Pompa per vuoto a secco multistadio Ebara ESR20N S2, velocità di pompaggio da 45 a 70 CFM (1300 - 2000 l/m), KF-40, processi da puliti a medi, raffreddata ad acqua, trifase, 200-220 V, 60 Hz.
Codice articolo Ebara: 202093. La serie Ebara ESR (Energy Saving Roots) è costituita da pompe per vuoto a secco multistadio progettate per applicazioni che vanno dai processi puliti a quelli medi. La serie Ebara ESR copre un'ampia gamma di velocità di pompaggio da 45 a 706 CFM con una pressione finale di soli 1,5 mTorr. Questo elenco riguarda la vendita della pompa per vuoto a secco multistadio Ebara ESR20N S2, processi da puliti a medi, raffreddata ad acqua, 200-220 V / 3 Ph, codice articolo Ebara: 202093.
Applicazioni
- Sputacchiamento
- PVD
- Carica blocco e trasferimento
- Incenerimento
- Impiantatore ionico
- Acquaforte
- Gas e processi puliti
Vantaggi e caratteristiche delle pompe a lobi rotativi a secco Ebara serie EV-A.
- Basso costo di proprietà [energia, S2, acqua, ingombro, volume, peso]
- Non è necessario lo spurgo dell'azoto per ESR20N in applicazioni pulite
- Velocità di pompaggio variabile per soddisfare i requisiti dell'applicazione
- Motori DC brushless ad alte prestazioni
- Dispositivi di controllo e monitoraggio all'avanguardia
- La modalità inattiva può essere utilizzata per un maggiore risparmio di energia
- Valutato SEMI S2, certificato NRTL, marchio CE