Cavo Edwards EMO per l'installazione di una pompa a semiconduttore a secco serie iXL o iXH di nuovo tipo su un attrezzo con pompe serie iH vecchio stile esistenti

Ideal Vacuum fornisce il nostro cavo di interfaccia, che consente la sostituzione di una pompa della serie iH di vecchio stile con lo stile IXL120N, iXH100 o iXH610. Questo cablaggio EMO è utile per le applicazioni in cui uno strumento per semiconduttori ha più pompe iH vecchio stile collegate nel sottofab. Questo cavo del modulo di interfaccia continua il circuito EMO attraverso le rimanenti pompe iH vecchio stile e attraverso la nuova pompa sostitutiva iXL120N. Le connessioni ei diversi moduli di interfaccia sono descritti in dettaglio di seguito. Questo cavo è generalmente collegato da P2 (uscita) di iTIM sul lato sinistro iH, al connettore di arresto di emergenza (EMS) su iXL120N, a J1 (ingresso) di iTIM sulla pompa iH lato destro (vedere i dettagli nella nostra nota applicativa in formato pdf) .

Il problema è che le pompe della serie Edwards iH sono ora fuori produzione e non sono più disponibili. Ideal Vacuum dispone delle pompe sostitutive, iXL120N per blocco del carico, iXH100 (sostituisce iH80), iXH610 (sostituisce iH600) e così via. La nuova pompa iXL120N non ha un pulsante EMO sulla parte anteriore come le vecchie pompe IH (vedere i dettagli nella nostra nota applicativa). L'iTIM di Edwards è stato spesso configurato con pompe per vuoto a semiconduttore a secco della serie Edwards iH di vecchio stile, in cui più pompe sono collegate a un singolo utensile a semiconduttore nel sub-fab. Il cablaggio EMO è impostato per arrestare lo strumento se viene premuto un EMO su una qualsiasi delle pompe della serie iH, in genere sono cablati in serie, in una configurazione a margherita.