Descrizione

Questo è il nostro sistema di camera di prova del vuoto High Vacuum ExploraVAC Standard TVAC, ideale per processi ad alto vuoto e ottimizzato per stabilità e facilità d'uso. È un sistema completamente integrato, chiavi in mano, ad alto vuoto con una grande camera del vuoto in acciaio inossidabile saldata a cubo da 20 pollici, una porta incernierata in acciaio inossidabile con oblò e un volume di 4,6 piedi cubi. Il sistema include una pompa turbomolecolare Pfeiffer HiPace 300, una pompa per vuoto a spirale a secco Edwards nXDS20i e un controller di misuratore micro-ion e Convectron integrato che fornisce misurazioni della pressione della camera di sgrossatura e alto vuoto. Questo sistema ExploraVAC TVAC ad alto vuoto può raggiungere una pressione massima di 1x10 ^-7 Torr, pesa 862 libbre e richiede 208-240 V CA monofase, 50/60 Hz, a 19 Ampere.

Le camere ad alto vuoto sono utilizzate per molti processi scientifici e industriali. Gran parte della strumentazione scientifica viene realizzata sotto vuoto, in particolare quando vengono utilizzati fasci di elettroni o altre particelle cariche. I processi di rivestimento sotto vuoto di precisione, come lo sputtering sotto vuoto, la deposizione fisica da vapore (PVD) e la deposizione chimica da vapore (CVD), vengono utilizzati per applicare rivestimenti ottici o protettivi molto sottili a semiconduttori o substrati ottici di precisione. L'alto vuoto è necessario anche per i processi di incisione di precisione dei semiconduttori. L'alto vuoto può essere utilizzato per rimuovere acqua o altri vapori residui da campioni estremamente freddi senza deformarli, come nella liofilizzazione di campioni biologici per scopi di imaging. L'alto vuoto è necessario per testare componenti o dispositivi pronti per lo spazio per determinare che non emettano gas quando esposti alle pressioni estremamente basse percepite nello spazio. Consultare il grafico delle prestazioni scaricabile in PDF di seguito per i dati sulle prestazioni di tutte le opzioni.

Configurazione del sistema ad alto vuoto ExploraVAC :

Camera in acciaio inossidabile saldata a cubo da 20 pollici
Porta anteriore della camera in acciaio inossidabile con oblò
Pompa turbomolecolare Pfeiffer HiPace 300
Pompa per vuoto a spirale a secco Edwards nXDS20i
Porte laterali QTY2 LF-200 (consentono di aggiungere una varietà di passanti da entrambi i lati della camera)

La serie ExploraVAC di strumenti di processo e test per camere a vuoto termico TVAC crea ambienti precisi che conferiscono all'operatore il controllo completo sulla pressione e sulla temperatura interna della camera. Sono costruiti pensando all'innovazione. Consentono l'esplorazione di prototipi di dispositivi nel vuoto durante la fase di ricerca e sviluppo del prodotto e un controllo preciso del processo nell'elaborazione di piccoli lotti. Questi strumenti per camere di test a vuoto termico sono progettati per consentire agli utenti di personalizzare rapidamente gli esperimenti per raccogliere dati di analisi e diagnostica del prodotto mentre il prodotto è sottoposto a fattori di stress estremi di vuoto e temperatura.

Le camere per prove termovuoto ExploraVAC TVAC sono completamente configurabili con numerose opzioni di sistema disponibili (vedere il configuratore del prodotto sopra).

Opzioni di configurazione del sistema ExploraVAC :

Pompa grezza (a spirale asciutta o a radice asciutta multistadio, varie velocità)
Alto vuoto (varie velocità)
Controllo completo della pressione del vuoto
Piastra riscaldata e raffreddata
Riscaldamento della parete della camera
Illuminazione integrata della camera
Sistema di raffreddamento criogenico refrigerato a circuito chiuso o LN ₂
Controllo software automatizzato
Funzionamento del telecomando
Porte di spurgo, scaffalature della camera e molto altro

Per ExploraVAC è disponibile un'ampia selezione di camere a vuoto, tra cui camere in acciaio inossidabile saldate con dimensioni cubiche (interne) (12, 16, 20 o 24 pollici) o camere modulari Ideal Vacuum Cube™ con dimensioni cubiche (interne) (9, 12 o 24 pollici). Le camere possono essere configurate con porte in alluminio o acciaio inossidabile, con o senza finestre.

