MKS HPS 910 DualTrans Micropirani Transducteur piézo absolu KF16 RS485, 10-5 à 1500 Torr 910-12030

Le transducteur de vide 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute Piezo est conçu spécifiquement pour les applications de mesure de pression à large plage et dispose d'un raccord à bride ISO-KF de taille NW16. La sortie combinée offre une précision, une stabilité, une répétabilité et un temps de réponse nettement plus élevés que les jauges de conductivité thermique conventionnelles. Le 910 combine deux technologies de mesure de pression pour offrir des performances et des fonctionnalités supérieures. Le 910 fournit une mesure de pression absolue indépendante du gaz de 11 à 1500 Torr avec une précision accrue par rapport aux capteurs de conductivité thermique. Contrairement aux jauges Pirani traditionnelles, l'élément capteur du MicroPirani est constitué d'une puce de silicium carrée d'un millimètre, ce qui permet d'effectuer les mesures dans un très petit volume. Grâce à la technologie MicroPirani, le 910 peut lire des pressions jusqu'à 10-5 Torr, deux décennies en dessous d'un capteur Pirani standard. La conception du capteur minimise les effets de la convection, par conséquent le 910 peut être monté dans n'importe quelle orientation sans compromettre la précision.

Le Piezo est un capteur de pression absolue, fournissant une lecture directe de la pression, permettant à la mesure d'être indépendante du gaz. Le capteur Piezo mesure de moins de 1 Torr à 1500 Torr. Le 910 dispose d'une interface de communication numérique RS485 pour la configuration des paramètres du transducteur et pour fournir une mesure de pression en temps réel. Le 910 dispose également d'une sortie de pression analogique de 1 VDC/décade qui peut être interfacée à un équipement analogique externe pour la lecture ou le contrôle de la pression. D'autres sorties analogiques et courbes peuvent être sélectionnées via l'interface utilisateur numérique. Le 910 dispose de trois relais mécaniques qui peuvent être utilisés pour le contrôle de processus, par exemple des vannes d'isolement à verrouillage et des pompes à vide. Chaque point de consigne peut être affecté soit à la mesure piézo, soit à la mesure absolue combinée MicroPirani/Piezo. La conception compacte du 910 réduit considérablement l'espace occupé par une jauge à vide. Ceci est particulièrement attrayant pour les concepteurs de systèmes et permet un système de vide plus compact.