Pompe à vide sèche Edwards iXL120N, 200-460VAC, connexion de purge à l'azote, personnalisée, raccord d'eau à déconnexion rapide 3/8 QC ajouté. Numéro de pièce Edwards : A54114010. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement ! Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120N Caractéristiques et avantages : Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces de routage et d'emplacement en avant. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Leader de sa catégorie. Le temps d'arrêt du pompage de la chambre réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C contribue à réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Une consommation électrique de seulement 0,55 kW1 permet de minimiser le coût de possession du client. Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50 /60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser de l'espace précieux dans l'usine

Pompe à vide sèche Edwards iXL120 E 200-460VAC, raccord d'eau 3/8 QC. Compact, petit et léger. Numéro de pièce Edwards A54113010. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement. Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120 Caractéristiques et avantages : L'option de purge sans azote élimine le besoin d'alimentation en azote, ce qui permet d'économiser des coûts d'installation et d'exploitation. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet un acheminement et un emplacement efficaces. options Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité Le temps d'arrêt de pompage de la chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Seule une consommation électrique de 0,55 kW1 permet de minimiser les besoins des clients. coût de possession Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50/60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace de fabrication précieux

Pompe à vide sèche Edwards iXL120 E 200-460VAC Raccord d'eau sec 1/4 QC. Compact, petit et léger. Numéro de pièce Edwards A54113020. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement. Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120 Caractéristiques et avantages : L'option de purge sans azote élimine le besoin d'alimentation en azote, ce qui permet d'économiser des coûts d'installation et d'exploitation. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet un acheminement et un emplacement efficaces. options Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité Le temps d'arrêt de pompage de la chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Seule une consommation électrique de 0,55 kW1 permet de minimiser les besoins des clients. coût de possession Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50/60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace de fabrication précieux

Pompe à vide sèche Edwards iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC, raccords d'eau. Compact, petit et léger. Numéro de pièce Edwards A54113610. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement. Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120 Caractéristiques et avantages : L'option de purge sans azote élimine le besoin d'alimentation en azote, ce qui permet d'économiser des coûts d'installation et d'exploitation. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet un acheminement et un emplacement efficaces. options Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité Le temps d'arrêt de pompage de la chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Seule une consommation électrique de 0,55 kW1 permet de minimiser les besoins des clients. coût de possession Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50/60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace de fabrication précieux

Pompe à vide sèche Edwards iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC Raccords d'eau. Compact, petit et léger. Numéro de pièce Edwards A54113710. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement. Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120 Caractéristiques et avantages : L'option de purge sans azote élimine le besoin d'alimentation en azote, ce qui permet d'économiser des coûts d'installation et d'exploitation. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet un acheminement et un emplacement efficaces. options Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité Le temps d'arrêt de pompage de la chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Seule une consommation électrique de 0,55 kW1 permet de minimiser les besoins des clients. coût de possession Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50/60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace de fabrication précieux

Pompe à vide sèche Edwards iXL120 E 200-460VAC 3/8 QC Raccords d'eau avec vanne de contrôle de débit. Numéro de pièce Edwards A54113011. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement. Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120 Caractéristiques et avantages : L'option de purge sans azote élimine le besoin d'alimentation en azote, ce qui permet d'économiser des coûts d'installation et d'exploitation. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet un acheminement et un emplacement efficaces. options Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité Le temps d'arrêt de pompage de la chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Seule une consommation électrique de 0,55 kW1 permet de minimiser les besoins des clients. coût de possession Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50/60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace de fabrication précieux

Pompe à vide sèche Edwards iXL120 E 200-460VAC SPI 1/4 QC Raccords d'eau avec vanne de contrôle de débit. Numéro de pièce Edwards A54113221. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement. Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120 Caractéristiques et avantages : L'option de purge sans azote élimine le besoin d'alimentation en azote, ce qui permet d'économiser des coûts d'installation et d'exploitation. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet un acheminement et un emplacement efficaces. options Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité Le temps d'arrêt de pompage de la chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Seule une consommation électrique de 0,55 kW1 permet de minimiser les besoins des clients. coût de possession Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50/60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace de fabrication précieux

