MKS Instruments MFC, N2, 50.000 SCCM, DEVICENET, NC TEFLON, LCMA54CR16M10, Regolatori di flusso di massa sigillati in metallo ed elastomero, Regolatori di flusso di massa sigillati in metallo ed elastomero, PN GM50A013504R6M010
Questi MKS Instruments MFC, N2, 50.000 SCCM, DEVICENET, NC TEFLON, LCMA54CR16M10 avere il numero di parte GM50A013504R6M010, sono nuovi e vengono forniti completi MKS Instruments garanzia. I controllori di flusso di massa GE250A e GE300A sono MGC per uso generale, sigillati con elastomeri, adatti per un'ampia varietà di applicazioni. Il GE250A può essere compreso tra 100 e 250 slm (N2 equivalente), mentre il GE300A può essere compreso tra 150 e 300 slm (N2 equivalente). Entrambi sono disponibili con I/O analogici o digitali che utilizzano i più recenti algoritmi di controllo per il gas e una risposta ripetibile al set point. I tempi di assestamento da 1 a 2 secondi e la precisione del setpoint inferiore all'1% del setpoint superano i tipici controller di massa ad alto flusso. Il controllo preciso viene mantenuto fino al 2% del range di portata a fondo scala configurato. La capacità multi-gas/multi-range e le specifiche prestazionali relative a precisione, range di controllo e risposta ai transitori riducono al minimo i requisiti di inventario del controller di flusso. È possibile accedere alla funzione multigas/multigamma e ad altri controlli personalizzati tramite l'interfaccia diagnostica integrata. Gli unici strumenti necessari sono un cavo Ethernet standard e un browser HTML abilitato per JAVA. I parametri critici dei gas tipici per i gas ad alta portata sono già memorizzati nell'MFC. Configurare un controller di flusso di massa serie G selezionando il gas da un menu a discesa e specificando l'intervallo di flusso a fondo scala desiderato. Esegui controlli di routine sullo stato del dispositivo, traccia la risposta del flusso e archivia i dati operativi per l'analisi offline utilizzando l'interfaccia diagnostica MFC G-Series.
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