BOC Edwards iQDP80 (iQDP-80) Pompe à vide DryStar à semi-conducteur sec reconstruite
Le système de pompage à sec iQ est un ensemble de pompe à sec modulaire contrôlé par microprocesseur qui offre des installations de contrôle et de surveillance inégalées. Le système de pompage iQ peut être contrôlé localement par un panneau de commande LCD portatif ou contrôlé à distance via une interface d'outil entièrement personnalisée. Tous les principaux éléments de contrôle sont situés dans l'empreinte du système de pompage. Le système de pompage à sec iQ intègre des capteurs qui surveillent en permanence les paramètres de performance clés du système et avertissent à l'avance des problèmes. Ces pompes sont équipées de capteurs de température de pompe et de moteur.
Les paramètres du groupe motopompe iQ peuvent être surveillés et affichés via une variété de dispositifs de sortie, notamment : Module de commande portable ou monté sur panneau ; PC local ou ordinateur portable ; interface d'outil spécifiée par l'OEM ; PC dans le cadre d'un réseau à l'échelle de la fab. Il s'agit d'un module de panneau de commande LCD portatif qui donne accès à : contrôle et configuration du système ; état du système et valeurs surveillées ; diagnostics et mesures correctives recommandées. Un module d'interface d'outil peut être utilisé pour fournir une interface entièrement personnalisée à votre outil de traitement. Il communique avec le système de pompage iQ via un câble à paire torsadée blindé. Il dispose d'une configuration système intégrale qui vérifie le journal d'historique d'entretien de la pompe de processus, les paramètres spécifiques au processus/outil, mis à jour à la mise sous tension, offrant une interchangeabilité maximale de la pompe entre les outils de processus.
Chaque pompe à vide sèche que nous vendons passe par un processus de reconstruction rigoureux sur notre site d'Albuquerque, au Nouveau-Mexique (NM). Chaque pompe est entièrement démontée et toutes les pièces sont décontaminées et inspectées. Les pièces endommagées ou usées sont remplacées. Tous les roulements, joints toriques, joints et joints sont remplacés. Les pompes reconstruites sont reliées à notre système de diagnostic de pression contrôlé par ordinateur où leur performance est surveillée pendant 72 heures sous une charge variable. Les pompes sont testées contre les fuites pour assurer la sécurité pendant le fonctionnement. La pompe finale est nettoyée et peinte au besoin.