Câble Edwards EMO pour l'installation d'une nouvelle pompe à semi-conducteurs secs de la série iXL ou iXH sur un outil avec des pompes existantes de la série iH de style ancien

Ideal Vacuum fournit son propre câble d'interface, qui permet de remplacer une pompe de la série iH de style plus ancien par le style IXL120N, iXH100 ou iXH610. Ce câblage EMO est utile pour les applications où un outil à semi-conducteur a plusieurs pompes iH de style ancien attachées dans la sous-usine. Ce câble de module d'interface continue le circuit EMO à travers les pompes iH de style ancien restantes et à travers la pompe de remplacement iXL120N de nouveau style. Les connexions et les différents modules d'interface sont décrits en détail ci-dessous. Ce câble est généralement connecté de P2 (sortie) d'iTIM sur le côté gauche iH, au connecteur d'arrêt d'urgence (EMS) sur iXL120N, à J1 (entrée) d'iTIM sur le côté droit de la pompe iH (voir les détails dans notre note d'application au format pdf) .

Le problème est que les pompes de la série Edwards iH sont désormais abandonnées et ne sont plus disponibles. Ideal Vacuum stocke les pompes de remplacement, iXL120N pour verrouillage de charge, iXH100 (remplace iH80), iXH610 (remplace iH600), etc. La nouvelle pompe iXL120N n'a pas de bouton EMO à l'avant comme les anciennes pompes IH (voir les détails dans notre note d'application). L'iTIM d'Edwards était souvent configuré avec des pompes à vide sèches à semi-conducteurs de la série Edwards iH de style plus ancien, où plusieurs pompes sont connectées à un seul outil à semi-conducteurs dans la sous-fabrication. Le câblage EMO est configuré pour arrêter l'outil si un EMO est pressé sur l'une des pompes de la série iH, ils sont généralement câblés en série, dans une configuration en guirlande.