Pompa per vuoto primario a secco per alto vuoto Edwards EPX 180LE Ingresso ISO 63 208 VAC 3PH. PN A41943012 La compatta pompa a secco per alto vuoto EPX180LE senza Tool Interface Module (TIM) offre prestazioni migliorate con costi di proprietà ridotti. Utilizzando un esclusivo meccanismo protetto da brevetto, l'EPX180LE è in grado di pompare dall'atmosfera a pressioni finali inferiori a 7 x 10-5 Torr. Queste sono pompe davvero sorprendenti; la pompa Edwards EPX è in grado di pompare dall'atmosfera al campo di pressione turbomolecolare e può funzionare in modo continuo a tutte le pressioni di ingresso. Basato sulla pluripremiata gamma IPX di successo, l'EPX180 modulare offre prestazioni eccezionali in un pacchetto che è il 20% più leggero, il 30% più piccolo e richiede il 40% di energia in meno rispetto all'IPX. La serie di pompe EPX LE dispone di un End User Controller (EUC). L'End User Controller consente il controllo locale per l'utilizzo autonomo, nonché la possibilità di connettersi a una rete fab-wide per il controllo e il monitoraggio remoti. Il sistema di pompaggio EPX funziona a pressioni comprese tra quella atmosferica e il vuoto limite, senza fluido lubrificante o sigillante nella camera di pompaggio. Ciò garantisce un sistema di pompaggio pulito senza ritorno di olio o fluido nel sistema in fase di evacuazione. L'EPX 180LE è una buona opzione sostitutiva per il modello EPX 180NE fuori produzione, numero parte A41944012. Lo statore della pompa e il motore racchiuso sono raffreddati da un circuito di raffreddamento ad acqua integrato. La pompa EPX è quindi adatta per applicazioni in camere bianche in cui il raffreddamento della ventola è inaccettabile. Le tubazioni di mandata e ritorno dell'acqua di raffreddamento sono collegate alla pompa mediante connettori dell'acqua (specificati dal cliente). L'acqua di raffreddamento deve essere commisurata alle condizioni ambientali (umidità e temperatura) tali da non raggiungere il punto di rugiada. La pompa incorpora un filtro di alimentazione EMC e un inverter che fornisce e controlla l'alimentazione elettrica al motore della pompa. I LED sul coperchio anteriore identificano lo stato della pompa EPX. La velocità del motore dipende dalla pressione all'ingresso della pompa. Quando la pompa viene avviata con la pressione di aspirazione pari o prossima alla pressione atmosferica, il motore accelera a una velocità che è limitata dalla corrente che può essere fornita dall'inverter. Quando la pressione all'ingresso si riduce, la velocità del motore aumenta, fino a raggiungere la velocità massima preimpostata. Se la pressione all'ingresso aumenta, il motore rallenterà nuovamente. Le pompe della serie EPX LE possono essere azionate manualmente utilizzando il display locale e la tastiera del controllo dell'utente finale (EUC) o in remoto utilizzando un terminale con display della pompa (PDT), se installato; può anche essere controllato e monitorato tramite la rete, che si collega alla pompa EPX tramite il connettore di rete. Quando la serie di pompe EPX LE è controllata tramite il Tool Interface Module (TIM), l'EUC monitora semplicemente lo stato della pompa. La pompa EPX è compatibile con Fabworks 32. L'EPX ha quattro isolatori di vibrazioni. I sensori di protezione della pompa arrestano automaticamente la pompa se si verifica una condizione di guasto. La serie EPX copre un'ampia gamma di applicazioni, dalla manipolazione dei wafer fino ai processi di lavoro medio. La serie EPX 'LE' è stata progettata per l'uso in applicazioni pulite che pompano miscele di gas inerti, come il blocco del carico, per cui il controllo è fornito dall'interfaccia dello strumento di processo. Scarica un manuale di istruzioni a lato.

