MKS Instruments VLV,NUPR,#6LV-DFHFR4-O, Vannes et contrôleurs de pression en amont, Vannes et contrôleurs de pression en amont,  PN  SP99C1350K

Ces MKS Instruments VLV,NUPR,#6LV-DFHFR4-O  avoir un numéro de pièce SP99C1350K, sont neufs et livrés avec MKS Instruments garantie. La vanne 245 est une version modifiée de la vanne de régulation entièrement métallique et cuisable Grainville-Philips série 216. La vanne 245 est capable de contrôler une pression de 10-11 à 6 000 Torr, avec un débit maximum allant jusqu'à 2 500 Torr-litres/s (200 slm) : la vanne peut être utilisée avec de nombreux gaz corrosifs qui excluent l'utilisation d'autres vannes. Une fois l'ensemble pilote de vanne retiré, la vanne peut être cuite à 450 °C pour les applications UHV. Le moteur pas à pas utilisé pour entraîner le type 245 permet de réagir aux changements de pression ou de point de consigne en fractions de seconde et fera passer la vanne d'une position complètement fermée à une position complètement ouverte en seulement 15 secondes. Le contrôleur Type 244 complète le système. Le système de contrôle de pression/débit 244/245 est un système de contrôle de rétroaction en boucle fermée destiné aux processus sous vide qui nécessitent une vanne de contrôle entièrement métallique pouvant être cuite, pour un contrôle de pression ou de débit sur une large plage. Le système 244/345, composé d'un module de contrôle et d'une vanne de fuite asservie, est parfaitement adapté aux processus monogaz tels que la pulvérisation cathodique, la gravure par pulvérisation cathodique, le contrôle de la source d'ions, l'implantation ionique, l'étalonnage des jauges à vide, etc.

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