光ファイバーフィードスルー、UHV CF 2.75インチフランジ、Ø100 µmコア、低OH、400 - 2400 nm、マルチモード、SMA-905対SMA-905接続、0.22 NA。これらの超高真空 (UHV) 互換の Ideal Vacuum 光ファイバフィードスルーは、固定スルーホールコンフラット (CF) 2.75 インチフランジを介して取り付けられます。マルチモードステップインデックスファイバは、低 OH、Ø100 µm コアを備え、1 W を伝送できます。 400 ～ 2400 nm の波長範囲で光パワーを発揮します。ファイバの開口数 (NA) は 0.22 で、真空側と空気側の両方に標準 SMA-905 接続が装備されています。2 つのステンレス鋼 SMA キャップが付属しています。すべての光ファイバーフィードスルーは、光ファイバーの面を接触や汚染から保護します。
コンフラット (CF) フランジは通常、10 -12 Torr までの超高真空圧を必要とするプロセスに使用され、通常は軟金属銅ガスケットでシールされます。これらの CF フランジは 300 シリーズの耐食性ステンレス鋼で作られています。
フィードスルーの種類
光学:
光フィードスルーは、真空チャンバーの外部から内部に光を伝送します。光フィードスルーには、ウィンドウと光ファイバ フィードスルーの 2 つの主なタイプがあります。窓は、エラストマー O リングまたはガラスと金属の気密接続によって密閉される場合があります。光ファイバーフィードスルーは常に密閉されています。さまざまなウィンドウと光ファイバーのサイズ、材質、構成オプションが利用可能です。光フィードスルー設計の考慮事項には、パワー密度、波長範囲、偏光、光の発散のほか、チャンバーの基本圧力や環境条件が含まれます。弊社 Web サイトにないサイズ、材質、構成の光フィードスルーが必要な場合、またはプロセス要件が不明な場合は、ご相談とカスタム見積もりのためにお気軽にお問い合わせください。
力：
パワーフィードスルーは、大気（外部）から真空（内部）に電気を伝送する電気フィードスルーの一種です。電力フィードスルーには、真空デバイスのチャンバー壁に入る 1 つ以上の導体があります。導体は、溶接されるか、真空フランジまたはベースプレートを介して接続される電気絶縁体に封止されます。導体金属は、ワイヤー、ロッド、またはチューブの形で提供されます。導体材料は電流、耐食性、磁気に基づいています。選定の際は、使用電圧、最大電流、ベース圧力、使用環境を考慮してください。指定された電圧または電流を絶対に下回らないでください。アーク放電、溶融、または絶縁体の破損を引き起こす可能性があります。選定に迷った場合はお電話ください。
熱電対:
熱電対フィードスルーは、幅広い温度測定プロセスで使用される堅牢でコスト効率の高い温度センサーです。異なる金属で構成された 2 本のワイヤの両端が接続され、一方の端が加熱されると、熱電回路に連続電流が流れます。この回路が中心で断線した場合、正味の開路電圧 (ゼーベック電圧) は接合部温度と 2 つの金属の組成の関数になります。これは、2 つの金属の接合部が加熱または冷却されると、温度と相関関係のある電圧が生成されることを意味します。適切に構成されている場合、熱電対は幅広い温度範囲にわたって測定を行うことができます。
それらには 1 対以上のワイヤが含まれており、成形プラグ、プッシュオン、分割コネクタがあり、内側 (真空) または外側 (大気) にラグまたはネジ コネクタがある場合があります。考慮すべき点は、温度範囲、温度箇所の数、シースの材質、線径、金属の種類、および同じフィードスルー内の電源導体です。さまざまな温度範囲を持つさまざまな金属で作られたさまざまなタイプの熱電対フィードスルーがあります。選定に迷った場合はお電話ください。
計装:
マルチピン フィードスルーとしても知られる計器用フィードスルーは、真空壁を越えて電気信号や低電力アプリケーションを転送します。これらは、電子顕微鏡、表面分析、半導体プロセス制御などの計測用途に使用されます。これらは、真空壁の内側 (真空) または外側 (大気) のいずれかの側にピンまたは同軸を備えた電気コネクタで構成されます。選択する前に考慮すべきことは、ケーブルからシールドまでの最大電圧、シールドからグランドまでの最大電圧、信号電圧、グランド、インピーダンス、温度範囲、接続数、コネクタのタイプなどです。注文する際には、適切なコネクタがあることを確認することが非常に重要です。注文に付属しているかどうか。計装接続フィードスルーにはさまざまな種類があります。不明な点がある場合は、お問い合わせください。
液体または気体:
液体またはガスフィードスルーは、真空に取り付けられたデバイスまたはチャンバーにガスまたは液体を供給します。この気体または液体は、真空チャンバー内で特定の温度を維持できます。これらは、貫通穴に溶接された 1 つまたは複数のチューブを備えた CF または KF フランジまたはベースプレート ポートで注文でき、フランジ/ベースポートの両側にチューブが伸びています。チューブにはさまざまな直径があり、多くの場合、小さなフランジまたはガス継手で終端されます。考慮すべき点は、デバイスの壁の未使用のフランジと一致するフランジ、フィードスルーの数、チューブの直径、フィードスルーの入口ポートのサイズ、および両側のコンポーネントと一致する終端です。ご不明な点がありましたらお電話ください。
回転運動:
ロータリー モーション フィードスルーは、真空側シャフトを回転させる空気側シャフトです。ロータリードライブにはいくつかのタイプがあり、アクチュエータ機構、真空シール、互換性のある圧力範囲、用途によって区別されます。シールに背中合わせのダブル O リングを使用するエラストマー シールと、より高い RPM と高トルク容量を実現する磁性流体 O リング技術を使用したフェロ シールの 2 つのタイプがあります。フィードスルーは、反復可能な動きまたは粗い位置決めを提供することができ、回転運動、直線運動、またはその両方の組み合わせを提供することもできます。手動回転から空気圧、電動まで、数多くの作動設計が利用可能です。ご不明な点がありましたらお電話ください。
アクセサリー：
フィードスルーでは、必要な接続を行うために追加のハードウェアが必要になる場合があります。当社では、真空チャンバー内外用のケーブル、電気/同軸コネクタ、ピンを取り揃えています。どのアクセサリを購入すればよいかわからない場合は、お電話ください。