Pompa per vuoto primario a secco per alto vuoto Edwards EPX 180LE Ingresso ISO 63 400 VAC 3PH. PN A41943014 La compatta pompa a secco per alto vuoto EPX180LE senza Tool Interface Module (TIM) offre prestazioni migliorate con costi di proprietà ridotti. Utilizzando un esclusivo meccanismo protetto da brevetto, l'EPX180LE è in grado di pompare dall'atmosfera a pressioni finali inferiori a 7 x 10-5 Torr. Queste sono pompe davvero sorprendenti; la pompa Edwards EPX è in grado di pompare dall'atmosfera al campo di pressione turbomolecolare e può funzionare in modo continuo a tutte le pressioni di ingresso. Basato sulla pluripremiata gamma IPX di successo, l'EPX180 modulare offre prestazioni eccezionali in un pacchetto che è il 20% più leggero, il 30% più piccolo e richiede il 40% di energia in meno rispetto all'IPX. La serie di pompe EPX LE dispone di un End User Controller (EUC). L'End User Controller consente il controllo locale per l'utilizzo autonomo, nonché la possibilità di connettersi a una rete fab-wide per il controllo e il monitoraggio remoti. Il sistema di pompaggio EPX funziona a pressioni comprese tra quella atmosferica e il vuoto limite, senza fluido lubrificante o sigillante nella camera di pompaggio. Ciò garantisce un sistema di pompaggio pulito senza ritorno di olio o fluido nel sistema in fase di evacuazione. Lo statore della pompa e il motore racchiuso sono raffreddati da un circuito di raffreddamento ad acqua integrato. La pompa EPX è quindi adatta per applicazioni in camere bianche in cui il raffreddamento della ventola è inaccettabile. Le tubazioni di mandata e ritorno dell'acqua di raffreddamento sono collegate alla pompa mediante connettori dell'acqua (specificati dal cliente). L'acqua di raffreddamento deve essere commisurata alle condizioni ambientali (umidità e temperatura) tali da non raggiungere il punto di rugiada. La pompa incorpora un filtro di alimentazione EMC e un inverter che fornisce e controlla l'alimentazione elettrica al motore della pompa. I LED sul coperchio anteriore identificano lo stato della pompa EPX. La velocità del motore dipende dalla pressione all'ingresso della pompa. Quando la pompa viene avviata con la pressione di aspirazione pari o prossima alla pressione atmosferica, il motore accelera a una velocità che è limitata dalla corrente che può essere fornita dall'inverter. Quando la pressione all'ingresso si riduce, la velocità del motore aumenta, fino a raggiungere la velocità massima preimpostata. Se la pressione all'ingresso aumenta, il motore rallenterà nuovamente. Le pompe della serie EPX LE possono essere azionate manualmente utilizzando il display locale e la tastiera del controllo dell'utente finale (EUC) o in remoto utilizzando un terminale con display della pompa (PDT), se installato; può anche essere controllato e monitorato tramite la rete, che si collega alla pompa EPX tramite il connettore di rete. Quando la serie di pompe EPX LE è controllata tramite il Tool Interface Module (TIM), l'EUC monitora semplicemente lo stato della pompa. La pompa EPX è compatibile con Fabworks 32. L'EPX ha quattro isolatori di vibrazioni. I sensori di protezione della pompa arrestano automaticamente la pompa se si verifica una condizione di guasto. La serie EPX copre un'ampia gamma di applicazioni, dalla manipolazione dei wafer fino ai processi di lavoro medio. La serie EPX 'LE' è stata progettata per l'uso in applicazioni pulite che pompano miscele di gas inerti, come il blocco del carico, per cui il controllo è fornito dall'interfaccia dello strumento di processo. Scarica un manuale di istruzioni a lato.

