Ensemble de mélange de cylindre de gaz sous vide idéal, cylindre en acier inoxydable 304L, cylindre de régulateur à un étage Matheson 3530A Grade : DOT-3E-1800, acier inoxydable 304L L'ensemble de mélange de cylindre de gaz sous vide idéal est conçu pour simplifier le mélange des gaz de procédé dans une variété d'applications . Le système, complet avec un régulateur de gaz et un ensemble de vanne de purge de régulateur de gaz, utilise des vannes à pointeau haute pression (jusqu'à 6000 PSI) pour aider à contrôler avec précision le débit de gaz dans la bouteille de mélange. Le cylindre équipé de ce système est en acier inoxydable 304L, a une épaisseur de paroi de 2,4 mm et peut être pressurisé jusqu'à un maximum recommandé de 1800 PSI (à 37 °C). Des bouteilles avec revêtement interne en PTFE ou des finitions internes électropolies sont également disponibles sur ce site Web. La pression nominale maximale de la bouteille varie en fonction de la température. NE PAS pressuriser les bouteilles au-delà de leurs limites de température respectives. Le système de purge est crucial pour garder le régulateur propre lorsque la bouteille n'est pas utilisée. Les gaz corrosifs mélangés finiront par éroder les joints du régulateur, ce qui entraînera sa défaillance au fil du temps. Pour éviter cela, la chaîne de montage de la purge peut être raccordée à une bouteille de gaz inerte et une pompe à vide. Il est recommandé d'évacuer et de purger le détendeur plusieurs fois avec un gaz inerte après avoir utilisé l'ensemble de mélange avec n'importe quelle quantité de corrosifs pour prolonger considérablement la durée de vie de votre détendeur. Les applications potentielles incluent : Spectromètre de masse Test d'analyseur de gaz résiduel (RGA) Chromatographie en phase gazeuse Incubateur Stockage de mélanges gazeux Échantillonnage de gaz semi-conducteur Spectroscopie laser Livraison de précurseurs Stockage d'échantillons exoatmosphériques Gaz de remplissage pour gaz chimiques Laser Applications générales de mélange et de stockage de gaz

Ensemble de mélange de cylindre de gaz sous vide idéal, cylindre en acier inoxydable 304L, cylindre de régulateur à un étage Matheson 3530A Grade : DOT-3E-1800 L'ensemble de mélange de cylindre de gaz sous vide idéal est conçu pour simplifier le mélange des gaz de procédé dans une variété d'applications. Le système, complet avec un régulateur de gaz et un ensemble de vanne de purge de régulateur de gaz, utilise des vannes à pointeau haute pression (jusqu'à 6000 PSI) pour aider à contrôler avec précision le débit de gaz dans la bouteille de mélange. Le cylindre équipé de ce système est en acier inoxydable 304L, a une épaisseur de paroi de 2,4 mm et peut être pressurisé jusqu'à un maximum recommandé de 1800 PSI (à 37 °C). Des bouteilles avec revêtement interne en PTFE ou des finitions internes électropolies sont également disponibles sur ce site Web. La pression nominale maximale de la bouteille varie en fonction de la température. NE PAS pressuriser les bouteilles au-delà de leurs limites de température respectives. Le système de purge est crucial pour garder le régulateur propre lorsque la bouteille n'est pas utilisée. Les gaz corrosifs mélangés finiront par éroder les joints du régulateur, ce qui entraînera sa défaillance au fil du temps. Pour éviter cela, la chaîne de montage de la purge peut être raccordée à une bouteille de gaz inerte et une pompe à vide. Il est recommandé d'évacuer et de purger le détendeur plusieurs fois avec un gaz inerte après avoir utilisé l'ensemble de mélange avec n'importe quelle quantité de corrosifs pour prolonger considérablement la durée de vie de votre détendeur. Les applications potentielles incluent : Spectromètre de masse Test d'analyseur de gaz résiduel (RGA) Chromatographie en phase gazeuse Incubateur Stockage de mélanges gazeux Échantillonnage de gaz semi-conducteur Spectroscopie laser Livraison de précurseurs Stockage d'échantillons exoatmosphériques Gaz de remplissage pour gaz chimiques Laser Applications générales de mélange et de stockage de gaz

Dépôt de couche atomique (ALD) Système de cylindre de distribution de vapeur de précurseur liquide Volume de cylindre : 150 cm3 Qualité de cylindre : DOT-3E-1800 La livraison contrôlée de vapeur en phase gazeuse à partir d'un précurseur liquide est nécessaire dans les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), métal Dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD) et dépôt de couche atomique (ALD). Ces bouteilles de distribution de gaz liquide vapeur contiennent un barboteur intégré pour aider à contenir la vapeur de précurseur dans un flux de gaz tampon. Ces cylindres de livraison de vapeur sont fabriqués en acier inoxydable 316 résistant aux produits chimiques avec des vannes à bille ¼ de tour à l'entrée et à l'échappement. Le cylindre est conçu pour résister à une pression allant jusqu'à 1800 PSI (@ 37°C). La pression nominale maximale de la bouteille varie en fonction de la température. NE PAS pressuriser les cylindres au-delà de leurs limites de température respectives Le sens d'écoulement est imprimé sur chaque vanne, lorsque le gaz tampon circule dans le bon sens vers le processus de dépôt, des bulles se forment au fond du cylindre qui montent à travers le liquide précurseur. Cela permet un flux constant et constant de vapeur de précurseur dilué dans le gaz tampon, qui est généralement de l'hélium, du néon ou de l'argon. Ces bouteilles de gaz de distribution de vapeur de précurseur liquide peuvent être chauffantes ou froides pour contrôler la pression de vapeur et la concentration du précurseur. Cela permet de générer une concentration de débit précise. Les vannes d'entrée et de sortie sont des vannes à boisseau sphérique à raccord Swagelok® de ¼ de pouce, qui ne sont pas conçues pour les liquides pyrophoriques. Pour l'application ALD avec des liquides pyrophoriques hautement inflammables, nos bouteilles de distribution sont équipées de vannes à membrane pour une sécurité améliorée, devenant applicables avec des liquides pyrophoriques, tels que le triméthylaluminium (TMA), le triéthylaluminium (TEA), le diéthylzinc (DEZn) et le triméthyl gallium (TMGa). Swagelok-TM Swagelok Company