1.33CF フランジは長さゼロにサイドポート、2.12CF は 0.25 インチを介して接続されています。チューブ(オールステンレス製)サイドポートのゼロ長フランジは、プロセス真空ラインでさまざまな用途に使用できます。優れた剛性と低背性により、従来のティーユニオンが使用できない場所へのオールメタルバルブの取り付けなどに最適です。別のアプリケーション シナリオでは、プロセス チャンバーの周囲に多数のポートがあり、多数のフィードスルー、ホース、大型センサーが占有しているため、何かを取り付けるのに時間のかかるパズルが必要になる場合があります。このような場合、サイドポート付きフランジを使用すると、ガス供給、通気、または圧力センサーの取り付けが大幅に簡素化されます。これらは、メインチャンバーを通気せずにコンポーネントを交換するために効果的に使用できます。
真空ラインを目的固有の共通の場所に配置する必要がある場合、これらのフランジを使用すると、ラインの長さを大幅に増やすことなく、ガス供給ハードウェアやアクセスしやすい圧力監視装置を簡単に取り付けることができます。設置面積が減り、取り付け金具が最小限に抑えられると、マニホールドの設置、監視、保守がはるかに簡単になります。これらは標準的な製品ですが、ご希望の構成をカスタマイズして作成することも可能です。ボアサイズ、チューブの長さ、タップ穴、長さゼロの減速機フランジはすべて、用途に合わせてカスタマイズできるオプションです。
●ボア付CFフランジサイズ:1.33CF
●両面フランジ:2.12CF
●チューブ直径:0.25インチ。
●UHV真空定格約100mA 1×10 -13 torr
●温度範囲は-200℃~450℃です。