Pompa per vuoto primario a secco per alto vuoto Edwards EPX 180LE Ingresso ISO 63 208 VAC 3PH. PN A41943712 La compatta pompa a secco per alto vuoto EPX180LE WITH Tool Interface Module (TIM) offre prestazioni migliorate con costi di proprietà ridotti. Utilizzando un esclusivo meccanismo protetto da brevetto, l'EPX180LE è in grado di pompare dall'atmosfera a pressioni finali inferiori a 7 x 10-5 Torr. Queste sono pompe davvero sorprendenti; la pompa Edwards EPX è in grado di pompare dall'atmosfera al campo di pressione turbomolecolare e può funzionare in modo continuo a tutte le pressioni di ingresso. Basato sulla pluripremiata gamma IPX di successo, l'EPX180 modulare offre prestazioni eccezionali in un pacchetto che è il 20% più leggero, il 30% più piccolo e richiede il 40% di energia in meno rispetto all'IPX. La serie di pompe EPX LE dispone di un End User Controller (EUC). L'End User Controller consente il controllo locale per l'utilizzo autonomo, nonché la possibilità di connettersi a una rete fab-wide per il controllo e il monitoraggio remoti. Il sistema di pompaggio EPX funziona a pressioni comprese tra quella atmosferica e il vuoto limite, senza fluido lubrificante o sigillante nella camera di pompaggio. Ciò garantisce un sistema di pompaggio pulito senza ritorno di olio o fluido nel sistema in fase di evacuazione. Lo statore della pompa e il motore racchiuso sono raffreddati da un circuito di raffreddamento ad acqua integrato. La pompa EPX è quindi adatta per applicazioni in camere bianche in cui il raffreddamento della ventola è inaccettabile. Le tubazioni di mandata e ritorno dell'acqua di raffreddamento sono collegate alla pompa mediante connettori dell'acqua (specificati dal cliente). L'acqua di raffreddamento deve essere commisurata alle condizioni ambientali (umidità e temperatura) tali da non raggiungere il punto di rugiada. La pompa incorpora un filtro di alimentazione EMC e un inverter che fornisce e controlla l'alimentazione elettrica al motore della pompa. I LED sul coperchio anteriore identificano lo stato della pompa EPX. La velocità del motore dipende dalla pressione all'ingresso della pompa. Quando la pompa viene avviata con la pressione di aspirazione pari o prossima alla pressione atmosferica, il motore accelera a una velocità che è limitata dalla corrente che può essere fornita dall'inverter. Quando la pressione all'ingresso si riduce, la velocità del motore aumenta, fino a raggiungere la velocità massima preimpostata. Se la pressione all'ingresso aumenta, il motore rallenterà nuovamente. Le pompe della serie EPX LE possono essere azionate manualmente utilizzando il display locale e la tastiera del controllo dell'utente finale (EUC) o in remoto utilizzando un terminale con display della pompa (PDT), se installato; può anche essere controllato e monitorato tramite la rete, che si collega alla pompa EPX tramite il connettore di rete. Quando la serie di pompe EPX LE è controllata tramite il Tool Interface Module (TIM), l'EUC monitora semplicemente lo stato della pompa. La pompa EPX è compatibile con Fabworks 32. L'EPX ha quattro isolatori di vibrazioni. I sensori di protezione della pompa arrestano automaticamente la pompa se si verifica una condizione di guasto. La serie EPX copre un'ampia gamma di applicazioni, dalla manipolazione dei wafer fino ai processi di lavoro medio. La serie EPX 'LE' è stata progettata per l'uso in applicazioni pulite che pompano miscele di gas inerti, come il blocco del carico, per cui il controllo è fornito dall'interfaccia dello strumento di processo. Scarica un manuale di istruzioni a lato.

Pompa per vuoto primario a secco per alto vuoto Edwards EPX 180LE Ingresso ISO 63 400 VAC 3PH. PN A41943714 La nuova pompa a secco per alto vuoto compatto EPX180LE CON Tool Interface Module (TIM) offre prestazioni migliorate con costi di proprietà ridotti. Utilizzando un esclusivo meccanismo protetto da brevetto, l'EPX180LE è in grado di pompare dall'atmosfera a pressioni finali inferiori a 7 x 10-5 Torr. Queste sono pompe davvero sorprendenti; la pompa Edwards EPX è in grado di pompare dall'atmosfera al campo di pressione turbomolecolare e può funzionare in modo continuo a tutte le pressioni di ingresso. Basato sulla pluripremiata gamma IPX di successo, l'EPX180 modulare offre prestazioni eccezionali in un pacchetto che è il 20% più leggero, il 30% più piccolo e richiede il 40% di energia in meno rispetto all'IPX. La serie di pompe EPX LE dispone di un End User Controller (EUC). L'End User Controller consente il controllo locale per l'utilizzo autonomo, nonché la possibilità di connettersi a una rete fab-wide per il controllo e il monitoraggio remoti. Il sistema di pompaggio EPX funziona a pressioni comprese tra quella atmosferica e il vuoto limite, senza fluido lubrificante o sigillante nella camera di pompaggio. Ciò garantisce un sistema di pompaggio pulito senza ritorno di olio o fluido nel sistema in fase di evacuazione. L'EPX 180LE è una buona opzione sostitutiva per il modello EPX 180NE fuori produzione, numero di parte A41944712, anche per il numero di parte fuori produzione A41944714. Lo statore della pompa e il motore racchiuso sono raffreddati da un circuito di raffreddamento ad acqua integrato. La pompa EPX è quindi adatta per applicazioni in camere bianche in cui il raffreddamento della ventola è inaccettabile. Le tubazioni di mandata e ritorno dell'acqua di raffreddamento sono collegate alla pompa mediante connettori dell'acqua (specificati dal