Kit de réparation côté hélium pour CTI Cryo-Torr 7 et 100 Cryopump

Il s'agit d'un kit de réparation côté hélium CTI Cryo-Torr 7 ou 100 Cryopump. Les pompes CTI-Cryogenics Cryo-Torr 7 ou 100 sont l'un des deux principaux composants du système de pompage Cryo-Torr. Le deuxième composant est le compresseur (également vendu sur ce site). La cryopompe Cryo-Torr CTI 7 ou 100 permet un pompage rapide et propre de tous les gaz dans la plage de 10-3 à 10-9 Torr. Les applications standard incluent les semi-conducteurs, l'aérospatiale et le revêtement sous vide ainsi que la R&D. La pompe cryogénique fonctionne sur le principe que les gaz peuvent être condensés et maintenus à des pressions de vapeur extrêmement basses, atteignant des vitesses et des débits élevés. La pompe Cryo-Torr 7 ou 100 est une unité hautement fiable et robuste qui nécessite un minimum d'entretien. Étant donné que la cryo-pompe n'expose aucune pièce mobile, aucun fluide de fonctionnement ou aucune pompe auxiliaire au vide, la possibilité de contamination du système ou du processus par la cryo-pompe elle-même est éliminée. Les procédures de description, d'installation, de régénération et d'entretien sont entièrement couvertes dans les instructions d'installation, d'utilisation et d'entretien de la pompe Cryo Torr .pdf à télécharger sur le côté.