MKS Instruments DA 651/652/152G A 253B 9 PIN D MTO AD ALTA DENSITÀ F NON SCHERMATO, ROHS, Valvole a monte e controllori di pressione, Valvole a monte e controllori di pressione,  PN  RCB651-30-20

Questi MKS Instruments DA 651/652/152G A 253B 9 PIN D MTO AD ALTA DENSITÀ F NON SCHERMATO, ROHS  avere il numero di parte RCB651-30-20, sono nuovi e vengono forniti completi MKS Instruments garanzia. La valvola 245 è una versione modificata della valvola di controllo Grainville-Philips serie 216 interamente in metallo, cuocibile a forno. La valvola 245 è in grado di controllare pressioni da 10-11 a 6000 Torr, con una portata massima fino a 2500 Torr-litri/sec (200 slm): la valvola può essere utilizzata con molti gas corrosivi che precludono l'uso di altre valvole. Con il gruppo driver della valvola rimosso, la valvola può essere cotta a 450°C per applicazioni UHV. Il motore passo-passo utilizzato per azionare il Tipo 245 consente la risposta alle variazioni di pressione o di setpoint in frazioni di secondo e porterà la valvola da una posizione completamente chiusa a una posizione completamente aperta in soli 15 secondi. Il controller Tipo 244 completa il sistema. Il sistema di controllo pressione/flusso 244/245 è un sistema di controllo con feedback a circuito chiuso da utilizzare nei processi sotto vuoto che richiedono una valvola di controllo interamente in metallo, cuocibile in forno, per un ampio intervallo di pressione o controllo del flusso. Il sistema 244/345, composto da un modulo di controllo e una valvola di perdita servocomandata, è ideale per processi a gas singolo come sputtering, sputter-etching, controllo della sorgente ionica, impianto ionico, calibrazione del vacuometro, ecc.

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