cliente). L'acqua di raffreddamento deve essere commisurata alle condizioni ambientali (umidità e temperatura) tali da non raggiungere il punto di rugiada. La pompa incorpora un filtro di alimentazione EMC e un inverter che fornisce e controlla l'alimentazione elettrica al motore della pompa. I LED sul coperchio anteriore identificano lo stato della pompa EPX. La velocità del motore dipende dalla pressione all'ingresso della pompa. Quando la pompa viene avviata con la pressione di aspirazione pari o prossima alla pressione atmosferica, il motore accelera a una velocità che è limitata dalla corrente che può essere fornita dall'inverter. Quando la pressione all'ingresso si riduce, la velocità del motore aumenta, fino a raggiungere la velocità massima preimpostata. Se la pressione all'ingresso aumenta, il motore rallenterà nuovamente. Le pompe della serie EPX LE possono essere azionate manualmente utilizzando il display locale e la tastiera del controllo dell'utente finale (EUC) o in remoto utilizzando un terminale con display della pompa (PDT), se installato; può anche essere controllato e monitorato tramite la rete, che si collega alla pompa EPX tramite il connettore di rete. Quando la serie di pompe EPX LE è controllata tramite il Tool Interface Module (TIM), l'EUC monitora semplicemente lo stato della pompa. La pompa EPX è compatibile con Fabworks 32. L'EPX ha quattro isolatori di vibrazioni. I sensori di protezione della pompa arrestano automaticamente la pompa se si verifica una condizione di guasto. La serie EPX copre un'ampia gamma di applicazioni, dalla manipolazione dei wafer fino ai processi di lavoro medio. La serie EPX 'LE' è stata progettata per l'uso in applicazioni pulite che pompano miscele di gas inerti, come il blocco del carico, per cui il controllo è fornito dall'interfaccia dello strumento di processo. Scarica un manuale di istruzioni a lato.

NOVITÀ Pompa per vuoto primario a secco per alto vuoto Edwards EPX 500LE Ingresso ISO 160 208 VAC 3PH. PN A41943012 La nuova pompa a secco per alto vuoto compatta EPX500LE senza Tool Interface Module (TIM) offre prestazioni migliorate con costi di proprietà ridotti. Utilizzando un esclusivo meccanismo protetto da brevetto, l'EPX500LE è in grado di pompare dall'atmosfera a pressioni finali inferiori a 7 x 10-7 Torr. Queste sono pompe davvero sorprendenti; la pompa Edwards EPX è in grado di pompare dall'atmosfera al campo di pressione turbomolecolare e può funzionare in modo continuo a tutte le pressioni di ingresso. Basato sulla pluripremiata gamma IPX di successo, l'EPX500 modulare offre prestazioni eccezionali in un pacchetto che è il 20% più leggero, il 30% più piccolo e richiede il 40% di energia in meno rispetto all'IPX. La serie di pompe EPX LE dispone di un End User Controller (EUC). L'End User Controller consente il controllo locale per l'utilizzo autonomo, nonché la possibilità di connettersi a una rete fab-wide per il controllo e il monitoraggio remoti. Il sistema di pompaggio EPX funziona a pressioni comprese tra quella atmosferica e il vuoto limite, senza fluido lubrificante o sigillante nella camera di pompaggio. Ciò garantisce un sistema di pompaggio pulito senza ritorno di olio o fluido nel sistema in fase di evacuazione. Lo statore della pompa e il motore racchiuso sono raffreddati da un circuito di raffreddamento ad acqua integrato. La pompa EPX è quindi adatta per applicazioni in camere bianche in cui il raffreddamento della ventola è inaccettabile. Le tubazioni di mandata e ritorno dell'acqua di raffreddamento sono collegate alla pompa mediante connettori dell'acqua (specificati dal cliente). L'acqua di raffreddamento deve essere commisurata alle condizioni ambientali (umidità e temperatura) tali da non raggiungere il punto di rugiada. La pompa incorpora un filtro di alimentazione EMC e un inverter che fornisce e controlla l'alimentazione elettrica al motore della pompa. I LED sul coperchio anteriore identificano lo stato della pompa EPX. La velocità del motore dipende dalla pressione all'ingresso della pompa. Quando la pompa viene avviata con la pressione di aspirazione pari o prossima alla pressione atmosferica, il motore accelera a una velocità che è limitata dalla corrente che può essere fornita dall'inverter. Quando la pressione all'ingresso si riduce, la velocità del motore aumenta, fino a raggiungere la velocità massima preimpostata. Se la pressione all'ingresso aumenta, il motore rallenterà nuovamente. Le pompe della serie EPX LE possono essere azionate manualmente utilizzando il display locale e la tastiera del controllo dell'utente finale (EUC) o in remoto utilizzando un terminale con display della pompa (PDT), se installato; può anche essere controllato e monitorato tramite la rete, che si collega alla pompa EPX tramite il connettore di rete. Quando la serie di pompe EPX LE è controllata tramite il Tool Interface Module (TIM), l'EUC monitora semplicemente lo stato della pompa. La pompa EPX è compatibile con Fabworks 32. L'EPX ha quattro isolatori di vibrazioni. I sensori di protezione della pompa arrestano automaticamente la pompa se si verifica una condizione di guasto. La serie EPX copre un'ampia gamma di applicazioni, dalla manipolazione dei wafer fino ai processi di lavoro medio. La serie EPX 'LE' è stata progettata per l'uso in applicazioni pulite che pompano miscele di gas inerti, come il blocco del carico, per cui il controllo è fornito dall'interfaccia dello strumento di processo. Scarica un manuale di istruzioni a lato.

