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新しいスタイルの iXL または iXH シリーズ ドライ半導体ポンプを既存の古いスタイルの iH シリーズ ポンプを備えたツールに取り付けるための Edwards EMO ケーブル

状態:
  新しい
部品番号:
  P1011999
保証:
  Against Product Defect

今すぐ利用可能   97  

セール: ¥41,088.56

新しいスタイルの iXL または iXH シリーズ ドライ半導体ポンプを既存の古いスタイルの iH シリーズ ポンプを備えたツールに取り付けるための Edwards EMO ケーブル 41088.56
通貨: Japanese Yen (JPY)

説明

新しいスタイルの iXL または iXH シリーズ ドライ半導体ポンプを既存の古いスタイルの iH シリーズ ポンプを備えたツールに取り付けるための Edwards EMO ケーブル。

Ideal Vacuum は独自のインターフェイス ケーブルを提供しており、古いスタイルの iH シリーズ ポンプを IXL120N、iXH100、または iXH610 のスタイルに置き換えることができます。この EMO ケーブル配線は、半導体ツールのサブファブに複数の古いスタイルの iH ポンプが接続されているアプリケーションに役立ちます。このインターフェイス モジュール ケーブルは、残りの古いスタイルの iH ポンプと新しいスタイルの iXL120N 交換用ポンプを介して EMO 回路を継続します。接続とさまざまなインターフェイス モジュールについては、以下で詳しく説明します。このケーブルは通常、左側の iH の iTIM の P2 (出力)、iXL120N の緊急停止 (EMS) コネクタ、右側の iH ポンプの iTIM の J1 (入力) に接続されます (詳細は、PDF 形式のアプリケーション ノートを参照してください)。 。

問題は、Edwards iHシリーズポンプが現在製造中止されており、入手できないことです。 Ideal Vacuum では、交換用ポンプ、ロード ロック用の iXL120N、iXH100 (iH80 の代替品)、iXH610 (iH600 の代替品) などを在庫しています。新しい iXL120N ポンプには、古いスタイルの IH ポンプのような前面に EMO ボタンがありません (詳細はアプリケーション ノートを参照)。 Edwards iTIM は、多くの場合、サブファブ内の単一の半導体ツールに複数のポンプが接続される旧式の Edwards iH シリーズ ドライ半導体真空ポンプで構成されていました。 EMO ケーブル配線は、iH シリーズ ポンプのいずれかで EMO が押された場合にツールをシャットダウンするように設定されています。これらのポンプは通常、デイジー チェーン構成で直列にケーブル接続されています。
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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