理想的な真空キューブ、ミツトヨ位置決めマイクロメータを備えた 6x6 真空キューブ XYZ ステージ プレート。これらの 6x6 真空キューブ XYZ ステージ プレートを使用すると、真空にされた真空キューブ内でテスト ピースの位置を動的に微調整できます。これらのプレートは、硬化鋼リニアベアリング上で、X 軸と Y 軸で 0.50 インチ (13 mm)、Z 軸で 0.25 インチの移動が可能で、精密な動きと長寿命を実現します。ステージ プレート自体は 3 軸すべてでスプリング テンションがかかっており、移動方向を逆にするときにバックラッシュがなくなります。高品質の Mitutoyo マイクロメータ ヘッドは、高性能のバイトン シャフト シールにより、ターゲットを 0.001 インチ水平方向に 1 回転ごとに 0.025 インチ移動し、0.001 インチの繰り返し位置決めが可能です。ヘッドは、必要に応じて高精度モーター アクチュエータと互換性があります (詳細についてはお問い合わせください)。真空側では、プレートと移動ブロックは 6061-T6 アルミニウムから機械加工され、通気孔付きのステンレス鋼 304 または 316 留め具が付いており、実質的な漏れがありません。空気側の金属表面は青の粉体塗装が施されています。セルフ テンション システムにより、このプレートはどの方向にも取り付けることができますが、最適な荷重方向は、重力によりマイクが荷重を支える方向です。平らに取り付けた場合の荷重制限は4ポンド、垂直に取り付けた場合は2ポンド。