Pfeiffer Vacuum Échange-IMR 265, Analyseurs de gaz résiduels, Analyseurs de gaz résiduels,  PN  PT R26 501 -A

Ces Pfeiffer Vacuum Échange-IMR 265  avoir un numéro de pièce PT R26 501 -A, sont neufs et livrés avec Pfeiffer Vacuum garantie.

Pfeiffer PrimaPro QMG 250

Les spectromètres de masse quadripolaires sous vide Pfeiffer équipés de détecteurs de Faraday sont les appareils préférés pour l'analyse qualitative de la composition des gaz dans une chambre à vide poussé. Comparés aux jauges à vide, les spectromètres de masse quadripolaires offrent une bien plus grande richesse d’informations sur le vide. Un détecteur de Faraday suffit souvent pour obtenir des informations sur des fuites, des dégagements de vapeur d'eau ou une contamination par des hydrocarbures sous vide poussé. À cette fin, Pfeiffer Vacuum propose une gamme de spectromètres de masse quadripolaires avec une variété de plages de masse et de matériaux de filament.

Les courants ioniques fournis par le spectromètre de masse pour le rapport masse/charge des composants gazeux fournissent des informations significatives sur un système de vide dans les multiples phases de fonctionnement, que ce soit pour déterminer l'étanchéité et l'absence de contamination après mise en place ou pour sa caractérisation. lors du fonctionnement d'un processus sous vide.

La plage de pression qui peut être atteinte dans le système à vide en fonction de la conception de la chambre à vide et du système de pompage détermine la sélection du spectromètre de masse par rapport au détecteur. Un détecteur de Faraday suffit souvent dans le vide poussé, tandis qu'un multiplicateur d'électrons secondaire est nécessaire dans l'ultra-vide pour détecter les très faibles densités de gaz.

Un autre critère clé est la plage de masse à détecter. Dans le système de vide traditionnel, les gaz atmosphériques tels que l'azote, l'oxygène, l'argon, la vapeur d'eau et, en général, la contamination par des hydrocarbures légers sont au centre de l'attention. Afin de détecter ces gaz, un spectromètre de masse quadripolaire pour la plage comprise entre 1 et 100 unités de masse atomique (u) est idéal, car il démontre une excellente séparation de masse dans cette plage. Si des gaz plus lourds et leurs composants doivent également être détectés, comme par exemple des hydrocarbures à longue chaîne, Pfeiffer Vacuum propose également des filtres de masse à cet effet pour 1 à 200 u ou 1 à 300 u.

Une source d’ions ouverte constitue le meilleur choix pour la plupart des tâches d’analyse des gaz résiduels, car elle combine une conception robuste avec une sensibilité de détection élevée. Les tâches pour lesquelles des jets ou des flux de gaz doivent être analysés peuvent être avantageusement maîtrisées avec une source d'ions fermée ou à faisceau croisé. Pour la gamme de l'ultra-vide, une source d'ions en grille avec un taux de dégazage extrêmement faible est également disponible. Grâce à la configurabilité précise des spectromètres de masse quadripolaires sous vide Pfeiffer grâce au grand nombre de composants parmi lesquels choisir, les spectromètres peuvent être sélectionnés de manière optimale pour toutes les tâches de mesure. Nos spécialistes des produits et des applications, forts de nombreuses années d'expérience, se feront un plaisir de vous conseiller sur la configuration de l'analyseur de gaz résiduels approprié.

Analyseur haute pression Pfeiffer HPA 220

L'analyseur haute pression sous vide Pfeiffer HPA 220 est un système de spectromètre de masse modulaire et flexible d'utilisation avec une station de turbopompage sèche pour l'analyse des gaz sous vide jusqu'à des pressions de 37 Torr (50 hPa). En fonction de l'utilisation, le Pfeiffer Vacuum HPA 220 permet de sélectionner cinq vannes d'admission de gaz électropneumatiques et manuelles différentes. Cela permet même aux plus petites impuretés présentes dans le gaz de procédé d'être détectées par les gaz réactifs. Il empêche également efficacement toute falsification des lectures causée par la rétrodiffusion depuis la chambre de l’analyseur.

Moniteur de processus de pulvérisation Pfeiffer Vacuum SPM 220

Le moniteur de processus de pulvérisation sous vide Pfeiffer SPM 220 constitue la solution parfaite pour les analyses qualitatives et quantitatives des gaz des processus de pulvérisation cathodique. La combinaison de la station de turbopompage Pfeiffer Vacuum HiPace et du système de spectromètre de masse avec une source d'ions SPM spécialement développée permet une analyse précise et à la minute près des gaz de procédé jusqu'à une pression de 7,4 mTorr (10-2 hPa).

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