NOVITÀ Pompa per vuoto primario a secco per alto vuoto Edwards EPX 500LE Ingresso ISO 160 208 VAC 3PH. PN A41953712 La nuova pompa a secco per alto vuoto compatta EPX500LE CON Tool Interface Module (TIM) offre prestazioni migliorate con costi di proprietà ridotti. Utilizzando un esclusivo meccanismo protetto da brevetto, l'EPX500LE è in grado di pompare dall'atmosfera a pressioni finali inferiori a 7 x 10-7 Torr. Queste sono pompe davvero sorprendenti; la pompa Edwards EPX è in grado di pompare dall'atmosfera al campo di pressione turbomolecolare e può funzionare in modo continuo a tutte le pressioni di ingresso. Basato sulla pluripremiata gamma IPX di successo, l'EPX500 modulare offre prestazioni eccezionali in un pacchetto che è il 20% più leggero, il 30% più piccolo e richiede il 40% di energia in meno rispetto all'IPX. La serie di pompe EPX LE dispone di un End User Controller (EUC). L'End User Controller consente il controllo locale per l'utilizzo autonomo, nonché la possibilità di connettersi a una rete fab-wide per il controllo e il monitoraggio remoti. Il sistema di pompaggio EPX funziona a pressioni comprese tra quella atmosferica e il vuoto limite, senza fluido lubrificante o sigillante nella camera di pompaggio. Ciò garantisce un sistema di pompaggio pulito senza ritorno di olio o fluido nel sistema in fase di evacuazione. Lo statore della pompa e il motore racchiuso sono raffreddati da un circuito di raffreddamento ad acqua integrato. La pompa EPX è quindi adatta per applicazioni in camere bianche in cui il raffreddamento della ventola è inaccettabile. Le tubazioni di mandata e ritorno dell'acqua di raffreddamento sono collegate alla pompa mediante connettori dell'acqua (specificati dal cliente). L'acqua di raffreddamento deve essere commisurata alle condizioni ambientali (umidità e temperatura) tali da non raggiungere il punto di rugiada. La pompa incorpora un filtro di alimentazione EMC e un inverter che fornisce e controlla l'alimentazione elettrica al motore della pompa. I LED sul coperchio anteriore identificano lo stato della pompa EPX. La velocità del motore dipende dalla pressione all'ingresso della pompa. Quando la pompa viene avviata con la pressione di aspirazione pari o prossima alla pressione atmosferica, il motore accelera a una velocità che è limitata dalla corrente che può essere fornita dall'inverter. Quando la pressione all'ingresso si riduce, la velocità del motore aumenta, fino a raggiungere la velocità massima preimpostata. Se la pressione all'ingresso aumenta, il motore rallenterà nuovamente. Le pompe della serie EPX LE possono essere azionate manualmente utilizzando il display locale e la tastiera del controllo dell'utente finale (EUC) o in remoto utilizzando un terminale con display della pompa (PDT), se installato; può anche essere controllato e monitorato tramite la rete, che si collega alla pompa EPX tramite il connettore di rete. Quando la serie di pompe EPX LE è controllata tramite il Tool Interface Module (TIM), l'EUC monitora semplicemente lo stato della pompa. La pompa EPX è compatibile con Fabworks 32. L'EPX ha quattro isolatori di vibrazioni. I sensori di protezione della pompa arrestano automaticamente la pompa se si verifica una condizione di guasto. La serie EPX copre un'ampia gamma di applicazioni, dalla manipolazione dei wafer fino ai processi di lavoro medio. La serie EPX 'LE' è stata progettata per l'uso in applicazioni pulite che pompano miscele di gas inerti, come il blocco del carico, per cui il controllo è fornito dall'interfaccia dello strumento di processo. Scarica un manuale di istruzioni a lato.

