Pfeiffer Vacuum Pannello frontale per OmniStar, Analizzatori di gas residui, Analizzatori di gas residui,  PN  PT 162 032

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Pfeiffer PrimaProQMG250

Gli spettrometri di massa quadrupolari da vuoto Pfeiffer con rivelatori di Faraday sono i dispositivi preferiti per l'analisi qualitativa della composizione del gas in una camera ad alto vuoto. Rispetto ai vacuometri, gli spettrometri di massa quadrupolari offrono una ricchezza di informazioni sul vuoto molto maggiore. Un rilevatore di Faraday è spesso sufficiente per ottenere informazioni su perdite, rilascio di vapore acqueo o contaminazione con idrocarburi sotto alto vuoto. A questo scopo Pfeiffer Vacuum offre una gamma di spettrometri di massa quadrupolari con diversi intervalli di massa e materiali dei filamenti.

Le correnti ioniche fornite dallo spettrometro di massa per il rapporto massa/carica dei componenti del gas forniscono informazioni significative su un sistema per vuoto nelle molteplici fasi di funzionamento, sia per determinare la tenuta e l'assenza di contaminazione dopo l'installazione sia per la sua caratterizzazione quando si utilizza un processo sotto vuoto.

L'intervallo di pressione che può essere raggiunto nel sistema da vuoto in base al design della camera da vuoto e del sistema di pompaggio determina la selezione dello spettrometro di massa rispetto al rilevatore. Un rilevatore di Faraday è spesso sufficiente nell'alto vuoto, mentre un moltiplicatore di elettroni secondario è necessario nell'ultra-alto vuoto per rilevare le densità di gas molto basse.

Un altro criterio chiave è l'intervallo di massa da rilevare. Nel sistema del vuoto tradizionale, l’obiettivo principale sono i gas atmosferici come azoto, ossigeno, argon, vapore acqueo e, in generale, la contaminazione con idrocarburi leggeri. Per rilevare questi gas, l'ideale è uno spettrometro di massa quadrupolare per l'intervallo compreso tra 1 e 100 unità di massa atomica (u), poiché dimostra un'eccellente separazione di massa in questo intervallo. Se devono essere rilevati anche gas più pesanti e i loro componenti, come ad esempio gli idrocarburi a catena lunga, Pfeiffer Vacuum offre a questo scopo anche filtri di massa da 1 a 200 u o da 1 a 300 u.

Una sorgente ionica aperta è la scelta migliore per la maggior parte delle attività di analisi dei gas residui, poiché combina un design robusto con un'elevata sensibilità di rilevamento. I compiti per i quali devono essere analizzati getti o flussi di gas possono essere svolti vantaggiosamente con una sorgente ionica chiusa o a fascio incrociato. Per la gamma dell'ultra-alto vuoto è disponibile anche una sorgente ionica a griglia con un tasso di degassamento estremamente basso. Grazie alla precisa configurabilità degli spettrometri di massa quadrupolari Pfeiffer Vacuum e al gran numero di componenti tra cui scegliere, gli spettrometri possono essere selezionati in modo ottimale per tutti i compiti di misurazione. I nostri specialisti di prodotti e applicazioni con molti anni di esperienza sono lieti di consigliarvi sulla configurazione dell'analizzatore di gas residuo appropriato.

Analizzatore ad alta pressione Pfeiffer HPA 220

L'analizzatore sotto vuoto ad alta pressione Pfeiffer HPA 220 è uno spettrometro di massa modulare e utilizzabile in modo flessibile con una stazione di pompaggio turbo a secco per l'analisi del gas nel vuoto fino a pressioni di 37 Torr (50 hPa). A seconda dell'utilizzo, con il Pfeiffer Vacuum HPA 220 è possibile selezionare cinque diverse valvole di ingresso del gas elettropneumatiche e ad azionamento manuale. Ciò consente ai gas reattivi di rilevare anche le più piccole impurità presenti nel gas di processo. Inoltre previene efficacemente qualsiasi falsificazione delle letture causata dalla retrodiffusione dalla camera dell'analizzatore.

Monitor di processo Sputter Pfeiffer Vacuum SPM 220

Il monitor di processo Sputter sotto vuoto SPM 220 di Pfeiffer offre la soluzione perfetta per l'analisi qualitativa e quantitativa dei gas dei processi di sputtering. La combinazione della stazione di turbopompaggio Pfeiffer Vacuum HiPace e del sistema di spettrometro di massa con una sorgente ionica SPM appositamente sviluppata consente un'analisi precisa e aggiornata dei gas di processo fino a una pressione di 7,4 mTorr (10-2 hPa).

Contatta Ideal Vacuum al numero (505) 872-0037 per ricevere un preventivo scontato e parlare con un tecnico commerciale per l'analisi dei gas di processo sotto vuoto. Possiamo progettare e configurare un sistema di analisi del gas per soddisfare le vostre esigenze di budget e di applicazione.

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