Pompe à vide sèche Edwards iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC Raccords d'eau avec vanne de contrôle de débit. Numéro de pièce Edwards A54113611. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement. Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120 Caractéristiques et avantages : L'option de purge sans azote élimine le besoin d'alimentation en azote, ce qui permet d'économiser des coûts d'installation et d'exploitation. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet un acheminement et un emplacement efficaces. options Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité Le temps d'arrêt de pompage de la chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Seule une consommation électrique de 0,55 kW1 permet de minimiser les besoins des clients. coût de possession Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50/60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace de fabrication précieux

Pompe à vide sèche Edwards iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC Raccords d'eau avec vanne de contrôle de débit. Numéro de pièce Edwards A54113711. La XL120 est une pompe sèche compacte à faible consommation d'énergie de 110 m3h-1 destinée à la manipulation de plaquettes et à d'autres applications propres. Il permet un pompage rapide des sas de chargement avec une consommation d'énergie extrêmement faible. L'iXL120 est l'une des pompes les plus petites et les plus légères disponibles pour les applications de verrouillage de charge et de nettoyage. Ses faibles niveaux de vibrations et de bruit le rendent idéal pour le montage sur un outil ou dans le plancher gaufré d'une usine, contribuant ainsi à économiser un espace précieux au sol. Un mode vert permet de réduire l'utilisation des services publics pendant les périodes d'inactivité, réduisant ainsi les coûts des services publics et contribuant à préserver l'environnement. Le temps d'arrêt de la pompe à chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) La consommation d'énergie de seulement 0,55 kW permet de minimiser le coût de possession du client. Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité. Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace précieux dans l'usine. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet des options efficaces d'acheminement et d'emplacement de la ligne avant. L'option de purge sans azote élimine le besoin d'une alimentation en azote, économisant ainsi l'installation. et coûts d'exploitation Edwards iXL120 Caractéristiques et avantages : L'option de purge sans azote élimine le besoin d'alimentation en azote, ce qui permet d'économiser des coûts d'installation et d'exploitation. Les roulements de précision lubrifiés à l'huile garantissent un fonctionnement fluide et à faibles vibrations, sans entretien de routine. La disposition unique à double entrée permet un acheminement et un emplacement efficaces. options Le mode vert peut réduire la consommation d'énergie jusqu'à 92 % pendant les périodes d'inactivité Le temps d'arrêt de pompage de la chambre, le meilleur de sa catégorie, réduit le temps de cycle moyen total (TACT) Une alimentation en eau jusqu'à 35 °C permet de réduire les besoins en eau de refroidissement des installations. Seule une consommation électrique de 0,55 kW1 permet de minimiser les besoins des clients. coût de possession Une seule variante couvre la plage de tension d'alimentation 200-460 V, 50/60 Hz Extrêmement petit et léger, permettant d'économiser un espace de fabrication précieux

Pompe à vide sèche Edwards iXL600N. Alimentation triphasée 200-460 V 50/60 Hz. 600 m3h-1 Vitesse de pompage maximale. Comprend : raccords d'eau à connexion rapide 3/8. Edwards PN : A54134010 L'iXL600N est une combinaison de pompe sèche et de surpresseur. Les systèmes sont destinés à être utilisés sur des applications légères et la variante N est équipée d'un module de gaz qui fournit du gaz de purge d'azote aux zones du mécanisme de la pompe. Le stator, le moteur et les variateurs sont refroidis par eau. Les systèmes de pompage peuvent être contrôlés par le panneau avant, un accessoire PDT ou par l'outil via MicroTIM. Les systèmes de pompe à sec sont destinés à être utilisés sur des applications de verrouillage de charge et de service léger. Les applications courantes incluent le verrouillage de charge, le transfert, la métrologie, la lithographie, le processus PVD et le pré-nettoyage PVD.

Terminal d'affichage de pompe Edwards GX, iGX, iXH, iXM et iXL, 5 voies, prise XLR, module d'affichage à clavier portatif. Numéro de pièce Edwards : D37280700 Terminal d'affichage de pompe Edwards GX, iGX, iXH, IXM et iXL Prise XLR 5 voies. Afficheur portatif pour les systèmes de pompes sèches Edwards GX, iGX et iXL120 avec connexion XLR 5 voies. Numéro de pièce de l'aspirateur Edwards D37280700.