L'armadio di sistema ExploraVAC Standard TVAC ha una superficie di controllo del pannello frontale opportunamente angolata con interfaccia a pulsanti LED colorati che controlla tutte le funzioni della camera. I controllori PID e gli indicatori sono installati come richiesto per le opzioni selezionate dall'utente. Un PLC gestisce le funzioni di sistema, tra cui il sequenziamento di pompe e valvole per cicli di svuotamento efficienti e interblocchi di sicurezza per prevenire danni alle apparecchiature. L'involucro in stile NEMA integrato e accessibile frontalmente ospita l'elettronica necessaria per il funzionamento del sistema.

Una spaziosa porta laterale LF-200 è disponibile per accessori selezionati o progettati dall'utente, come un passante elettronico per il monitoraggio del dispositivo o per test di shock, una serie di lampade a infrarossi per test di riscaldamento radiante o differenziale di temperatura, o una serie di lampade ultraviolette per test di radiazioni ionizzanti. Questo sistema potrebbe essere personalizzato per ottenere qualsiasi velocità di aumento desiderata aggiungendo pompe per vuoto aggiuntive montate all'esterno dell'armadio.

Il retro dell'armadio contiene un pannello passante per paratia per lo sfiato della camera, lo scarico della pompa e l'opzione del gas di spurgo. Un pannello posteriore passante digitale ha più porte, tra cui un connettore DB9 per l'esecuzione del sistema in remoto da una workstation o un laptop con Microsoft Windows 10 o 11 con il nostro software Auto Explor ™.

La versione base (non in scadenza) di AutoExplor (P1012102) consente all'utente di controllare manualmente i dispositivi proteggendo il sistema. AutoExplor sequenzia correttamente le pompe e aziona automaticamente le valvole corrette per una determinata richiesta. L'utente può programmare i setpoint di pressione e temperatura, le velocità di rampa, i tempi di ammollo e lo sfiato (se il sistema è dotato di tali opzioni hardware). Il software fornisce streaming di dati grafici in tempo reale in modo che l'utente possa visualizzare il comportamento del sistema. AutoExplor mantiene un programma di manutenzione preventiva interna e avvisa l'utente quando è necessario il servizio di sistema. Ad esempio, avvisa quando sono necessarie sostituzioni della guarnizione della punta della pompa a spirale e quando è necessaria la calibrazione del sensore. Ciò aiuta a mantenere il sistema al massimo delle prestazioni operative. Fornisce inoltre messaggi di errore e di guasto insieme a informazioni specifiche per la risoluzione dei problemi in caso di guasto di un dispositivo in modo che il problema possa essere corretto il prima possibile.

La versione premium di AutoExplor (P1012100) include tutte le funzionalità del pacchetto software di base (sopra) e aggiunge il controllo automatizzato delle ricette, la registrazione dei dati e le capacità di esportazione dei registri. Le ricette di test complesse possono essere create come un processo passo dopo passo, in cui ogni passaggio può controllare lo stato di accensione/spegnimento, i setpoint e le velocità di rampa di più dispositivi. Una o più condizioni finali per ogni passaggio della ricetta possono essere impostate utilizzando operatori logici. La versione premium consente all'utente di generare rapidamente report di test TVAC ambientali dai file di registro dei dati delle ricette. I registri possono essere esaminati per garantire che vengano raggiunti i parametri di processo mirati. La versione premium include anche AutoExplor IP Client , che consente al software di essere utilizzato come host in grado di gestire più client di rete esterni, e AutoExplor API (interfaccia di programmazione dell'applicazione), che consente a uno scienziato o programmatore di integrare uno strumento ExploraVac nella propria suite di test software esistente senza utilizzare l'interfaccia software di AutoExplor . La versione premium deve essere rinnovata annualmente o torna alla versione base.

La serie ExploraVAC di camere di prova TVAC a pressione e temperatura controllate rappresenta la soluzione perfetta per numerose esigenze di collaudo dei prodotti.

Applicazioni di esempio