Regolatore di portata di massa (MFC) MKS GM50A a controllo analogico, portata da 1 a 50 sccm, connettore a 15 pin, 4 VCR maschio. PN: GM50A013501RMM020.
Numero parte MKS: GM50A013501RMM020. Il regolatore di portata di massa MKS GM50A può essere configurato per controllare un'ampia gamma di Safe Delivery Source Gasses (SDS). I raccordi di ingresso e uscita sono Swagelok® 4 VCR® maschio. Ha un intervallo di portata su scala completa di 50 sccm e un intervallo di controllo da 1 a 50 sccm, un connettore D-subminiature a 15 pin con masse collegate e un segnale di ingresso/uscita del flusso da 0 a 5 VDC. I tempi di risposta tipici sono nell'ordine di 500 millisecondi.
Swagelok, VCR-TM Azienda Swagelok