Simulateur de manomètre à vide à thermocouple Agilent Varian 531 et tube de référence.
Référence Agilent Varian L7383301
Il s'agit d'un simulateur de jauge de thermocouple Agilent Varian 531 et d'un tube de référence. Cela aide et doit être utilisé lors du test ou de l'étalonnage des contrôleurs de jauge. Il simule à la fois une pression de 2,0 Torr et 1 × 10-3 Torr. Le tube de référence est scellé en permanence avec un vide à l'intérieur à une pression de <= 5 × 10-6 Torr.
Manomètres à vide à thermocouple, par Wikapedia.org
Les jauges de conductivité thermique reposent sur le fait que la capacité d'un gaz à conduire la chaleur diminue avec la pression. Dans ce type de jauge, un filament de fil est chauffé en y faisant passer un courant. Un thermocouple ou un détecteur de température à résistance (RTD) peut alors être utilisé pour mesurer la température du filament. Cette température dépend de la vitesse à laquelle le filament perd de la chaleur au gaz environnant, et donc de la conductivité thermique. Une variante courante est la jauge Pirani qui utilise un seul filament de platine à la fois comme élément chauffant et RTD. Ces jauges sont précises de 20 Torr à 10-3 Torr (selon le modèle de capteur et de contrôleur acheté). Cependant, ils sont sensibles à la composition chimique des gaz mesurés et sont appelés une méthode de mesure de la pression relative, c'est-à-dire qu'ils déterminent la pression indirectement à partir de la propriété de conductivité thermique du milieu gazeux.