Analizzatore di gas residui Ideal Vacuum AnalyzaVAC TM (RGA), 1-200 AMU, moltiplicatore di elettroni e rilevatore di tazze di Faraday, software AutoZ+ Basic incluso.
Questa inserzione riguarda la vendita dell'analizzatore di gas residui Ideal Vacuum AnalyzaVAC con i seguenti componenti:
- Analizzatore del vuoto ideale VAC RGA
- Intervallo di scansione 1-200 AMU.
- Amplificatore di segnale con moltiplicatore di elettroni.
- Rilevatore di tazze di Faraday.
- Misuratore Pirani incorporato per la misurazione approssimativa del vuoto.
- Misuratore di ioni a catodo caldo incorporato per la misurazione del vuoto spinto.
- Flangia di montaggio Conflat (CF) da 2,75".
Include anche:- Alimentatore universale da 24 V CC (ingresso 120/240 V CA) e cavo da 6'.
- Cavo di comunicazione seriale RS-232 maschio da USB a DB-9, lungo 1'.
- Cavo di prolunga seriale RS-232 DB-9 maschio-femmina, lungo 25'.
- Kit guarnizione e bullone in rame CF da 2,75".
- Software Ideal Vacuum AutoZ + versione base.
L'Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA è uno spettrometro di massa compatto che può aiutare a determinare l'identità e la concentrazione dei gas residui all'interno di una camera a vuoto. Può essere utilizzato per il rilevamento delle perdite, l'analisi del degassamento, il controllo della qualità del gas di alimentazione in applicazioni di rivestimento e incisione, la risoluzione dei problemi di processo e altro ancora. La sonda AnalyzaVAC RGA ha un misuratore Pirani integrato e un misuratore a catodo caldo Bayard Alpert che la proteggono dal funzionamento a pressioni inadeguatamente elevate, riducendo la complessità del sistema e prevenendo una costosa manutenzione. Ogni sistema è completo di sonda quadrupolare, unità di controllo e comunicazione (CCU), software AutoZ
+ Basic per Microsoft Windows® 10 e tutti i cavi necessari per alimentazione e comunicazione.
AnalyzaVAC funziona ionizzando i gas presenti sulla punta della sonda utilizzando elettroni emessi termoionicamente da doppi filamenti di iridio toriato sostituibili tramite campo. I cationi risultanti vengono separati in base al rapporto massa/carica utilizzando una combinazione di radiofrequenze variabili e tensioni CC applicate al filtro quadrupolare. Gli ioni caricati positivamente viaggiano lungo il centro del quadrupolare e vengono amplificati da un moltiplicatore di elettroni o rilevati direttamente dal rilevatore a tazza di Faraday all'estremità della sonda. Ogni gas produce un'impronta spettrale unica che è una combinazione dell'abbondanza isotopica naturale dei suoi elementi e della frammentazione molecolare causata dalla ionizzazione elettronica ad alta energia dell'RGA.
L'RGA è progettato per un funzionamento continuo a pressioni totali inferiori a 1×10
-6 Torr e, in modo ottimale, intorno a 2×10
-7 Torr. Il funzionamento dell'RGA a pressioni più elevate comporta una drastica riduzione della durata di ionizzatore, filamento e quadrupolo. I manometri integrati sono utilizzati sia internamente che nel software AutoZ
+ per prevenire danni fatali all'RGA (nella maggior parte dei casi).
Sebbene la sonda RGA possa essere montata direttamente in una camera ad alto vuoto, è buona norma isolare la RGA dalla camera utilizzando un tratto di tubo e una valvola di isolamento. Ciò impedisce la contaminazione o danni accidentali quando la camera viene ventilata o quando viene introdotto un nuovo campione o un'apparecchiatura. Se la RGA viene utilizzata per misurare i gas in una camera a vuoto grezzo, la RGA deve essere conservata in una piccola camera separata con il suo sistema di pompaggio ad alto vuoto collegato alla camera principale tramite una valvola di perdita. Ideal Vacuum offre kit RGA con tutte le apparecchiature necessarie per misurare in sicurezza i gas a pressioni fino a 1000 torr.
Tutte le sonde AnalyzaVAC sono dotate di un rilevatore a tazza di Faraday che fornisce una rilevazione ripetibile, quantitativa e altamente lineare fino a 1,5×10
-12 Torr
* . Il moltiplicatore di elettroni opzionale aumenta la sensibilità a un sorprendente 6×10
-15 Torr
* per misurazioni qualitative. Sia i rilevatori standard che quelli dotati di moltiplicatore di elettroni hanno una risoluzione di 0,5 AMU al 10% di altezza di picco (o migliore) se correttamente calibrati.
Il software base AutoZ
+ senza scadenza di Ideal Vacuum è un'applicazione Windows 10, che può controllare qualsiasi sistema AnalyzaVAC RGA da un computer desktop o portatile. AutoZ
+ offre all'operatore il potere di controllare tutti i parametri di acquisizione. AutoZ
+ fornisce streaming di dati in tempo reale e consente agli utenti di visualizzare i dati raccolti come uno spettro analogico, un istogramma di massa e tendenze nel tempo. Per rimuovere picchi indesiderati e contributi spettrali, un utente può utilizzare spettri raccolti in precedenza per i dati di base.
L'aggiornamento software opzionale AutoZ
+ premium di Ideal Vacuum include tutte le funzionalità del software base e aggiunge registrazione dati avanzata, media, adattamento spettrale con accesso alla libreria di sostanze di Ideal Vacuum e la possibilità di aggiungere composti aggiuntivi alla libreria. AutoZ
+ premium utilizza un potente algoritmo dei minimi quadrati per calcolare le pressioni parziali dei gas residui comuni, identifica il loro contributo allo spettro attualmente visualizzato e isola i picchi sconosciuti. Il software premium deve essere rinnovato annualmente o torna alla versione base.
Alcune applicazioni RGA:- Prova di tenuta
- Monitoraggio dei processi
- Monitoraggio del pump-down e del bakeout
- Diagnosi del vuoto
- Controllo della qualità del gas di alimentazione
- Identificazione di gas e contaminanti
** Misurato con azoto gassoso, tempo di permanenza di 5 secondi, larghezza di picco completa di 1 amu, altezza del 10%, energia elettronica di 70 eV, energia ionica di 6 eV ed emissione elettronica di 2 mA, e calcolando tre deviazioni standard dal rumore di base.