Système de cylindre de livraison de vapeur de précurseur liquide de dépôt de couche atomique (ALD), acier inoxydable 304L, cylindre DOT-3E-1800 150 cm3

La livraison contrôlée de vapeur en phase gazeuse à partir d'un précurseur liquide est nécessaire dans les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD) et de dépôt de couche atomique (ALD). Ces bouteilles de distribution de gaz liquide vapeur contiennent un barboteur intégré pour aider à contenir la vapeur de précurseur dans un flux de gaz tampon. Ces cylindres de livraison de vapeur sont fabriqués en acier inoxydable 316 résistant aux produits chimiques avec des vannes à bille ¼ de tour à l'entrée et à l'échappement. Le cylindre est conçu pour résister à une pression allant jusqu'à 1800 PSI (@ 37°C).

La pression nominale maximale de la bouteille varie en fonction de la température. NE PAS pressuriser les bouteilles au-delà de leurs limites de température respectives

Le sens d'écoulement est imprimé sur chaque valve, lorsque le gaz tampon circule dans le bon sens vers le processus de dépôt, des bulles se forment au fond du cylindre qui montent à travers le liquide précurseur. Cela permet un flux constant et constant de vapeur de précurseur dilué dans le gaz tampon, qui est généralement de l'hélium, du néon ou de l'argon. Ces bouteilles de gaz de distribution de vapeur de précurseur liquide peuvent être chauffantes ou froides pour contrôler la pression de vapeur et la concentration du précurseur. Cela permet de générer une concentration de débit précise.

Les vannes d'entrée et de sortie sont des vannes à boisseau sphérique à raccord Swagelok® de ¼ de pouce, qui ne sont pas conçues pour les liquides pyrophoriques. Pour l'application ALD avec des liquides pyrophoriques hautement inflammables, nos bouteilles de distribution sont équipées de vannes à membrane pour une sécurité améliorée, devenant applicables avec des liquides pyrophoriques, tels que le triméthylaluminium (TMA), le triéthylaluminium (TEA), le diéthylzinc (DEZn) et le triméthyl gallium (TMGa).