la chaleur du fil de capteur chaud. La jauge Pirani à convection améliorée peut faussement afficher des pressions élevées jusqu'à 1000 Torr pendant l'évacuation du système. Une fois que le flux de gaz est arrêté, la lecture de la pression se stabilise à nouveau à une valeur mesurée réaliste. Pour ces raisons, les jauges Pirani à convection améliorée ne sont pas bien adaptées pour mesurer les changements de pression dans des conditions de pompage dynamiques. Dans l'ensemble, le Pirani à convection améliorée est un manomètre à vide grossier économique et populaire qui peut mesurer de l'atmosphère à 1x10-4 Torr, les mesures inférieures à 1 Torr étant les plus précises.