MKS Instruments VANNE, 50SCCM 4 VCR M, Vannes et contrôleurs de pression en amont, Vannes et contrôleurs de pression en amont, PN 148JA51CR1M
Ces MKS Instruments VANNE, 50SCCM 4 VCR M avoir un numéro de pièce 148JA51CR1M, sont neufs et livrés avec MKS Instruments garantie. La conception ultrapropre avancée de la vanne de régulation entièrement métallique 148J de MKS Instrument minimise la génération de particules et réduit le dégazage de contaminants résiduels, qui peuvent tous deux entraîner des pannes de l'appareil et de mauvais rendements. Des joints métalliques, avec un taux de fuite externe garanti inférieur à 1 x 10-10 atm cc/sec (He), sont utilisés pour éviter la contamination et la corrosion. Les 148 vannes haute température peuvent fonctionner à une température de traitement de 150°C.
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