Modulo di interfaccia Edwards im ricostruito per pompa per vuoto a semiconduttore iQDP, iH e iL. Codice: A528-44-463
Il modulo di interfaccia consente di utilizzare la propria apparecchiatura di controllo per controllare il funzionamento e monitorare lo stato di un sistema di pompaggio a secco iH, iL o iQ.
Il modulo di interfaccia Edwards è progettato per l'uso con i sistemi di pompaggio a secco Edwards iQ, iH e iL e consente di collegare il sistema di pompaggio ad altre apparecchiature. Ad esempio, lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Questo modulo dispone di 2 schede di interfaccia, la scheda di interfaccia utensile e la scheda di interfaccia ausiliaria. Questo è il modello A528-44-463R. Per le istruzioni di installazione, funzionamento e manutenzione, consultare il Manuale di istruzioni in formato .pdf riportato di seguito in DOWNLOAD DISPONIBILI.