NOVITÀ Pompa per vuoto primario a secco per alto vuoto Edwards EPX 500LE Ingresso ISO 160 400 VAC 3PH. PN A41953714 La nuova pompa a secco per alto vuoto compatta EPX500LE CON Tool Interface Module (TIM) offre prestazioni migliorate con costi di proprietà ridotti. Utilizzando un esclusivo meccanismo protetto da brevetto, l'EPX500LE è in grado di pompare dall'atmosfera a pressioni finali inferiori a 7 x 10-7 Torr. Queste sono pompe davvero sorprendenti; la pompa Edwards EPX è in grado di pompare dall'atmosfera al campo di pressione turbomolecolare e può funzionare in modo continuo a tutte le pressioni di ingresso. Basato sulla pluripremiata gamma IPX di successo, l'EPX500 modulare offre prestazioni eccezionali in un pacchetto che è il 20% più leggero, il 30% più piccolo e richiede il 40% di energia in meno rispetto all'IPX. La serie di pompe EPX LE dispone di un End User Controller (EUC). L'End User Controller consente il controllo locale per l'utilizzo autonomo, nonché la possibilità di connettersi a una rete fab-wide per il controllo e il monitoraggio remoti. Il sistema di pompaggio EPX funziona a pressioni comprese tra quella atmosferica e il vuoto limite, senza fluido lubrificante o sigillante nella camera di pompaggio. Ciò garantisce un sistema di pompaggio pulito senza ritorno di olio o fluido nel sistema in fase di evacuazione. Lo statore della pompa e il motore racchiuso sono raffreddati da un circuito di raffreddamento ad acqua integrato. La pompa EPX è quindi adatta per applicazioni in camere bianche in cui il raffreddamento della ventola è inaccettabile. Le tubazioni di mandata e ritorno dell'acqua di raffreddamento sono collegate alla pompa mediante connettori dell'acqua (specificati dal cliente). L'acqua di raffreddamento deve essere commisurata alle condizioni ambientali (umidità e temperatura) tali da non raggiungere il punto di rugiada. La pompa incorpora un filtro di alimentazione EMC e un inverter che fornisce e controlla l'alimentazione elettrica al motore della pompa. I LED sul coperchio anteriore identificano lo stato della pompa EPX. La velocità del motore dipende dalla pressione all'ingresso della pompa. Quando la pompa viene avviata con la pressione di aspirazione pari o prossima alla pressione atmosferica, il motore accelera a una velocità che è limitata dalla corrente che può essere fornita dall'inverter. Quando la pressione all'ingresso si riduce, la velocità del motore aumenta, fino a raggiungere la velocità massima preimpostata. Se la pressione all'ingresso aumenta, il motore rallenterà nuovamente. Le pompe della serie EPX LE possono essere azionate manualmente utilizzando il display locale e la tastiera del controllo dell'utente finale (EUC) o in remoto utilizzando un terminale con display della pompa (PDT), se installato; può anche essere controllato e monitorato tramite la rete, che si collega alla pompa EPX tramite il connettore di rete. Quando la serie di pompe EPX LE è controllata tramite il Tool Interface Module (TIM), l'EUC monitora semplicemente lo stato della pompa. La pompa EPX è compatibile con Fabworks 32. L'EPX ha quattro isolatori di vibrazioni. I sensori di protezione della pompa arrestano automaticamente la pompa se si verifica una condizione di guasto. La serie EPX copre un'ampia gamma di applicazioni, dalla manipolazione dei wafer fino ai processi di lavoro medio. La serie EPX 'LE' è stata progettata per l'uso in applicazioni pulite che pompano miscele di gas inerti, come il blocco del carico, per cui il controllo è fornito dall'interfaccia dello strumento di processo. Scarica un manuale di istruzioni a lato.