MKS Instruments MFM, N2, 200 SCCM, RS-485, MFM, LTMA22CR353X20, Régulateurs de débit massique scellés en métal et en élastomère, Régulateurs de débit massique scellés en métal et en élastomère,  PN  GM51A013202R530020

Ces MKS Instruments MFM, N2, 200 SCCM, RS-485, MFM, LTMA22CR353X20  avoir un numéro de pièce GM51A013202R530020, sont neufs et livrés avec MKS Instruments garantie. Les régulateurs de débit massique GE250A et GE300A sont des MGC à usage général, scellés en élastomère, adaptés à une grande variété d'applications. Le GE250A peut varier de 100 à 250 slm (équivalent N2), tandis que le GE300A peut varier de 150 à 300 slm (équivalent N2). Les deux sont disponibles avec des E/S analogiques ou des E/S numériques utilisant les derniers algorithmes de contrôle du gaz et une réponse reproductible au point de réglage. Les temps de stabilisation de 1 à 2 secondes et les précisions du point de consigne inférieures à 1 % du point de consigne dépassent les contrôleurs de masse à haut débit typiques. Un contrôle précis est maintenu jusqu'à 2 % de la plage de débit configurée à pleine échelle. La capacité multi-gaz/multi-gamme et les spécifications de performances en matière de précision, de plage de contrôle et de réponse transitoire minimisent les besoins en stocks de contrôleurs de débit. La fonction multi-gaz/multi-gamme et d'autres commandes personnalisées sont accessibles via l'interface de diagnostic intégrée. Un câble Ethernet standard et un navigateur HTML compatible JAVA sont les seuls outils nécessaires. Les paramètres de gaz critiques pour les gaz typiques à haut débit sont déjà stockés sur le MFC. Configurez un contrôleur de débit massique série G en sélectionnant le gaz dans un menu déroulant et en spécifiant la plage de débit à pleine échelle souhaitée. Effectuez des contrôles de santé de routine des appareils, tracez la réponse du flux et stockez les données de fonctionnement pour une analyse hors ligne à l'aide de l'interface de diagnostic MFC de la série G.

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