MKS 626D Manomètre à capacité absolue Baratron 0,1 torr, capteur de manomètre à vide, raccord à vide UHV Conflat CF Bride de 1,33 pouce, 626D.1TCE

Les manomètres capacitifs Baratron® absolus non chauffés MKS 626D sont les derniers transducteurs de vide et de pression analogiques, capacitifs et hautes performances. Ils nécessitent une tension d'entrée de ±15 VCC et fournissent un signal de sortie analogique de haut niveau de 0 à 10 VCC qui est linéaire avec la pression. Cette sortie analogique peut être interfacée avec un contrôleur de pression MKS PDR2000, un instrument d'alimentation/d'affichage MKS ou tout instrument répondant à ces exigences. Les changements de pression/vide sont déterminés en mesurant le changement de capacité entre le diaphragme du capteur et un disque d'électrode adjacent. Ce changement de capacité est converti en une sortie utilisable par des circuits électroniques de conditionnement de signal brevetés. Le diaphragme Inconel® à tension radiale dans le capteur offre une réponse très rapide (<20 msec dans de nombreux cas), une faible hystérésis, une excellente répétabilité, une très haute résolution (jusqu'à 0,001 % de la pleine échelle), une résistance à la corrosion exceptionnellement élevée et une double paroi construction soudée pour la sécurité de l'opérateur. Le capteur lui-même peut résister à des expositions répétées à 45 psia (3,1 bar) sans dégradation ni déplacement permanents, ce qui lui permet de fonctionner dans pratiquement n'importe quel système de processus. Les manomètres capacitifs MKS 626D Baratron fonctionnent dans des conditions ambiantes. Ils sont disponibles dans des plages de pression/vide pleine échelle de 0,1 à 1000 Torr et conviennent à de nombreuses applications industrielles, électroniques et de recherche.

Cette liste concerne un manomètre capacitif MKS de type 626D doté d'un connecteur de signal D-subminiature à 15 broches, d'une valeur de lecture de pression de vide maximale à pleine échelle de 0,1 Torr, d'une connexion à bride UHV ultra-vide Conflat CF de 1,33 pouce et d'un numéro de pièce MKS 626D.1TCE.

Contrôleur et câbles compatibles :

• P102063 - Câble d'aspirateur idéal pour câble d'alimentation et de lecture numérique MKS PDR 2000 Câble en Y à 15 broches, équivalent à CB2000S-1-M1
• P102062 - Alimentation numérique MKS PDR 2000 et contrôleur de manomètre capacitif à lecture numérique
• P1010127 - Contrôleur de manomètre à double capacité (DCM) idéal pour le vide, alimentation et affichage numérique de la pression

Caractéristiques du produit:

• Sortie analogique proportionnelle 0 à 10 VDC avec connecteur D-sub 15 broches
• Mesure directe de la pression totale de la chambre indépendamment du type ou de la composition du gaz
• Stabilité de sortie à long terme pour une répétabilité de processus de pointe
• La construction en alliage de nickel Inconel® et Incoloy® du capteur de base fonctionne sans dommage dans pratiquement tous les environnements chimiques
• Une limite de surpression élevée garantit la fiabilité en cas d'incidents du système
• Spécifié en pourcentage de lecture pour une meilleure précision et un meilleur rendement du processus