MKS Instruments MFC, ARIA, 5K SCCM, ANALOGICO A 15 PIN, NC VITON, LCEA53CM1BV20, Regolatori di flusso di massa sigillati in metallo ed elastomero, Regolatori di flusso di massa sigillati in metallo ed elastomero, PN GE50A008503MBV020
Questi MKS Instruments MFC, ARIA, 5K SCCM, ANALOGICO A 15 PIN, NC VITON, LCEA53CM1BV20 avere il numero di parte GE50A008503MBV020, sono nuovi e vengono forniti completi MKS Instruments garanzia. Il regolatore di flusso di massa a controllo digitale GE50A è disponibile con I/O RS485, Profibus, EtherCAT o DeviceNet. L'elettronica di controllo digitale utilizza i più recenti algoritmi di controllo MKS per una risposta rapida e ripetibile al valore impostato in tutto l'intervallo di controllo del dispositivo. I tempi di risposta tipici sono dell'ordine di 500 millisecondi. La calibrazione digitale fornisce 1 di precisione del setpoint sul gas di calibrazione. I protocolli I/O sono progettati per consentire al GE50A di sostituire facilmente le versioni RS485 e DeviceNet dell'MFC 1179A di MKS con codifica minore. Un ingombro standard da 3 pollici ne consente l'utilizzo senza modificare le configurazioni esistenti della linea del gas. Il GE50A incorpora solo una guarnizione esterna in elastomero e un solo otturatore della valvola in elastomero. Tutte le superfici bagnate sono metalliche. Il GE50A viene fornito di serie con guarnizioni in Viton o Buna, Neoprene o Kalrez opzionali per supportare diversi requisiti di gas.
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