Module Edwards SPI Micro TIMD37360310Le module SPI Micro TIM fournit une interface d'outil Edwards SPI pour les pompes sèches avec un emplacement Micro TIM. Un module SPI Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le SPI Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards MCM Micro TIMD37360320MCM Le module MicroTIM fournit une interface d'outil Edwards MCM pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module MCM Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, à l'aide d'une interface numérique parallèle. Le MCM Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Série GXS (version MCM uniquement) Série CXS (version MCM uniquement) Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou un autre équipement de contrôle. Par exemple, une pompe peut être mise à niveau d'un iH vers un iHs sans changer le module d'interface. Le MCM Micro TIM est compatible AUC avec les pompes des séries GXS et CXS. Équivalent à iH iTIM D37422000 - MCM. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards TEL Micro TIMD37360330Le module TEL Micro TIM fournit une interface d'outil Edwards TEL pour les pompes sèches avec un emplacement Micro TIM. Un module TEL Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le TEL Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards Semi E73 Micro TIMD37360340Le module Semi E73 Micro TIM fournit une interface d'outil conforme Semi E73 pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module Semi E73 Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le Semi E73 Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards LAM Alliance Micro TIMD37360350LAM Alliance MicroTIM fournit une interface d'outil aux plates-formes LAM Alliance pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module LAM Alliance Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le LAM Alliance Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards Novellus C3 Micro TIMD37360360Novellus C3 Micro TIM fournit une interface d'outil aux plates-formes Novellus C3 pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module Novellus C3 Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le Novellus C3 Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Module Edwards Hitachi Micro TIMD37360370Hitachi MicroTIM fournit une interface d'outil Hitachi pour les pompes sèches avec un slot MicroTIM. Un module Hitachi Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre Process Tool, en utilisant l'interface numérique parallèle. Le Hitachi Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Également pour une utilisation sur des systèmes multi-pompes avec un contrôleur de système. Lorsque ces modules existent déjà, ils peuvent être utilisés pour assurer le contrôle et la surveillance de la pompe par votre outil de traitement ou tout autre équipement de contrôle. Consultez les manuels Micro TIM ou iTIM.pdf dans notre section de téléchargement à gauche pour les informations d'entrée de connexion parallèle et de compatibilité.

Prise de pompe à semi-conducteur sec Edwards iXL utilisée pour fabriquer un câble d'alimentation pour les pompes à vide de la série iXL. Il s'agit d'un kit de fiches de pompe à semi-conducteurs secs Edwards iXL permettant de fabriquer un câble d'alimentation secteur d'entrée pour les pompes à vide à semi-conducteurs de la série Edwards iXL. Fonctionne avec iXL120 et d'autres modèles.

Câble Edwards EMO pour l'installation d'une pompe sèche à semi-conducteurs de la série iXL ou iXH de nouveau style sur un outil avec des pompes de la série iH de style ancien existantes. Ideal Vacuum fournit son propre câble d'interface, qui permet de remplacer une pompe de la série iH de style plus ancien par le style IXL120N, iXH100 ou iXH610. Ce câblage EMO est utile pour les applications où un outil à semi-conducteur a plusieurs pompes iH de style ancien attachées dans la sous-usine. Ce câble de module d'interface continue le circuit EMO à travers les pompes iH de style ancien restantes et à travers la pompe de remplacement iXL120N de nouveau style. Les connexions et les différents modules d'interface sont décrits en détail ci-dessous. Ce câble est généralement connecté de P2 (sortie) d'iTIM sur le côté gauche iH, au connecteur d'arrêt d'urgence (EMS) sur iXL120N, à J1 (entrée) d'iTIM sur le côté droit de la pompe iH (voir les détails dans notre note d'application au format pdf) . Le problème est que les pompes de la série Edwards iH sont désormais abandonnées et ne sont plus disponibles. Ideal Vacuum stocke les pompes de remplacement, iXL120N pour verrouillage de charge, iXH100 (remplace iH80), iXH610 (remplace iH600), etc. La nouvelle pompe iXL120N n'a pas de bouton EMO à l'avant comme les anciennes pompes IH (voir les détails dans notre note d'application). L'iTIM d'Edwards était souvent configuré avec des pompes à vide sèches à semi-conducteurs de la série Edwards iH de style plus ancien, où plusieurs pompes sont connectées à un seul outil à semi-conducteurs dans la sous-fabrication. Le câblage EMO est configuré pour arrêter l'outil si un EMO est pressé sur l'une des pompes de la série iH, ils sont généralement câblés en série, dans une configuration en guirlande.